一种旋转靶材绑定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于旋转靶材技术领域，且公开了一种旋转靶材绑定装置，包括底座，所述底座的顶部安装有支撑架，所述支撑架的外侧固定有控制器，且支撑架的内侧顶端安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部通过液压杆固定连接有真空吸盘，所述支撑架的内侧侧壁安装有导轨，所述导轨远离支撑架的一侧上方固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部安装有连接块，本实用新型专利技术通过电动伸缩杆带动连接块升降，使连接块带动活动块在第二滑槽内滑动，从而使涂胶器能够平缓的上下移动，之后通过第二液压缸带动涂胶器沿水平方向移动，从而使涂胶器左右移动，进而便于涂胶器对旋转靶材与绑定基板的表面进行涂胶。

A binding device for rotating target

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材绑定装置
本技术属于旋转靶材
，具体涉及一种旋转靶材绑定装置。
技术介绍
旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动，而靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。在专利号为CN201821575019.9的中国专利中，公开了一种靶材绑定装置，该装置通过电机通电转动带动螺纹杆转动，螺纹杆带动涂胶装置向左或向右移动，从而对旋转靶材与绑定基板的表面进行涂胶，但由于底座上方固定的旋转靶材无法移动，而电机只能带动涂胶装置左右移动，移动时的灵活度较差，当旋转靶材直径过大时涂胶装置上的滚辊无法作用在材料表面，从而影响装置的正常使用，另外，由于旋转靶材通常为圆筒型，其外壁圆滑，因此难以对旋转靶材进行固定，在涂胶装置上的滚辊与旋转靶材接触时容易带动靶材发生晃动，从而影响涂胶效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶材绑定装置，其特征在于：包括底座，所述底座的顶部安装有支撑架，所述支撑架的外侧固定有控制器，且支撑架的内侧顶端安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部通过液压杆固定连接有真空吸盘，所述支撑架的内侧侧壁安装有导轨，所述导轨远离支撑架的一侧上方固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部安装有连接块，所述连接块的一侧固定有第二液压缸，所述第二液压缸远离连接块的一端通过液压杆固定连接有涂胶器，所述导轨的内部开设有第二滑槽，所述连接块远离第二液压缸的一侧安装有活动块，所述活动块延伸至导轨内部的一端与第二滑槽相连接，所述电动伸缩杆与控制器电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材绑定装置，其特征在于：包括底座，所述底座的顶部安装有支撑架，所述支撑架的外侧固定有控制器，且支撑架的内侧顶端安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部通过液压杆固定连接有真空吸盘，所述支撑架的内侧侧壁安装有导轨，所述导轨远离支撑架的一侧上方固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部安装有连接块，所述连接块的一侧固定有第二液压缸，所述第二液压缸远离连接块的一端通过液压杆固定连接有涂胶器，所述导轨的内部开设有第二滑槽，所述连接块远离第二液压缸的一侧安装有活动块，所述活动块延伸至导轨内部的一端与第二滑槽相连接，所述电动伸缩杆与控制器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材绑定装置，其特征在于：所述底座的顶部靠近真空吸盘的下方安装有固定板，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡茂横，
申请(专利权)人：深圳恒泰克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44