硅片输送载具及硅片传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片输送载具及硅片传送装置，硅片输送载具包括支撑板、定位件和固定件，定位件设置在支撑板的一侧，定位件包括弯折部，弯折部适于与硅片上朝向支撑板的边沿相抵接，并将边沿限位于弯折部处；固定件设置在支撑板上设有定位件的一侧，并用于限位硅片的侧边。本实用新型专利技术提供的载具，弯折部能够对硅片上朝向支撑板的边沿起到限位作用，防止该边沿相对于支撑板运动，从而使得载具能够承载硅片。该结构简单、成本低，且能够实现对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。

Wafer carrier and wafer conveyor

【技术实现步骤摘要】
硅片输送载具及硅片传送装置
本技术涉及太阳能电池硅片生产
，更具体而言，涉及一种硅片输送载具及硅片传送装置。
技术介绍
HIT(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer)太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干、固化。相关技术中载具采用U型槽设计，载具直接与硅片表面接触，而且载具采用单个小方槽固定，整个装置结构复杂，而且在生产传送时抖动严重容易产生电池片划伤、红外EL黑点(红外缺陷)、隐裂等质量隐患。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个方面的目的在于提供一种硅片输送载具。本技术的另一个方面的目的在于提供一种包括上述硅片输送载具的硅片传送装置。为实现上述目的，本技术的一个方面的技术方案提供了一种硅片输送载具，包括：支撑板；定位件，设置在所述支撑板的一侧，所述定位件包括弯折部，所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接，并将所述边沿限位于所述弯折部处；和固定件，设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧，并用于限位所述硅片的侧边。本技术上述技术方案提供的硅片输送载具，在支撑板一侧设置定位件，定位件包括弯折部，硅片上朝向支撑板的边沿位于弯折部处并与弯折部相抵接，从而弯折部能够对硅片上朝向支撑板的边沿起到限位作用，防止该边沿相对于支撑板运动，从而使得载具能够承载硅片。该结构简单、成本低，且能够实现对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。固定件与定位件设置在支撑板的同一侧，从而可以实现载具对硅片的侧立输送，满足传送要求，并有效提升烘干等工作效率，以致将硅片传送到炉体中，可实现对硅片的正面与背面加热烘干，缩短工艺时间，提升烘干效果及成品率。另外，本技术上述技术方案提供的硅片输送载具还具有如下附加技术特征：上述任一技术方案中，所述弯折部呈圆弧形或R形。硅片限位于弯折部处，增加了硅片的受力点，解决了相关技术中单个小方槽固定容易晃动的弊端。定位件托起硅片底部的边沿，圆弧形对硅片进片时具有一定的缓冲作用，保护硅片不被损伤。弯折部处呈圆弧形，将硅片与定位件接触时的瞬时压力分解成多个方向的，使得硅片不会因自身下落而碎裂，降低裂片率。或者，弯折部呈R形或类似R形。上述任一技术方案中，所述定位件包括依次设置的连接部、定位件本体和凸起部，所述连接部位于所述定位件本体靠近所述支撑板的一侧并用于与所述支撑板相连接，所述凸起部位于所述定位件本体背离所述支撑板的一侧，所述凸起部与所述定位件本体的连接处形成所述弯折部。定位件与硅片的底部相抵接，硅片的边沿包括硅片底部相对设置的第一边沿和第二边沿，以硅片大致呈长方体形为例，硅片的边沿包括长方体形底部的两边沿(第一边沿和第二边沿)，第一边沿和第二边沿沿支撑板的宽度方向依次设置。第一弯折段与第一边沿相抵接，第二弯折段与第二边沿相抵接，从而实现定位件对硅片的两点定位固定，增加了受力点，解决了传统单个小方槽固定容易晃动的弊端。凸起部与定位件本体的连接处形成弯折部，硅片上朝向支撑板的边沿限位于弯折部内，通过弯折部可以对硅片进行稳定的限位，防止硅片相对于载具运动。连接部和凸起部分别位于定位件本体相对的两侧，其中，连接部靠近支撑板设置，凸起部远离支撑板设置，这样，连接部和凸起部之间相互不干涉，而且能够使得凸起部与支撑板之间具有间隙，换言之，使得凸起部与支撑板不共面，这样硅片底部边沿与支撑板之间具有间隙，从而提高对硅片的烘干效率。进一步地，定位件呈S形或类似S形。进一步地，连接部靠近支撑板的第一侧壁设置，凸起部靠近支撑板的第二侧壁设置，第一侧壁和第二侧壁分别为支撑板宽度方向的两侧边。上述任一技术方案中，所述定位件本体与所述支撑板之间具有间隙。定位件本体与支撑板之间具有间隙，从而使得硅片与支撑板之间具有间隙，进而可以对硅片的底部进行加热，提升对硅片的烘干效率和烘干效果。进一步地，定位件本体与支撑板平行设置。进一步地，定位件为一体式结构。上述任一技术方案中，所述定位件的数量为多个，多个所述定位件沿所述支撑板的长度方向依次设置。定位件的数量为多个，可以增强对硅片的限位及支撑效果，进一步提高硅片在载具中的稳定性。上述任一技术方案中，所述支撑板上设有多个连接部，多个所述连接部与硅片传送装置上的多个连接配合部一一对应并相连接。支撑板上设有多个连接部，多个连接部分别用于与硅片传送装置上的多个连接配合部一一对应并连接，增加了支撑板与硅片传送装置之间的连接点和受力点，解决了传统单个小方槽固定容易晃动的弊端，实现了对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。上述任一技术方案中，所述连接部包括供紧固件穿过的安装孔，以使所述支撑板与所述硅片传送装置通过所述紧固件相连接，且多个所述安装孔沿所述支撑板的长度方向依次设置。连接部包括安装孔，连接配合部包括连接孔，紧固件(例如螺钉)穿过安装孔和连接孔，实现支撑板与硅片传送装置之间的连接。通过紧固件连接的方式结构简单、成本低。多个安装孔沿支撑板的长度方向依次设置，从而增强了支撑板与硅片传送装置之间在支撑板长度方向上的连接可靠性。进一步地，安装孔位于支撑板宽度方向上的中部。上述任一技术方案中，所述固定件包括相对设置的第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆设置在所述支撑板上，所述固定件还包括设置在所述第一连杆和所述第二连杆之间的耳托部，所述耳托部位于所述第一连杆及所述第二连杆背离所述定位件的一侧并限定出开口朝向所述定位件的开口槽，所述耳托部用于限位所述硅片的侧边。固定件在支撑板的端头立起，且固定件远离支撑板的一端设有耳托部，耳托部围设硅片的相应侧边，耳托部与硅片的侧边接触，避免接触硅片的中部，有效保护硅片上的印刷，提升产品成品率及光电效率。固定件由杆体弯折构造，固定件具有前后间隔的第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆之间的间隙适配硅片侧立置放，第一连杆和第二连杆远离支撑板的一端由耳托部连在一起。该结构简单，制作容易。进一步地，耳托部为V形侧翼状，满足硅片的宽度尺寸，并保证耳托部围设硅片的相应侧边、适当托持，实现硅片侧立输送，满足传送要求。进一步地，支撑板与固定件组合成凹字形，支撑板与硅片输送方向交叉横设，支撑板的上侧面与固定件合围满足硅片侧立置放，固定件接触硅片的边缘，避免接触硅片的中部，有效保护硅片上的印刷。第一连杆和第二连杆向两端沿支撑板的轴向(长度方向)向外延伸后，形成一个V型耳托部，具有V形槽，以放置硅片，降低了电池片(硅片)划伤的可能性。进一步地，固定件的数量为多个，例如固定件的数量为两个，且两个固定件分别位于支撑板长度方向的两端。上述任一技术方案中，所述开口槽和所述弯本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片输送载具，其特征在于，包括：/n支撑板；/n定位件，设置在所述支撑板的一侧，所述定位件包括弯折部，所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接，并将所述边沿限位于所述弯折部处；和/n固定件，设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧，并用于限位所述硅片的侧边。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片输送载具，其特征在于，包括：
支撑板；
定位件，设置在所述支撑板的一侧，所述定位件包括弯折部，所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接，并将所述边沿限位于所述弯折部处；和
固定件，设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧，并用于限位所述硅片的侧边。


2.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于，
所述弯折部呈圆弧形或R形。


3.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于，
所述定位件包括依次设置的连接部、定位件本体和凸起部，所述连接部位于所述定位件本体靠近所述支撑板的一侧并用于与所述支撑板相连接，所述凸起部位于所述定位件本体背离所述支撑板的一侧，所述凸起部与所述定位件本体的连接处形成所述弯折部。


4.根据权利要求3所述的硅片输送载具，其特征在于，
所述定位件本体与所述支撑板之间具有间隙。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片输送载具，其特征在于，
所述支撑板上设有多个连接部，多个所述连接部与硅片传送装置上的多个连接配合部一一对应并相连接。


6.根据权利要求5所述的硅片输送载...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗搏飞，吴勇茂，冼志军，
申请(专利权)人：常州捷佳创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32