一种碳化硅籽晶制备用的切片装置制造方法及图纸

技术编号:25354729 阅读:37 留言:0更新日期:2020-08-21 17:12
本实用新型专利技术公开了一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,包括可调固定底座、可调切割机构、可调固定机构、测距机构、辅助定位组件和下料组件,所述可调切割机构、可调固定机构、测距机构和辅助定位组件均固定安装在可调固定底座顶部,所述可调切割机构位于可调固定底座顶部一端,所述可调固定机构位于可调固定底座顶部远离可调切割机构的一端,所述测距机构位于可调切割机构底部,此碳化硅籽晶制备用的切片装置,通过设置的辅助定位组件,在对籽晶棒进行切片时,能够对籽晶棒进行有效的固定,避免在进行切片时籽晶棒抖动影响切片精度,同时其可活动固定,避免籽晶棒移动时与切割台碰撞破损,进而避免造成原料的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅籽晶制备用的切片装置
本技术涉及碳化硅生产加工
,具体为一种碳化硅籽晶制备用的切片装置。
技术介绍
现有的碳化硅籽晶棒在切割时大多为手动上料和推进,同时切割的长度均为手动刻画,这样不仅费时费力,而且切割精度差,不适合广泛的推广和普及。根据专利号201720790296.0公开了一种碳化硅晶棒切割装置,包括机台,所述机台的顶部左侧设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有电动滑块,所述电动滑块的顶部设有安装台,所述安装台的顶部一侧固定设有夹块,所述机台的顶部位于滑槽的端部固定安装有切割台,所述切割台的左侧安装有测距传感器,所述机台的顶部右侧固定安装有电缸本体,所述电缸本体的顶部固定连接有安装座,所述安装座的内部固定安装有变频电机,所述变频电机的输出端通过连接杆传动连接有切割刀具,该装置结构设计简单合理,操作方便,切割精确度高,省时省力,安全稳定,适用范围广,有利于推广和普及,然而,通过该切割装置进行切割时,由于晶棒切割端不固定,致使晶棒在切割时易抖动,进而使得切割精度严重受到影响,大大增加了材料的浪费,且其切割台高度固定,晶棒在移动时一端抖动容易致使其与切割台碰撞,对晶棒表面造成损伤,从而浪费原料,为此,我们提出一种碳化硅籽晶制备用的切片装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,包括可调固定底座、可调切割机构、可调固定机构、测距机构、辅助定位组件和下料组件,所述可调切割机构、可调固定机构、测距机构和辅助定位组件均固定安装在可调固定底座顶部,所述可调切割机构位于可调固定底座顶部一端,所述可调固定机构位于可调固定底座顶部远离可调切割机构的一端,所述测距机构位于可调切割机构底部,所述辅助定位组件位于测距机构远离可调固定机构一侧,所述可调固定底座内开设有贯穿的下料通槽,所述下料通槽位于辅助定位组件远离测距机构的一侧,所述下料组件位于下料通槽底部,所述下料组件与可调固定底座固定连接,且下料组件与下料通槽连通。优选的,所述辅助固定组件包括步进电机、驱动丝杆、固定板、导向滑杆和夹持块,所述步进电机固定安装在可调固定底座顶部,且步进电机输出端固定安装有驱动丝杆,所述驱动丝杆通过对称的两个固定板固定安装在可调固定底座顶部,且驱动丝杆通过轴承与固定板转动连接,所述夹持块对称设有两个,且两个夹持块均螺纹连接在驱动丝杆外侧,所述驱动丝杆两侧对称设有导向滑杆,所述导向滑杆均滑动贯穿夹持块,且导向滑杆两端均分别与两个固定板固定连接。优选的,所述夹持块相对的一侧均设有夹持凹槽,所述夹持凹槽两侧倒角。优选的,所述下料组件包括下料漏斗和缓冲滑槽,所述下料漏斗位于下料通槽底部,且下料漏斗与可调固定底座固定连接,所述缓冲滑槽位于下料漏斗一侧,且缓冲滑槽与可调固定底座固定连接。优选的,所述缓冲滑槽内设有弹性缓冲组件,所述弹性缓冲组件包括缓冲板和压缩弹簧,所述压缩弹簧设有多个,且多个压缩弹簧均固定安装在缓冲滑槽内壁,所述缓冲板位于压缩弹簧远离缓冲滑槽内壁的一端,且缓冲板与压缩弹簧远离缓冲滑槽内壁的一端均固定连接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、本技术,通过设置的辅助定位组件,在对籽晶棒进行切片时,能够对籽晶棒进行有效的固定,避免在进行切片时籽晶棒抖动影响切片精度,同时其可活动固定,避免籽晶棒移动时与切割台碰撞破损,进而避免造成原料的浪费。2、本技术,通过设置的夹持凹槽,使得对籽晶棒的夹持更加稳定,同时通过倒角,使得定位夹持更平滑,避免对籽晶棒表面造成损伤,而通过设置的下料组件,则使得切片后的籽晶下落时,能够有效缓冲降低势能,避免强烈碰撞对籽晶片表面造成损伤,进而影响正常使用,最后通过设置的弹性缓冲组件,则进一步提高了下料组件对籽晶片的缓冲效果,更好的对切割后的籽晶片进行保护。附图说明图1为本技术主视局剖结构示意图;图2为本技术侧视局剖结构示意图;图3为本技术辅助固定组件结构示意图;图4为本技术图3俯视结构示意图;图5为本技术A区放大结构示意图。图中:1-可调固定底座;2-可调切割机构;3-可调固定机构;4-测距机构;5-辅助定位组件;6-下料组件;7-下料通槽;8-步进电机;9-驱动丝杆;10-固定板;11-导向滑杆;12-夹持块;13-夹持凹槽;14-下料漏斗;15-缓冲滑槽;16-弹性缓冲组件;17-缓冲板;18-压缩弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,包括可调固定底座1、可调切割机构2、可调固定机构3、测距机构4、辅助定位组件5和下料组件6,所述可调切割机构2、可调固定机构3、测距机构4和辅助定位组件5均固定安装在可调固定底座1顶部,所述可调切割机构2位于可调固定底座1顶部一端,所述可调固定机构3位于可调固定底座1顶部远离可调切割机构2的一端,所述测距机构4位于可调切割机构2底部,所述辅助定位组件5位于测距机构4远离可调固定机构3一侧,所述可调固定底座1内开设有贯穿的下料通槽7,所述下料通槽7位于辅助定位组件5远离测距机构4的一侧,所述下料组件6位于下料通槽7底部,所述下料组件6与可调固定底座1固定连接,且下料组件6与下料通槽7连通,通过可调固定机构3对籽晶棒进行夹持固定移动,通过可调切割机构2对籽晶棒进行切片,切片时,通过辅助定位组件5,能够对籽晶棒进行有效的固定,避免在进行切片时籽晶棒抖动影响切片精度,同时其可活动固定,避免籽晶棒移动时与切割台碰撞破损,进而避免造成原料的浪费,切割得到的籽晶片则通过下料组件6进行收集。所述辅助固定组件包括步进电机8、驱动丝杆9、固定板10、导向滑杆11和夹持块12,所述步进电机8固定安装在可调固定底座1顶部,且步进电机8输出端固定安装有驱动丝杆9,所述驱动丝杆9通过对称的两个固定板10固定安装在可调固定底座1顶部,且驱动丝杆9通过轴承与固定板10转动连接,所述夹持块12对称设有两个,且两个夹持块12均螺纹连接在驱动丝杆9外侧,所述驱动丝杆9两侧对称设有导向滑杆11,所述导向滑杆11均滑动贯穿夹持块12,且导向滑杆11两端均分别与两个固定板10固定连接,通过辅助定位组件5,在对籽晶棒进行切片时,能够对籽晶棒进行有效的固定,避免在进行切片时籽晶棒抖动影响切片精度,同时其可活动固定,避免籽晶棒移动时与切割台碰撞破损,进而避免造成原料的浪费。所述夹持块12相对的一侧均设有夹持凹槽13,所述夹持凹槽13两侧倒角,通过夹持凹槽13,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,包括可调固定底座(1)、可调切割机构(2)、可调固定机构(3)、测距机构(4)、辅助定位组件(5)和下料组件(6),其特征在于:所述可调切割机构(2)、可调固定机构(3)、测距机构(4)和辅助定位组件(5)均固定安装在可调固定底座(1)顶部,所述可调切割机构(2)位于可调固定底座(1)顶部一端,所述可调固定机构(3)位于可调固定底座(1)顶部远离可调切割机构(2)的一端,所述测距机构(4)位于可调切割机构(2)底部,所述辅助定位组件(5)位于测距机构(4)远离可调固定机构(3)一侧,所述可调固定底座(1)内开设有贯穿的下料通槽(7),所述下料通槽(7)位于辅助定位组件(5)远离测距机构(4)的一侧,所述下料组件(6)位于下料通槽(7)底部,所述下料组件(6)与可调固定底座(1)固定连接,且下料组件(6)与下料通槽(7)连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,包括可调固定底座(1)、可调切割机构(2)、可调固定机构(3)、测距机构(4)、辅助定位组件(5)和下料组件(6),其特征在于:所述可调切割机构(2)、可调固定机构(3)、测距机构(4)和辅助定位组件(5)均固定安装在可调固定底座(1)顶部,所述可调切割机构(2)位于可调固定底座(1)顶部一端,所述可调固定机构(3)位于可调固定底座(1)顶部远离可调切割机构(2)的一端,所述测距机构(4)位于可调切割机构(2)底部,所述辅助定位组件(5)位于测距机构(4)远离可调固定机构(3)一侧,所述可调固定底座(1)内开设有贯穿的下料通槽(7),所述下料通槽(7)位于辅助定位组件(5)远离测距机构(4)的一侧,所述下料组件(6)位于下料通槽(7)底部,所述下料组件(6)与可调固定底座(1)固定连接,且下料组件(6)与下料通槽(7)连通。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶制备用的切片装置,其特征在于:所述辅助定位组件(5)包括步进电机(8)、驱动丝杆(9)、固定板(10)、导向滑杆(11)和夹持块(12),所述步进电机(8)固定安装在可调固定底座(1)顶部,且步进电机(8)输出端固定安装有驱动丝杆(9),所述驱动丝杆(9)通过对称的两个固定板(10)固定安装在可调固定底座(1)顶部,且驱动丝杆(9)通过轴承与固定板(10)转动...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵杰于征磊
申请(专利权)人:天津市卓辉电子有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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