【技术实现步骤摘要】
探针卡装置及其扇出式探针
[0001]本专利技术涉及一种导电探针，尤其涉及一种探针卡装置及其扇出式探针。
技术介绍
[0002]在需要受力而弯曲才能提供行程的现有导电探针之中，其受力而弯曲的行程段呈直线状，并且现有导电探针的两端点是位于所述行程段的延伸方向上。现有导电探针的构造会导致其与电路板之间需要以线路密集且复杂的间距转换板来传递信号。
[0003]于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
[0004]本专利技术实施例在于提供一种探针卡装置及其扇出式探针，其能有效地改善现有导电探针所可能产生的缺陷。
[0005]本专利技术实施例公开一种探针卡装置，其包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其彼此间隔地设置；以及多个扇出式探针，穿设于第一导板单元与第二导板单元，并且每个扇出式探针包含：一行程段，呈直线状且定义有一长度方向，行程段的两个末端部分别容置于第一导板单元与第二导板单元内；一扇出段，相连于行程段的其中一个末端部，扇出段穿出第一导板单元并具有远离行程段的一转接点；及一测试段，相连于行程段的其中另一个末端部，测试段穿出第二导板单元并具有远离行程段的一顶抵点；其中，转接点在垂直长度方向的一扇出方向上，是与顶抵点相隔有一扇出距离；其中，任两个相邻扇出式探针中的两个转接点的间距大于两个顶抵点的间距，并且第一导板单元与第二导板单元能彼此斜向错位，以使多个扇出式探针的行程段朝相同方向弯曲。>[0006]优选地，探针卡装置进一步包含有一电路板及连接于电路板的一间距转换板，并且多个扇出式探针的转接点固定于间距转换板。
[0007]优选地，探针卡装置进一步包含有一电路板，并且多个扇出式探针的转接点固定于电路板。
[0008]优选地，多个扇出式探针的顶抵点排成一列，且其排列方向平行于垂直长度方向与扇出方向的一直线方向，多个扇出式探针的转接点呈彼此交错排列。
[0009]优选地，多个扇出式探针的顶抵点排成两列，并且每列顶抵点的排列方向平行于垂直长度方向与扇出方向的一直线方向；其中，分属不同列且相邻设置的两个顶抵点之间的距离，其小于相对应两个转接点之间的距离。
[0010]优选地，多个扇出式探针的顶抵点排成N列，并且每列顶抵点的排列方向平行于垂直长度方向与扇出方向的一直线方向，N为不大于三的正整数。
[0011]优选地，多个扇出式探针的扇出距离包含不同的至少两种数值。
[0012]优选地，每个扇出式探针的扇出段包含有：一延伸部，自行程段的相对应末端部沿扇出方向延伸所形成；一转接部，自延伸部沿长度方向延伸所形成，并且转接部的末端为转
接点；及两个侧翼部，分别自延伸部的相反两个末端沿扇出方向延伸所形成，并且两个侧翼部分别突伸出转接部与相对应的末端部。
[0013]本专利技术实施例也公开一种探针卡装置的扇出式探针，其包括：一行程段，呈直线状且定义有一长度方向，并且行程段包含有两个末端部；其中，行程段能通过两个末端部分别沿彼此相反的方向受力而弯曲；一扇出段，相连于行程段的其中一个末端部，并且扇出段具有远离行程段的一转接点；以及一测试段，相连于行程段的其中另一个末端部，并且测试段具有远离行程段的一顶抵点；其中，转接点在垂直长度方向的一扇出方向上，是与顶抵点相隔有一扇出距离。
[0014]优选地，扇出段包含有：一延伸部，自行程段的相对应末端部沿扇出方向延伸所形成；一转接部，自延伸部沿长度方向延伸所形成，并且转接部的末端为转接点；及两个侧翼部，分别自延伸部的相反两个末端沿扇出方向延伸所形成，并且两个侧翼部分别突伸出转接部与相对应的末端部。
[0015]综上所述，本专利技术实施例所公开的探针卡装置，其通过所述扇出式探针的构造设计(如：所述转接点与所述顶抵点相隔有所述扇出距离)，以使得多个所述扇出式探针的所述转接点之间的距离能够被拉开，进而有效地改善所述探针卡装置的生产成本与效率(如：所述间距转换板的制造难度可以被降低；或者，所述探针卡装置省略所述间距转换板)。
[0016]为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例一的探针卡装置的立体示意图。
[0018]图2为图1的探针头俯视示意图。
[0019]图3为图1中的多个扇出式探针的立体示意图。
[0020]图4为本专利技术实施例一的扇出式探针的平面示意图。
[0021]图5为图4的扇出式探针另一形态的平面示意图。
[0022]图6为图4的扇出式探针又一形态的平面示意图。
[0023]图7为本专利技术实施例一的探针卡装置另一形态的立体示意图(仅呈现扇出式探针)。
[0024]图8为图7的俯视示意图。
[0025]图9为本专利技术实施例二的探针卡装置的立体示意图。
[0026]图10为本专利技术实施例三的探针卡装置的探针头立体示意图。
具体实施方式
[0027]以下是通过特定的具体实施例来说明本专利技术所公开有关“探针卡装置及其扇出式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的优点与效果。本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本专利技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本专利技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本专利技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本专利技术的保护范围。
[0028]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0029][实施例一][0030]请参阅图1至图8所示，其为本专利技术的实施例一。如图1所示，本实施例公开一种探针卡装置1000，包含有一探针头100以及抵接于所述探针头100一侧(如：图1的探针头100顶侧)的一电路板200，并且所述探针头100的另一侧(如：图1的探针头100底侧)用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。也就是说，本实施例的探针卡装置1000在所述探针头100与所述电路板200之间位设有任何间距转换板(space transformer)，并且所述探针卡装置1000是以所述探针头100直接连接所述电路板200。
[0031]需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现所述探针卡装置1000的局部构造，以便于清楚地呈现所述探针卡装置1000的各个组件构造与连接关系，但本专利技术并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其彼此间隔地设置；以及多个扇出式探针，穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元，并且每个所述扇出式探针包含：一行程段，呈直线状且定义有一长度方向，所述行程段的两个末端部分别容置于所述第一导板单元与所述第二导板单元内；一扇出段，相连于所述行程段的其中一个所述末端部，所述扇出段穿出所述第一导板单元并具有远离所述行程段的一转接点；及一测试段，相连于所述行程段的其中另一个所述末端部，所述测试段穿出所述第二导板单元并具有远离所述行程段的一顶抵点；其中，所述转接点在垂直所述长度方向的一扇出方向上，是与所述顶抵点相隔有一扇出距离；其中，任两个相邻所述扇出式探针中的两个所述转接点的间距大于两个所述顶抵点的间距，并且所述第一导板单元与所述第二导板单元能彼此斜向错位，以使多个所述扇出式探针的所述行程段朝相同方向弯曲。2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包含有一电路板及连接于所述电路板的一间距转换板，并且多个所述扇出式探针的所述转接点固定于所述间距转换板。3.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包含有一电路板，并且多个所述扇出式探针的所述转接点固定于所述电路板。4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，多个所述扇出式探针的所述顶抵点排成一列，且其排列方向平行于垂直所述长度方向与所述扇出方向的一直线方向，多个所述扇出式探针的所述转接点呈彼此交错排列。5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，多个所述扇出式探针的所述顶抵点排成两列，并且每列所述顶抵点的排列方向平行于垂直所述长度方向与所述扇出方向的一直线方向；其中，分属不同列且相邻设置的两个所述顶抵点之间的距离，其小于相对应两个所述转接点...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文聪，魏逊泰，谢开杰，苏伟志，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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