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本实用新型提供了一种硅片输送载具及硅片传送装置,硅片输送载具包括支撑板、定位件和固定件,定位件设置在支撑板的一侧,定位件包括弯折部,弯折部适于与硅片上朝向支撑板的边沿相抵接,并将边沿限位于弯折部处;固定件设置在支撑板上设有定位件的一侧,并用...该专利属于常州捷佳创智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州捷佳创智能装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种硅片输送载具及硅片传送装置,硅片输送载具包括支撑板、定位件和固定件,定位件设置在支撑板的一侧,定位件包括弯折部,弯折部适于与硅片上朝向支撑板的边沿相抵接,并将边沿限位于弯折部处;固定件设置在支撑板上设有定位件的一侧,并用...