一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成，所述固定支架一端固定有贴紧装置，所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘，所述吸盘内部设有卡槽，所述卡槽内部设有限位装置，所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接，此碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，使用吸盘吸住碳化硅籽晶，保护碳化硅籽晶，确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷，进一步保证后期碳化硅制备的质量，通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后，挤压碳化硅籽晶，提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度，保证提升碳化硅制备的质量和速度。

A seed chip bonding device for silicon carbide production

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备
本技术涉及碳化硅制造
，具体为一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，碳化硅又称碳硅石，在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。现有的碳化硅在制备过程中，需要将碳化硅籽晶粘到粘接板上，然后使用坩埚制备，但是碳化硅籽晶厚度通常为300μm-500μm，并且通过粘合剂粘在籽晶托上，由于籽晶厚度较薄，不但加工过程中容易变形，而且在粘接时也容易变形甚至断裂，而且员工粘接时，手部也会直接造成划痕，粘接也不能确保均匀牢固，严重影响后期碳化硅制备的质量和效率，为此，我们提出一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅产生用的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，包括固定支架(1)、贴紧装置(3)、限位装置(4)和吸盘(5)构成，其特征在于：所述固定支架(1)一端固定有贴紧装置(3)，所述固定支架(1)远离贴紧装置(3)一端设有吸盘(5)，所述吸盘(5)内部设有卡槽(13)，所述卡槽(13)内部设有限位装置(4)，所述固定支架(1)与吸盘(5)之间通过限位装置(4)固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，包括固定支架(1)、贴紧装置(3)、限位装置(4)和吸盘(5)构成，其特征在于：所述固定支架(1)一端固定有贴紧装置(3)，所述固定支架(1)远离贴紧装置(3)一端设有吸盘(5)，所述吸盘(5)内部设有卡槽(13)，所述卡槽(13)内部设有限位装置(4)，所述固定支架(1)与吸盘(5)之间通过限位装置(4)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，其特征在于：所述固定支架(1)外表面刻有防滑纹(2)。


3.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，其特征在于：所述限位装置(4)由金属销(14)、滑板(15)、拉环(16)和限位弹簧(17)构成，所述卡槽(13)内部设有金属销(14)，所述金属销(14)贯穿固定支架(1)，且与固定支架(1)滑动连接，所述金属销(14)外表面固定有滑板(15)，所述滑板(15)顶部设有限位弹簧(17)，所述限位弹簧(17)两端分别与滑板(15)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉野辰萌，程鹏，
申请(专利权)人：天津市卓辉电子有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12