探针卡装置及其调节式探针制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种探针卡装置及其调节式探针。探针卡装置包含间隔设置的上导板单元与下导板单元、夹持于上导板单元与下导板单元的间隔板、阻抗调节件、及多个导电探针。上导板单元包含彼此间隔设置的第一导板与第二导板，第一导板形成贯孔，第二导板形成线路层。阻抗调节件设置于第二导板、并电性耦接于线路层。每个导电探针穿过上导板单元、间隔板、及下导板单元。至少一个所述导电探针定义为调节式探针，其包含有穿出上导板单元的上接触段及相连于上接触段的延伸臂。延伸臂穿过贯孔、并抵接于线路层，以使调节式探针电性连接于阻抗调节件。据此，调节式探针能通过延伸臂来与阻抗调节件进行电性耦接，进而达到降低电源阻抗的效果。

Probe card device and its adjustable probe

【技术实现步骤摘要】
探针卡装置及其调节式探针
本专利技术涉及一种测试装置，特别涉及一种探针卡装置及其调节式探针。
技术介绍
由于待测物(如：半导体晶片)的操作速度愈来愈高，所以上述待测物在进行测试的过程中，也须检测待测物是否具备高频(或高速)传输的功能。然而，现有探针卡装置所包含的每个探针皆呈细长状，导致电感量增加而衍生电源阻抗的问题，使其不利于所述待测物的高速传输功能的测试。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术实施例在于提供一种探针卡装置及其调节式探针，能有效地改善现有探针卡装置(或探针)所可能产生的缺陷。本专利技术实施例公开一种探针卡装置，包括：一上导板单元，包含有彼此间隔设置的一第一导板与一第二导板，所述第一导板形成有至少一个贯孔，所述第二导板形成有一线路层；一阻抗调节件，设置于所述第二导板，并且所述阻抗调节件电性耦接于所述线路层；一下导板单元，间隔地位于所述第二导板远离所述第一导板的一侧，并且所述下导板单元与所述第二导板之间的距离大于所述第一导板与所述第二导板之间的距离；一间隔板，夹持于所述上导板单元的所述第二导板与所述下导板单元之间；多个导电探针，穿过所述上导板单元、所述间隔板、及所述下导板单元，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述上导板单元与所述下导板单元彼此相反两外侧的一上接触段及一下接触段；其中，多个所述导电探针的至少一个所述导电探针定义为至少一个调节式探针，并且至少一个所述调节式探针包含有相连于其所述上接触段的一延伸臂；所述延伸臂穿过至少一个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使至少一个所述调节式探针电性连接于所述阻抗调节件。优选地，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述外板面是面向所述第一导板，并且所述阻抗调节件固定于所述外板面。优选地，所述线路层设置于所述外板面，至少部分所述阻抗调节件位于所述第一导板的至少一个所述贯孔内。优选地，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述内板面是面向所述下导板单元，并且所述阻抗调节件固定于所述内板面，所述阻抗调节件位于所述间隔板所包围的一空间内。优选地，所述线路层包含有：一内侧线路，位于所述内板面，并且所述阻抗调节件固定于所述内侧线路上；一外侧线路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外侧线路上；一导电柱，埋置于所述第二导板，并且所述导电柱的两端分别连接所述内侧线路与所述外侧线路。优选地，所述延伸臂呈L形，并且所述延伸臂的自由端形成一导引斜面，所述导引斜面与所述线路层相夹有一锐角；其中，当至少一个所述调节式探针的所述上接触段受压迫时，所述延伸臂向外侧弹性地形变并保持抵接于所述线路层，而所述锐角的角度逐渐地缩小。优选地，于至少一个所述调节式探针中，所述上接触段具有一外径，所述延伸臂所相连的所述上接触段的部位是与所述上接触段的末端缘相隔有一距离，而所述距离不小于所述外径。优选地，多个所述导电探针中的至少一个所述调节式探针数量为多个，并且多个所述调节式探针排成一列，所述第一导板的至少一个所述贯孔数量为多个，多个所述调节式探针的所述延伸臂分别穿过多个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使多个所述调节式探针及所述阻抗调节件通过所述线路层而彼此电性耦接。优选地，所述上导板单元包含有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一支撑板，所述探针卡装置包括有一转接板(spacetransformer)，并且所述转接板抵接固定于多个所述导电探针的所述下接触段，而多个所述导电探针的所述上接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物(deviceundertest，DUT)。本专利技术实施例也公开一种探针卡装置的调节式探针，包括：一针体，呈长条状且具有一外径，所述针体包含有分别位于相反两端部的上接触段及一下接触段；其中，所述下接触段用来固定于一转接板，而所述上接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物；一延伸臂，自所述上接触段侧缘朝向所述下接触段方向弯曲地延伸所形成，并且所述延伸臂所相连的所述上接触段的部位是与所述上接触段的末端缘相隔有一距离，而所述距离不小于所述外径。综上所述，本专利技术实施例所公开的探针卡装置，其在调节式探针用来抵接待测物的上接触段侧缘相连有延伸臂，使得调节式探针能通过延伸臂来与阻抗调节件进行电性耦接，进而达到降低电源阻抗的效果。进一步地说，所述调节式探针能够搭配上导板单元，以使延伸臂穿过贯孔、并抵接于所述线路层，令调节式探针电性连接于阻抗调节件。换个角度来说，基于调节式探针的延伸臂是相连于用来抵接待测物的上接触段侧缘，所以上述阻抗调节件也能相对应地设置于邻近待测物的上导板单元，借以更为有效地降低信号传输路径的阻抗。为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本专利技术实施例一的探针卡装置的剖视示意图。图2为图1中的上导板单元与阻抗调节件的立体示意图。图3为本专利技术实施例一的探针卡装置的另一实施方式剖视示意图。图4为图3中的上导板单元与阻抗调节件的立体示意图。图5为图1中的V部位的放大示意图。图6为图1的调节式探针受压迫时的局部放大示意图。图7为本专利技术实施例二的探针卡装置的剖视示意图。图8为图7中的上导板单元与阻抗调节件的立体示意图。具体实施方式请参阅图1至图8所示，其为本专利技术的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本专利技术的实施方式，以便于了解本专利技术的内容，而非用来局限本专利技术的保护范围。[实施例一]请参阅图1至图6所示，其为本专利技术的实施例一。本实施例公开一种探针卡装置100(如：垂直式探针卡装置)，其能适用于检测一待测物(如：半导体晶片)的高速传输功能，但本专利技术不受限于此。如图1和图2所示，所述探针卡装置100包含有一探针卡1及相连于上述探针卡1的一转接板2(spacetransformer)。其中，上述探针卡1包含有一上导板单元11、与上导板单元11呈间隔设置的一下导板单元13、安装于上导板单元11的一阻抗调节件12、夹持于上导板单元11与下导板单元13之间的一间隔板14、及穿设于所述上和下导板单元11、13及间隔板14的多个导电探针15、15a。需先说明的是，所述上导板单元11与下导板单元13所包含的板体于本实施例中是以硬板来说明，但不以此为限。以下将分别就所述探针卡1的各个组件构造作一说明，并适时介绍上述探针卡1的各个组件之间的连接关系。如图1和图2所示，所述上导板单元11包含有一第一导板111、与上述第一导板111呈间隔设置的一第二导板112、及夹持于上述第一导板111与第二导板112之间的一支撑板113。其中，所述第一导板111形成有沿其厚度方向呈贯穿状的多个第一穿孔1111及多个贯孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：/n一上导板单元，包含有彼此间隔设置的一第一导板与一第二导板，所述第一导板形成有至少一个贯孔，所述第二导板形成有一线路层；/n一阻抗调节件，设置于所述第二导板，并且所述阻抗调节件电性耦接于所述线路层；/n一下导板单元，间隔地位于所述第二导板远离所述第一导板的一侧，并且所述下导板单元与所述第二导板之间的距离大于所述第一导板与所述第二导板之间的距离；/n一间隔板，夹持于所述上导板单元的所述第二导板与所述下导板单元之间；以及/n多个导电探针，穿过所述上导板单元、所述间隔板、及所述下导板单元，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述上导板单元与所述下导板单元彼此相反两外侧的一上接触段及一下接触段；/n其中，多个所述导电探针的至少一个所述导电探针定义为至少一个调节式探针，并且至少一个所述调节式探针包含有相连于其所述上接触段的一延伸臂；所述延伸臂穿过至少一个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使至少一个所述调节式探针电性连接于所述阻抗调节件。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：
一上导板单元，包含有彼此间隔设置的一第一导板与一第二导板，所述第一导板形成有至少一个贯孔，所述第二导板形成有一线路层；
一阻抗调节件，设置于所述第二导板，并且所述阻抗调节件电性耦接于所述线路层；
一下导板单元，间隔地位于所述第二导板远离所述第一导板的一侧，并且所述下导板单元与所述第二导板之间的距离大于所述第一导板与所述第二导板之间的距离；
一间隔板，夹持于所述上导板单元的所述第二导板与所述下导板单元之间；以及
多个导电探针，穿过所述上导板单元、所述间隔板、及所述下导板单元，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述上导板单元与所述下导板单元彼此相反两外侧的一上接触段及一下接触段；
其中，多个所述导电探针的至少一个所述导电探针定义为至少一个调节式探针，并且至少一个所述调节式探针包含有相连于其所述上接触段的一延伸臂；所述延伸臂穿过至少一个所述贯孔、并抵接于所述线路层，以使至少一个所述调节式探针电性连接于所述阻抗调节件。


2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述外板面是面向所述第一导板，并且所述阻抗调节件固定于所述外板面。


3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述线路层设置于所述外板面，至少部分所述阻抗调节件位于所述第一导板的至少一个所述贯孔内。


4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第二导板包含有位于相反侧的一内板面与一外板面，所述内板面是面向所述下导板单元，并且所述阻抗调节件固定于所述内板面，所述阻抗调节件位于所述间隔板所包围的一空间内。


5.依据权利要求4所述的探针卡装置，其特征在于，所述线路层包含有：
一内侧线路，位于所述内板面，并且所述阻抗调节件固定于所述内侧线路上；
一外侧线路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文聪，谢开杰，曾照晖，王宪瑜，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71