垂直式探针卡及其悬臂式探针制造技术

本发明专利技术公开一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，所述悬臂式探针包含一主体段、分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成的两个侧翼段及分别自所述主体段于高度方向上的两端延伸所形成的一针测段与一固定段。所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂。所述针测段在垂直所述高度方向的长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。据此，通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。并降低生产与维修成本。并降低生产与维修成本。

【技术实现步骤摘要】
垂直式探针卡及其悬臂式探针


[0001]本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种垂直式探针卡及其悬臂式探针。

技术介绍

[0002]现有的悬臂式探针主要是应用在周边型芯片的测试，但现有悬臂式探针的植针方式较为复杂(如：人工焊针)，并且还需进行线路扇出设计(fan-out)。据此，现有悬臂式探针并不易于植针与维护，进而使得生产与维修成本难以降低。
[0003]于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例在于提供一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，能有效地改善现有悬臂式探针所可能产生的缺陷。
[0005]本专利技术实施例公开一种垂直式探针卡，其包括多个导板及多个悬臂式探针。多个导板沿一高度方向彼此堆叠设置；多个悬臂式探针定位于多个导板，并且每个悬臂式探针包含一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。主体段穿设于多个导板内；两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个侧翼段夹持于多个导板中的至少两个导板；一针测段与一固定段分别自主体段于高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，多个悬臂式探针的抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。
[0006]优选地，远离多个针测段的一个导板，其能沿着高度方向或沿着垂直高度方向与长度方向的一宽度方向穿过多个悬臂式探针，而压抵于每个悬臂式探针的两个侧翼段。
[0007]优选地，于每个悬臂式探针中，固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接连接部与主体段的一缓冲悬臂；其中，垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个悬臂式探针的连接部固定于转接板。
[0008]优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部非皆位于高度方向上，并且抵接部与连接部于长度方向上间隔有大于间距的一错位距离。
[0009]优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部皆位于高度方向上，并且当连接部顶抵于待测物时，针测悬臂与缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使抵接部与连接部抵接于主体段。
[0010]优选地，在多个悬臂式探针的相邻两个悬臂式探针中，其中一个悬臂式探针的抵接部与连接部非皆位于高度方向上，而其中另一个悬臂式探针的抵接部与连接部则是皆位于高度方向上。
[0011]优选地，于每个悬臂式探针中，针测悬臂沿长度方向凹设形成有至少一条狭缝。
[0012]优选地，于每个悬臂式探针中，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所
形成的一投影区域之内。
[0013]本专利技术实施例也公开一种垂直式探针卡的悬臂式探针，其包括一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成；一针测段与一固定段分别自主体段于一高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。
[0014]优选地，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所形成的一投影区域之内。
[0015]综上所述，本专利技术实施例所公开的垂直式探针卡，其通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。
[0016]为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例一的垂直式探针卡的立体示意图。
[0018]图2为本专利技术实施例一的探针头的立体分解示意图。
[0019]图3为本专利技术实施例一的垂直式探针卡的剖视示意图。
[0020]图4为本专利技术实施例一的悬臂式探针的立体示意图。
[0021]图5为图4的悬臂式探针第一种方式的平面示意图。
[0022]图6为图4的悬臂式探针第二种方式的平面示意图。
[0023]图7为图4的悬臂式探针第三种方式的平面示意图。
[0024]图8为本专利技术实施例二的探针头的立体分解示意图。
[0025]图9为本专利技术实施例三的垂直式探针卡的剖视示意图。
[0026]图10为本专利技术实施例四的垂直式探针卡的剖视示意图。
[0027]图11为图10的悬臂式探针以针侧段顶抵于待侧物的示意图。
[0028]图12为图10的垂直式探针卡另一种方式的剖视示意图。
[0029]图13为图12的悬臂式探针以针侧段顶抵于待侧物的示意图。
[0030]图14为本专利技术实施例五的垂直式探针卡的立体示意图。
[0031]图15为图14的垂直式探针卡的俯视示意图。
[0032]图16为本专利技术实施例一的悬臂式探针的另一方式的立体示意图。
具体实施方式
[0033]以下是通过特定的具体实施例来说明本专利技术所公开有关“垂直式探针卡及其悬臂式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的优点与效果。本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本专利技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本专利技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本专利技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本专利技术的保护范围。
[0034]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0035][实施例一][0036]请参阅图1至图7及图16所示，其为本专利技术的实施例一。本实施例公开一种垂直式探针卡1000，包括有一探针头100以及抵接于上述探针头100(probe head)一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(space transformer)，并且所述探针头100的另一侧(图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。
[0037]需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现所述垂直式探针卡1000的局部构造，以便于清楚地呈现所述垂直式探针卡1000的各个组件构造与连接关系，但本专利技术并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。
[0038]所述探针头100包含有一高度方向H彼此堆叠设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡包括：多个导板，沿一高度方向彼此堆叠设置；以及多个悬臂式探针，定位于多个所述导板，并且每个所述悬臂式探针包含：一主体段，穿设于多个所述导板内；两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个所述侧翼段夹持于多个所述导板中的至少两个所述导板；及一针测段与一固定段，分别自所述主体段于所述高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂；其中，多个所述悬臂式探针的所述抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。2.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，远离多个所述针测段的一个所述导板，其能沿着高度方向或沿着垂直所述高度方向与所述长度方向的一宽度方向穿过多个所述悬臂式探针，而压抵于每个所述悬臂式探针的两个所述侧翼段。3.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接所述连接部与所述主体段的一缓冲悬臂；其中，所述垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个所述悬臂式探针的所述连接部固定于所述转接板。4.依据权利要求3所述的垂直式探针卡，其特征在于，在多个所述悬臂式探针的至少一个所述悬臂式探针中，所述抵接部与所述连接部非皆位于所述高度方向上，并且所述抵接部与所述连接部于所述长度方向上间隔有大于所述间距的一错位距离。5.依据权利要求3所述的垂直...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文聪，魏逊泰，谢开杰，苏伟志，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：