一种旋转钛靶及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种旋转钛靶及其制备方法。本发明专利技术的旋转钛靶的制备方法工艺简单，操作方便，合金成分范围宽，适合大规模工业生产，所制得的靶材纯度≥99.95％，相对密度≥95％，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm，氧含量≤1200ppm，晶粒尺寸小，成分稳定。

A rotating titanium target and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种旋转钛靶及其制备方法
本专利技术涉及溅射靶材
，具体涉及一种旋转钛靶及其制备方法。
技术介绍
钛具有密度低、耐腐蚀性好、无毒无磁、可焊接、生物相容性好、表面可装饰性强等特性，被广泛应用于航空、航天、化工、石油、电力、医疗、建筑、体育用品等领域。目前钛靶主要有平面靶、多弧圆柱靶、一体管靶等。钛靶的生产方式多为熔炼，采用喷涂工艺的较少。冷喷涂是基于空气动力学原理的一种喷涂技术，是利用高压气体通过缩放管产生超高音速气流，将粉末从轴向送入其中，经加速后撞击基体，产生塑性变形而沉积于基体表面形成涂层。这种喷涂方式基本不发生组织结构的变化，因此，涂层致密度高，晶粒尺寸小，应力小(表现为残余压应力)，可制备厚涂层；但钛的塑性变形差，如何冷喷涂形成一定厚度的涂层亟需解决。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足之处而提供一种旋转钛靶及其制备方法，该方法工艺简单、操作方便，所制得的靶材纯度高，尺寸不受限制，氧含量低，晶粒尺寸小。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案如下：一种旋转钛靶的制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转钛靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)制备平均粒径D50为30-80μm，优选为30-60μm的钛粉；/n(2)对靶材基管进行表面处理；/n(3)冷喷涂：将表面处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将钛粉通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转钛靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制备平均粒径D50为30-80μm，优选为30-60μm的钛粉；
(2)对靶材基管进行表面处理；
(3)冷喷涂：将表面处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将钛粉通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材。


2.根据权利要求1所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，钛粉的纯度≥99.95％。


3.根据权利要求1所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，表面处理包括喷砂处理和打底处理。


4.根据权利要求3所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，喷砂处理所用的磨料为白刚玉、钢丝切丸或铸钢砂，优选为铸钢砂；
打底处理的方式为电弧喷涂、火焰喷涂或等离子喷涂，打底处理所用的原料选自丝材或粉末，其中，丝材选自铜铝丝、铜镍丝、镍铝丝、蒙乃尔丝中的至少一种；粉末选自镍包铝复合粉、铝包镍复合粉中的至少一种，优选地，打底处理的方式为电弧喷涂，更优选为铜镍丝电弧喷涂。


5.根据权利要求4所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，打底处理后靶材基管的表面粗糙度Ra为220-400μm，优选为260-350μm。


6.根据权利要求1所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，靶材基管的转速为120-200r...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴健，黄显峰，雷雨，周志宏，肖世洪，赵明增，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44