硅片输送载具及硅片传送装置制造方法及图纸

技术编号:24303621 阅读:30 留言:0更新日期:2020-05-26 22:47
本实用新型专利技术提供了一种硅片输送载具及硅片传送装置,硅片输送载具包括支撑板、定位件和固定件,定位件设置在支撑板的一侧,定位件包括弯折部,弯折部适于与硅片上朝向支撑板的边沿相抵接,并将边沿限位于弯折部处;固定件设置在支撑板上设有定位件的一侧,并用于限位硅片的侧边。本实用新型专利技术提供的载具,弯折部能够对硅片上朝向支撑板的边沿起到限位作用,防止该边沿相对于支撑板运动,从而使得载具能够承载硅片。该结构简单、成本低,且能够实现对硅片的稳定承载,避免硅片相对于载具晃动,从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。

Wafer carrier and wafer conveyor

【技术实现步骤摘要】
硅片输送载具及硅片传送装置
本技术涉及太阳能电池硅片生产
,更具体而言,涉及一种硅片输送载具及硅片传送装置。
技术介绍
HIT(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer)太阳能光伏电池制备时,硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干、固化。相关技术中载具采用U型槽设计,载具直接与硅片表面接触,而且载具采用单个小方槽固定,整个装置结构复杂,而且在生产传送时抖动严重容易产生电池片划伤、红外EL黑点(红外缺陷)、隐裂等质量隐患。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术的一个方面的目的在于提供一种硅片输送载具。本技术的另一个方面的目的在于提供一种包括上述硅片输送载具的硅片传送装置。为实现上述目的,本技术的一个方面的技术方案提供了一种硅片输送载具,包括:支撑板;定位件,设置在所述支撑板的一侧,所述定位件包括弯折部,所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接,并将所述边沿限位于所述弯折部处;和固定件,设置在所述支撑板上设有所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片输送载具,其特征在于,包括:/n支撑板;/n定位件,设置在所述支撑板的一侧,所述定位件包括弯折部,所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接,并将所述边沿限位于所述弯折部处;和/n固定件,设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧,并用于限位所述硅片的侧边。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片输送载具,其特征在于,包括:
支撑板;
定位件,设置在所述支撑板的一侧,所述定位件包括弯折部,所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接,并将所述边沿限位于所述弯折部处;和
固定件,设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧,并用于限位所述硅片的侧边。


2.根据权利要求1所述的硅片输送载具,其特征在于,
所述弯折部呈圆弧形或R形。


3.根据权利要求1所述的硅片输送载具,其特征在于,
所述定位件包括依次设置的连接部、定位件本体和凸起部,所述连接部位于所述定位件本体靠近所述支撑板的一侧并用于与所述支撑板相连接,所述凸起部位于所述定位件本体背离所述支撑板的一侧,所述凸起部与所述定位件本体的连接处形成所述弯折部。


4.根据权利要求3所述的硅片输送载具,其特征在于,
所述定位件本体与所述支撑板之间具有间隙。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片输送载具,其特征在于,
所述支撑板上设有多个连接部,多个所述连接部与硅片传送装置上的多个连接配合部一一对应并相连接。


6.根据权利要求5所述的硅片输送载...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗搏飞吴勇茂冼志军
申请(专利权)人:常州捷佳创智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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