阵列式薄膜探针卡及其测试模块制造技术

本发明专利技术公开一种阵列式薄膜探针卡及其测试模块，所述测试模块包含有一承载单元、定位于所述承载单元的多个垂直式探针、设置于所述承载单元的一弹性垫、及一薄膜片。所述薄膜片包含有局部设置于所述弹性垫的一载体、设置于所述载体的多条信号线路、及分别形成于多条所述信号线路的多个导电凸块。多个所述导电凸块呈一环状排列设置，多个所述垂直式探针的一端位于多个所述导电凸块的内侧，并且多个所述垂直式探针的所述一端与多个所述导电凸块的末端呈共平面设置。据此，通过多个所述导电凸块以及所述多个所述垂直式探针的配置而共同构成一阵列式检测点，据以有效地扩充所述阵列式薄膜探针卡的应用与测试范围。薄膜探针卡的应用与测试范围。薄膜探针卡的应用与测试范围。

【技术实现步骤摘要】
阵列式薄膜探针卡及其测试模块


[0001]本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种阵列式薄膜探针卡及其测试模块。

技术介绍

[0002]现有的薄膜探针卡在以其呈环状排列的多个导电凸块顶抵于一待测物(device under test，DUT)以进行测试时，所以现有薄膜探针卡仅适用于周边型测试，而无法应用在数组型测试。
[0003]于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例在于提供一种阵列式薄膜探针卡及其测试模块，其能有效地改善现有薄膜探针卡所可能产生的缺陷。
[0005]本专利技术实施例公开一种阵列式薄膜探针卡，其包括：一转接板；一承载单元，设置于转接板；多个垂直式探针，定位于承载单元；一弹性垫，设置于承载单元，以使承载单元夹持于弹性垫与转接板之间；以及一薄膜片，界定有一外区块、与外区块在一高度方向有段差的一内区块、及连接外区块与内区块的一延伸区块；其中，薄膜片包含有：一载体，其位于内区块的部位至少部分设置于弹性垫，而位于外区块的载体的部位至少部分设置于转接板；多条信号线路，设置于载体上，并且多条信号线路中的至少部分信号线路电性耦接于转接板；及多个导电凸块，位于内区块且分别形成于多条信号线路，并且多个导电凸块呈一环状排列设置；其中，多个垂直式探针的一端位于多个导电凸块的内侧，并且多个垂直式探针的一端与多个导电凸块的末端呈共平面设置，而多个垂直式探针的另一端连接且电性耦接于转接板。
[0006]优选地，位于内区块的载体的部位形成有多个沟槽，以使载体在内区块构成多个作动段，而位于内区块的多条信号线路的部位分别位于多个作动段上；其中，薄膜片包含有设置于多个作动段与弹性垫之间的多个独立筒，并且多个独立筒沿高度方向分别对应于多个导电凸块，以使位于内区块的载体的部位呈一阶梯状构造。
[0007]优选地，当任一个导电凸块与其对应的独立筒沿高度方向正投影至一平面时，导电凸块所形成的一投影区域，其位于独立筒所形成的投影区域的外轮廓之内。
[0008]优选地，任一个导电凸块的一中心轴线重叠于相对应独立筒的一中心轴线、且平行于高度方向。
[0009]优选地，任一个独立筒于高度方向上具有一支撑高度，并且任一个导电凸块于高度方向上的一突出高度，而支撑高度不小于突出高度、且不大于五倍的突出高度。
[0010]优选地，多个信号线路、多个导电凸块、及多个独立筒的材质皆相同，并且每个独立筒的一环侧缘裸露于空气中。
[0011]优选地，每个导电凸块包含有电性耦接于相对应信号线路的一爪状金属结构及位
于爪状金属结构内侧的一弹性体；其中，于每个导电凸块中，爪状金属结构能通过压迫于弹性体而弹性地变形。
[0012]优选地，阵列式薄膜探针卡进一步包含有安装于转接板的至少一个同轴连接器，薄膜片的多条信号线路包含有至少一条高频信号线路，并且位于外区块的至少一条高频信号线路的部位连接于至少一个同轴连接器。
[0013]本专利技术实施例也公开一种阵列式薄膜探针卡的测试模块，其包括：一承载单元；多个垂直式探针，定位于承载单元；一弹性垫，设置于承载单元；以及一薄膜片，界定有一外区块、与外区块在一高度方向有段差的一内区块、及连接外区块与内区块的一延伸区块；其中，薄膜片包含有：一载体，其位于内区块的部位设置于弹性垫；多条信号线路，设置于载体上；及
[0014]多个导电凸块，位于内区块且分别形成于多条信号线路，并且多个导电凸块呈一环状排列设置；其中，多个垂直式探针的一端位于多个导电凸块的内侧，并且多个垂直式探针的一端与多个导电凸块的末端呈共平面设置。
[0015]优选地，位于内区块的载体的部位形成有多个沟槽，以使载体在内区块构成多个作动段，而位于内区块的多条信号线路的部位分别位于多个作动段上；其中，薄膜片包含有设置于多个作动段与弹性垫之间的多个独立筒，并且多个独立筒沿高度方向分别对应于多个导电凸块，以使位于内区块的载体的部位呈一阶梯状构造；其中，任一个导电凸块的一中心轴线重叠于相对应独立筒的一中心轴线、且平行于高度方向；当任一个导电凸块与其对应的独立筒沿高度方向正投影至一平面时，导电凸块所形成的一投影区域，其位于独立筒所形成的投影区域的外轮廓之内。
[0016]综上所述，本专利技术实施例所公开的阵列式薄膜探针卡及其测试模块，其通过多个所述导电凸块以及所述多个所述垂直式探针的配置而共同构成一阵列式检测点，据以有效地扩充所述阵列式薄膜探针卡的应用与测试范围。
[0017]为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是这些说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0018]图1为本专利技术实施例一的阵列式薄膜探针卡的立体示意图。
[0019]图2为沿图1的剖线II-II的剖视示意图。
[0020]图3为本专利技术实施例二的阵列式薄膜探针卡的薄膜片的局部(如：导电凸块及相对应部位)立体示意图。
[0021]图4为本专利技术实施例三的阵列式薄膜探针卡的立体示意图。
[0022]图5为图4的仰视示意图。
[0023]图6为图4的弹性垫与薄膜片的立体示意图。
[0024]图7为图4的弹性垫与薄膜片的另一视角立体示意图。
[0025]图8为沿图4的剖线VIII-VIII的剖视示意图。
[0026]图9为图8中的部位IX的放大示意图。
具体实施方式
[0027]以下是通过特定的具体实施例来说明本专利技术所公开有关“阵列式薄膜探针卡及其测试模块”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的优点与效果。本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本专利技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本专利技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本专利技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本专利技术的保护范围。
[0028]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0029][实施例一][0030]请参阅图1和图2所示，本实施例公开一种阵列式薄膜探针卡100，其包含有一转接板1(space transformer)、设置于所述转接板1的一承载单元2、安装于所述转接板1的至少一个同轴连接器3、定位于所述承载单元2的多个垂直式探针4、设置于所述承载单元2上的一弹性垫5、及局部设置于所述弹性垫5上的一薄膜片6。其中，所述承载单元2、多个个所述垂直式探针4、所述弹性垫5、及所述薄膜片6于本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列式薄膜探针卡，其特征在于，所述阵列式薄膜探针卡包括：一转接板；一承载单元，设置于所述转接板；多个垂直式探针，定位于所述承载单元；一弹性垫，设置于所述承载单元，以使所述承载单元夹持于所述弹性垫与所述转接板之间；以及一薄膜片，界定有一外区块、与所述外区块在一高度方向有段差的一内区块、及连接所述外区块与所述内区块的一延伸区块；其中，所述薄膜片包含有：一载体，其位于所述内区块的部位至少部分设置于所述弹性垫，而位于所述外区块的所述载体的部位至少部分设置于所述转接板；多条信号线路，设置于所述载体上，并且多条所述信号线路中的至少部分所述信号线路电性耦接于所述转接板；及多个导电凸块，位于所述内区块且分别形成于多条所述信号线路，并且多个所述导电凸块呈一环状排列设置；其中，多个所述垂直式探针的一端位于多个所述导电凸块的内侧，并且多个所述垂直式探针的所述一端与多个所述导电凸块的末端呈共平面设置，而多个所述垂直式探针的另一端连接且电性耦接于所述转接板。2.依据权利要求1所述的阵列式薄膜探针卡，其特征在于，位于所述内区块的所述载体的所述部位形成有多个沟槽，以使所述载体在所述内区块构成多个作动段，而位于所述内区块的多条所述信号线路的部位分别位于多个所述作动段上；其中，所述薄膜片包含有设置于多个所述作动段与所述弹性垫之间的多个独立筒，并且多个所述独立筒沿所述高度方向分别对应于多个所述导电凸块，以使位于所述内区块的所述载体的所述部位呈一阶梯状构造。3.依据权利要求2所述的阵列式薄膜探针卡，其特征在于，当任一个所述导电凸块与其对应的所述独立筒沿所述高度方向正投影至一平面时，所述导电凸块所形成的一投影区域，其位于所述独立筒所形成的投影区域的外轮廓之内。4.依据权利要求2所述的阵列式薄膜探针卡，其特征在于，任一个所述导电凸块的一中心轴线重叠于相对应所述独立筒的一中心轴线、且平行于所述高度方向。5.依据权利要求2所述的阵列式薄膜探针卡，其特征在于，任一个所述独立筒于所述高度方向上具有一支撑高度，并且任一个所述导电凸块于所述高度方向上的一突出高度，而所述支撑高度不小于所述突出高度、且不大于五倍的所述突出高度。6.依据权利要求2所述的阵列式薄膜探针卡，其特征在于，多个所述信号线...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文聪，魏逊泰，谢开杰，刘兆强，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：