本实用新型专利技术涉及靶材回收技术领域，具体的说是一种新型镀膜用靶材回收装置，包括固定座，所述固定座上安装有限位机构，所述限位机构包括连接杆，所述固定座上滑动连接有四根呈两两对称分布的连接杆，所述连接杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与固定座及连接杆固定连接，所述连接杆的一端固定连接有挡块，所述固定座的内部转动连接有转盘，所述转盘上设有导轨，所述导轨的内部滑动连接有导向柱，所述导向柱的一端与连接杆的一侧固定连接，所述固定座的内部滑动连接有收集盒，所述收集盒为一侧敞开式；经过打磨处理的靶材可以多次利用，不仅操作方便，同时还节省了成本。同时还节省了成本。同时还节省了成本。
【技术实现步骤摘要】
一种新型镀膜用靶材回收装置
[0001]本技术涉及一种靶材回收装置，具体为一种新型镀膜用靶材回收装置，属于靶材回收
技术介绍
[0002]靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。目前废弃靶材或靶材废料的回收基本上是通过放置回收桶，操作人员将废弃靶材或靶材废料扔入回收桶来实现回收，然后再统一熔炼，但是这种熔炼后的材料不纯净，含有较多的杂质，需要经过多次提纯才能继续使用，非常麻烦还浪费人工及成本。
技术实现思路
[0003]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型镀膜用靶材回收装置，不需要进行熔炼回收，只需进行打磨回收即可，经过打磨处理的靶材可以多次利用，不仅操作方便，同时还节省了大量的成本。
[0004]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种新型镀膜用靶材回收装置，包括固定座，所述固定座上安装有限位机构，所述限位机构包括连接杆，所述固定座上滑动连接有四根呈两两对称分布的连接杆，所述连接杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与固定座及连接杆固定连接，所述连接杆的一端固定连接有挡块，所述固定座的内部转动连接有转盘，所述转盘上设有导轨，所述导轨的内部滑动连接有导向柱，所述导向柱的一端与连接杆的一侧固定连接，所述固定座的内部滑动连接有收集盒，所述收集盒为一侧敞开式。
[0005]优选的，所述固定座整体呈“L”形结构，所述固定座上固定连接有防护罩。
[0006]优选的，所述挡块的截面为弧形结构，所述挡块设有多个，且多个所述挡块的首位相互抵触构成圆环形结构。
[0007]优选的，所述导轨设有多个，所述导轨呈倾斜设置，且所述导轨为弧形结构。
[0008]优选的，所述固定座的一侧设有滑轨，所述滑轨为弧形结构且内部滑动连接有滑动把手，所述滑动把手的一端与转盘固定连接。
[0009]优选的，所述固定座上安装有夹持机构，所述夹持机构包括滑槽，所述固定座的一侧设有滑槽，所述滑槽呈“凸”形结构，所述滑槽的内部转动连接有丝杆，所述丝杆的两端均与固定座的内部转动连接。
[0010]优选的，所述丝杆两端的螺纹为反向结构，所述丝杆的两端分别螺纹连接有第一夹板及第二夹板，所述第一夹板与第二夹板的一侧均与固定座的一侧滑动连接。
[0011]优选的，所述第一夹板的一侧固定连接有滑套，所述滑套的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端与第二夹板的一侧固定连接。
[0012]优选的，所述固定座的一侧转动连接有转动块，所述转动块的一端与丝杆的一端固定连接。
[0013]本技术的有益效果是：在固定座上呈对称连接有按四根连接杆，由于在连接杆上还安装有弹簧，在弹簧的作用下，连接杆另一端挡块的两侧相互抵触连接，此时将废旧的靶材放置在挡块进行限位处理，由于挡块的截面为弧形结构，此时在弹簧的作用下挡块的一侧与废旧靶材紧密抵触，在固定座的内部还转动连接有转盘，由于转盘上设有呈倾斜设置且下相互对称的四条弧形导轨，此时在导轨的内均滑动连接有导向柱，由于导向柱的一端与连接杆固定连接，当其中一根连接杆在外力的作用下滑动，此时转盘转动，在导轨的作用下将另外三根连接杆向固定座的外侧滑动，从而方便对废旧靶材限位，此时在使用打磨机对废旧靶材表面的镀膜进行打磨处理，由于在打磨过程中会有大量的碎渣溅落，因此在固定座上还滑动连接有收集盒，由于收集盒底侧一侧为敞开式，在打磨时产生的碎渣掉进收集盒中进行集中处理，经过打磨处理的靶材可以多次利用，不仅操作方便，同时还节省了成本。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术的固定座、连接杆及转盘的连接结构示意图；
[0016]图3为本技术的固定座、滑轨及滑动把手的连接结构示意图；
[0017]图4为本技术的固定座、第一夹板及丝杆的连接结构示意图；
[0018]图5为图2所示的A部放大结构示意图；
[0019]图6为图4所示的B部放大结构示意图。
[0020]图中：1、固定座；2、限位机构；201、连接杆；202、弹簧；203、挡块；204、转盘；205、导轨；206、导向柱；207、滑轨；208、滑动把手；209、收集盒；3、防护罩；4、夹持机构；401、滑槽；402、第一夹板；403、第二夹板；404、滑套；405、滑杆；406、丝杆；407、转动块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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6所示，一种新型镀膜用靶材回收装置，包括固定座1，所述固定座1上安装有限位机构2，所述限位机构2包括连接杆201，所述固定座1上滑动连接有四根呈两两对称分布的连接杆201，所述连接杆201上套设有弹簧202，所述弹簧202的两端分别与固定座1及连接杆201固定连接，所述连接杆201的一端固定连接有挡块203，所述固定座1的内部转动连接有转盘204，所述转盘204上设有导轨205，所述导轨205的内部滑动连接有导向柱206，所述导向柱206的一端与连接杆201的一侧固定连接，所述固定座1的内部滑动连接有收集盒209，所述收集盒209为一侧敞开式。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，所述固定座1整体呈“L”形结构，所述固定座1上固定连接有防护罩3，由于在打磨过程中会有大量的碎渣溅落，防止碎渣飞溅的到处都是不方便清扫。
[0024]作为本技术的一种技术优化方案，所述挡块203的截面为弧形结构，所述挡块
203设有多个，且多个所述挡块203的首位相互抵触构成圆环形结构由于挡块203的截面为弧形结构，此时在弹簧202的作用下，挡块203的一侧与废旧靶材紧密抵触，所述导轨205设有多个，所述导轨205呈倾斜设置，且所述导轨205为弧形结构，此时转盘204转动，在导轨205的作用下将另外三根连接杆201向固定座1的外侧滑动，从而方便对废旧靶材限位，此时在使用打磨机对废旧靶材表面的镀膜进行打磨处理，所述固定座1的一侧设有滑轨207，所述滑轨207为弧形结构且内部滑动连接有滑动把手208，所述滑动把手208的一端与转盘204固定连接，方便操作人员通过向下转动滑动把手208，将连接杆201滑出，从而将废旧靶材固定在挡块203上。
[0025]作为本技术的一种技术优化方案，所述固定座1上安装有夹持机构4，所述夹持机构4包括滑槽401，所述固定座1的一侧设有滑槽401，所述滑槽401呈“凸”形结构，所述滑槽401的内部转动连接有丝杆406，所述丝杆406的两端均与固定座1的内部转动连接，方便第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型镀膜用靶材回收装置，包括固定座（1），其特征在于：所述固定座（1）上安装有限位机构（2），所述限位机构（2）包括连接杆（201），所述固定座（1）上滑动连接有四根呈两两对称分布的连接杆（201），所述连接杆（201）上套设有弹簧（202），所述弹簧（202）的两端分别与固定座（1）及连接杆（201）固定连接，所述连接杆（201）的一端固定连接有挡块（203），所述固定座（1）的内部转动连接有转盘（204），所述转盘（204）上设有导轨（205），所述导轨（205）的内部滑动连接有导向柱（206），所述导向柱（206）的一端与连接杆（201）的一侧固定连接，所述固定座（1）的内部滑动连接有收集盒（209），所述收集盒（209）为一侧敞开式。2.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置，其特征在于：所述固定座（1）整体呈“L”形结构，所述固定座（1）上固定连接有防护罩（3）。3.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置，其特征在于：所述挡块（203）的截面为弧形结构，所述挡块（203）设有多个，且多个所述挡块（203）的首位相互抵触构成圆环形结构。4.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置，其特征在于：所述导轨（205）设有多个，所述导轨（205）呈倾斜设置，且所述导轨（205）为弧形结构。5.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回...
【专利技术属性】
技术研发人员：张剑华，
申请(专利权)人：深圳恒泰克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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