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阵列式薄膜探针卡及其测试模块制造技术
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文档序号:30774491
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本发明公开一种阵列式薄膜探针卡及其测试模块,所述测试模块包含有一承载单元、定位于所述承载单元的多个垂直式探针、设置于所述承载单元的一弹性垫、及一薄膜片。所述薄膜片包含有局部设置于所述弹性垫的一载体、设置于所述载体的多条信号线路、及分别形成于...
该专利属于中华精测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中华精测科技股份有限公司授权不得商用。
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