【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件
本技术涉及碳化硅生产设备
,具体为一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件。
技术介绍
目前碳化硅在生产加工的时候需要放在坩埚内加热,而坩埚在进行生产加工时,则通过坩埚支架进行固定使用。然而,由于生产规模不同,因此使用的坩埚尺寸也大小不一,同时现有的坩埚支架大多都是根据坩埚尺寸定做的,使得坩埚支架的适用性受到限制,当需要使用不通尺寸坩埚时,相应的也需要更换坩埚支架,较为麻烦,同时大量的坩埚支架也增加了生产成本,为此,我们提出一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,包括固定底座、支撑立柱、固定外框、夹持固定组件、辅助定位组件和加热件支撑组件,所述支撑立柱对称设有四个,且四个支撑立柱等距固定安装在固定底座顶部,所述加热件支撑组件固定安装在固定底座顶部,所述固定外框位于支撑立柱顶部,且支撑外 ...
【技术保护点】
1.一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,包括固定底座(1)、支撑立柱(2)、固定外框(3)、夹持固定组件(4)、辅助定位组件(5)和加热件支撑组件(6),其特征在于:所述支撑立柱(2)对称设有四个,且四个支撑立柱(2)等距固定安装在固定底座(1)顶部,所述加热件支撑组件(6)固定安装在固定底座(1)顶部,所述固定外框(3)位于支撑立柱(2)顶部,且支撑外框与支撑立柱(2)顶端均固定连接,所述夹持固定组件(4)对称设置在固定外框(3)两侧,所述辅助定位组件(5)对称设有两个,且两个辅助定位组件(5)对称设置在固定外框(3)另外两侧。/n
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,包括固定底座(1)、支撑立柱(2)、固定外框(3)、夹持固定组件(4)、辅助定位组件(5)和加热件支撑组件(6),其特征在于:所述支撑立柱(2)对称设有四个,且四个支撑立柱(2)等距固定安装在固定底座(1)顶部,所述加热件支撑组件(6)固定安装在固定底座(1)顶部,所述固定外框(3)位于支撑立柱(2)顶部,且支撑外框与支撑立柱(2)顶端均固定连接,所述夹持固定组件(4)对称设置在固定外框(3)两侧,所述辅助定位组件(5)对称设有两个,且两个辅助定位组件(5)对称设置在固定外框(3)另外两侧。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,其特征在于:所述夹持固定组件(4)包括第一步进电机(7)、第一电机座(8)、夹持丝杆(9)、夹持固定框(10)、夹持定位框(11)、固定挡块(12)、连杆(13)和导向滑杆(14),所述固定外框(3)两侧对称固定安装有第一电机座(8),所述第一电机座(8)顶部均固定安装有第一步进电机(7),所述第一步进电机(7)输出端均固定连接有夹持丝杆(9),所述夹持丝杆(9)贯穿固定外框(3)侧壁,且夹持丝杆(9)通过轴承与固定外框(3)转动连接,所述夹持固定框(10)位于夹持丝杆(9)外侧,且夹持丝杆(9)远离第一步进电机(7)的一端通过转轴与夹持固定框(10)转动连接,所述夹持定位框(11)位于夹持丝杆(9)外侧,所述夹持定位框(11)一侧螺纹连接在夹持丝杆(9)外侧,且夹持定位框(11)另一侧位于夹持固定框(10)外侧,所述夹持定位框(11)远离夹持丝杆(9)的一侧底部均固定安装有固定挡块(12),且夹持定位框(11)远离夹持丝杆(9)的一端顶部均固定安装有连杆(13),所述固定外框(3)内对称固定安装有两个导向滑杆(14),所述连杆(13)两端均分别滑动连接在两个导向滑杆(14)外侧。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐涛,程鹏,
申请(专利权)人:天津市卓辉电子有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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