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一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件制造技术
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文档序号:24227265
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本实用新型公开了一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,包括固定底座、支撑立柱、固定外框、夹持固定组件、辅助定位组件和加热件支撑组件,所述支撑立柱对称设有四个,且四个支撑立柱等距固定安装在固定底座顶部,所述加热件支撑组件固定安装在固定底座顶部,...
该专利属于天津市卓辉电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市卓辉电子有限公司授权不得商用。
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