一种芯片表面检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片表面检测装置，包括支撑脚，所述支撑脚的上端固定连接有工作台，所述工作台上端面上固定安装有放置台，工作台上方通过连接杆固定安装有底板，所述底板上设置安装有移动座，所述移动座由驱动机构驱动，移动座的下端面上固定安装有相机和一组光源，所述光源环形阵列分布在相机的四周，工作台上转动安装有防护罩，所述防护罩上设置安装有自动开合机构。本实用新型专利技术是一种结构简单，自动化程度高，可减轻认为误差提高检测准确率的芯片表面检测装置。

A chip surface detection device

【技术实现步骤摘要】
一种芯片表面检测装置
本技术涉及芯片检测
，具体为一种芯片表面检测装置。
技术介绍
如何精准高效的检测芯片的缺陷是芯片制造的重要一环，在现有技术中，通常是以高照明强度的光源，直接对待测芯片进行打光，而后检测人员通过高倍显微镜进行瑕疵检测，这样的方式要求检测人员高度集中注意力，且容易产生区域漏检，劳动强度大，检测准确率也不高。所以，亟需一种新型的芯片表面检测装置解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种芯片表面检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片表面检测装置，包括支撑脚，所述支撑脚的上端固定连接有工作台，所述工作台上端面上固定安装有放置台，工作台上方通过连接杆固定安装有底板，所述底板上设置安装有移动座，所述移动座由驱动机构驱动，移动座的下端面上固定安装有相机和一组光源，所述光源环形阵列分布在相机的四周，工作台上转动安装有防护罩，所述防护罩上设置安装有自动开合机构。优选的，所述底板的下端面上固定安装有安装板，所述安装板下端面上滑动安装有滑动座，所述移动座滑动设置安装在滑动座上，安装板下端面上设置有一对滑槽，所述滑动座上端面上设置有一对滑轨，所述滑轨滑动设置安装有在滑槽中。优选的，所述驱动机构包括水平丝杠和竖直丝杠，所述水平丝杠设置安装在安装板上，所述滑动座由水平丝杠驱动，所述竖直丝杠设置安装在滑动座上，所述移动座由竖直丝杠驱动。优选的，所述自动开合机构包括电动推杆，所述电动推杆固定安装在左侧的支撑脚上，所述防护罩的左端面上固定连接有连接块，所述连接块上设置有连接槽，电动推杆伸缩杆的末端设置有连接销，所述连接销滑动设置安装在连接槽中。优选的，所述工作台的上表面和防护罩的内表面上设置防静电层。优选的，所述防静电层的表面涂覆有防反射涂层。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术中，芯片放置在放置台上，关上防护罩后光源将强光打在芯片上，相机对芯片进行拍照，相机是目前常见的具有高清微距拍摄功能的相机，相机一次只对芯片上的一小块区域进行拍摄，通过驱动机构的驱动，相机拍摄的图片覆盖整个芯片，最后在计算机上局部的图片被合成一张整体的图片，通过观察整体的高清图片，即可观察出芯片表面的瑕疵。平行设置的一对滑轨用于对滑动座进行导向，提高其移动的精度。自动开合机构通过电动推杆的伸缩控制防护罩的开合。防静电层可以减少检测装置的内部沾染灰尘。防反射涂层防止光源产生的光线被反射后，干扰相机对芯片进行高清拍摄。本技术是一种结构简单，自动化程度高，可减轻认为误差提高检测准确率的芯片表面检测装置。附图说明图1为一种芯片表面检测装置的结构示意图；图2为一种芯片表面检测装置中驱动机构的结构示意图。图中：1-驱动机构，2-移动座，3-相机，4-光源，5-竖直丝杠，6-滑动座，7-水平丝杠，8-安装板，9-滑轨，10-滑槽，11-支撑脚，12-工作台，13-放置台，14-底板，15-防反射涂层，16-防静电层，17-防护罩，18-电动推杆，19-连接销，20-连接块，21-连接槽，22-自动开合机构。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1～2，本技术提供一种技术方案：一种芯片表面检测装置，包括支撑脚11，所述支撑脚11的上端固定连接有工作台12，所述工作台12上端面上固定安装有放置台13，工作台12上方通过连接杆固定安装有底板14，所述底板14上设置安装有移动座2，所述移动座2由驱动机构1驱动，移动座2的下端面上固定安装有相机3和一组光源4，所述光源4环形阵列分布在相机3的四周，工作台12上转动安装有防护罩17，所述防护罩17上设置安装有自动开合机构22。检测过程中，芯片放置在放置台13上，关上防护罩17后光源4将强光打在芯片上，相机3对芯片进行拍照，相机3是目前常见的具有高清微距拍摄功能的相机，相机3一次只对芯片上的一小块区域进行拍摄，通过驱动机构1的驱动，相机3拍摄的图片覆盖整个芯片，最后在计算机上局部的图片被合成一张整体的图片，通过观察整体的高清图片，即可观察出芯片表面的瑕疵。可优选地，所述底板14的下端面上固定安装有安装板8，所述安装板8下端面上滑动安装有滑动座6，所述移动座2滑动设置安装在滑动座6上，安装板8下端面上设置有一对滑槽10，所述滑动座6上端面上设置有一对滑轨9，所述滑轨9滑动设置安装有在滑槽10中。平行设置的一对滑轨9用于对滑动座6进行导向，提高其移动的精度。可优选地，所述驱动机构1包括水平丝杠7和竖直丝杠5，所述水平丝杠7设置安装在安装板8上，所述滑动座6由水平丝杠7驱动，所述竖直丝杠5设置安装在滑动座6上，所述移动座2由竖直丝杠5驱动。驱动机构1通过一组丝杠5驱动移动座2进行水平移动以及竖直移动。可优选地，所述自动开合机构22包括电动推杆18，所述电动推杆18固定安装在左侧的支撑脚11上，所述防护罩17的左端面上固定连接有连接块20，所述连接块20上设置有连接槽21，电动推杆18伸缩杆的末端设置有连接销19，所述连接销19滑动设置安装在连接槽21中。自动开合机构22通过电动推杆18的伸缩控制防护罩17的开合。可优选地，所述工作台12的上表面和防护罩17的内表面上设置防静电层16。防静电层16可以减少检测装置的内部沾染灰尘。可优选地，所述防静电层16的表面涂覆有防反射涂层15。防反射涂层15防止光源4产生的光线被反射后，干扰相机3对芯片进行高清拍摄。本技术的工作原理是：本技术是一种芯片表面检测装置，检测过程中，芯片放置在放置台13上，关上防护罩17后光源4将强光打在芯片上，相机3对芯片进行拍照，相机3是目前常见的具有高清微距拍摄功能的相机，相机3一次只对芯片上的一小块区域进行拍摄，通过驱动机构1的驱动，相机3拍摄的图片覆盖整个芯片，最后在计算机上局部的图片被合成一张整体的图片，通过观察整体的高清图片，即可观察出芯片表面的瑕疵。平行设置的一对滑轨9用于对滑动座6进行导向，提高其移动的精度。驱动机构1通过一组丝杠5驱动移动座2进行水平移动以及竖直移动。自动开合机构22通过电动推杆18的伸缩控制防护罩17的开合。防静电层16可以减少检测装置的内部沾染灰尘。防反射涂层15防止光源4产生的光线被反射后，干扰相机3对芯片进行高清拍摄。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片表面检测装置，包括支撑脚(11)，其特征在于：所述支撑脚(11)的上端固定连接有工作台(12)，所述工作台(12)上端面上固定安装有放置台(13)，工作台(12)上方通过连接杆固定安装有底板(14)，所述底板(14)上设置安装有移动座(2)，所述移动座(2)由驱动机构(1)驱动，移动座(2)的下端面上固定安装有相机(3)和一组光源(4)，所述光源(4)环形阵列分布在相机(3)的四周，工作台(12)上转动安装有防护罩(17)，所述防护罩(17)上设置安装有自动开合机构(22)。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片表面检测装置，包括支撑脚(11)，其特征在于：所述支撑脚(11)的上端固定连接有工作台(12)，所述工作台(12)上端面上固定安装有放置台(13)，工作台(12)上方通过连接杆固定安装有底板(14)，所述底板(14)上设置安装有移动座(2)，所述移动座(2)由驱动机构(1)驱动，移动座(2)的下端面上固定安装有相机(3)和一组光源(4)，所述光源(4)环形阵列分布在相机(3)的四周，工作台(12)上转动安装有防护罩(17)，所述防护罩(17)上设置安装有自动开合机构(22)。


2.根据权利要求1所述的一种芯片表面检测装置，其特征在于：所述底板(14)的下端面上固定安装有安装板(8)，所述安装板(8)下端面上滑动安装有滑动座(6)，所述移动座(2)滑动设置安装在滑动座(6)上，安装板(8)下端面上设置有一对滑槽(10)，所述滑动座(6)上端面上设置有一对滑轨(9)，所述滑轨(9)滑动设置安装有在滑槽(10)中。


3.根据权利要求2所述的一种芯片...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷泽安，殷志鹏，
申请(专利权)人：苏州译品芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32