【技术实现步骤摘要】
一种用于石英晶片生产的浸蚀装置
本技术涉及晶片加工
，具体涉及一种用于石英晶片生产的浸蚀装置。
技术介绍
在石英晶片的加工过程中，经过磨削、切片、抛光等机械加工工序后的石英晶片，其表面上会具有损伤层，即加工变质层，加工变质层在器件的制作过程中容易诱发滑移、位错等晶体缺陷，使得晶片的机械强度降低，对加工产品的性能也会产生影响。为了除去加工变质层，需要对石英晶片进行浸蚀处理。在利用浸蚀液对石英晶片进行浸蚀处理的时候，浸蚀液的浓度和温度对浸蚀的效果影响较大。现有技术中，常利用搅拌装置对浸蚀液进行搅拌，以促进浸蚀液浓度和温度分布的均匀性，但是很容易引起晶片的磕碰损伤。因此，急需一种能够解决现有问题的用于石英晶片生产的浸蚀装置。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，该装置中浸蚀液的浓度和温度分布均匀，且晶片不易碰触，晶片的浸蚀处理效果较好。本技术提供了如下技术方案：一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述...
【技术保护点】
1.一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述浸蚀槽的底部设有电机，所述浸蚀槽内设有搅拌轴，所述搅拌轴与所述电机相连，所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶；所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆和外杆，所述内杆圆形阵列的圆心与所述外杆圆形阵列的圆心相重合，所述外杆的顶部设有挂钩，所述挂钩挂在所述浸蚀槽的侧壁上，所述内杆和所述外杆之间固定连接有若干层环形的固定板，所述固定板顶部设有若干均匀分布的卡槽，所述固定板的底部设有与所述卡槽相通的通槽，所述通槽的截面积小于所述卡槽的截面积，所述卡槽内放置晶片。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述浸蚀槽的底部设有电机，所述浸蚀槽内设有搅拌轴，所述搅拌轴与所述电机相连，所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶；所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆和外杆，所述内杆圆形阵列的圆心与所述外杆圆形阵列的圆心相重合，所述外杆的顶部设有挂钩，所述挂钩挂在所述浸蚀槽的侧壁上，所述内杆和所述外杆之间固定连接有若干层环形的固定板，所述固定板顶部设有若干均匀分布的卡槽，所述固定板的底部设有与所述卡槽相通的通槽，所述通槽的截面积小于所述卡槽的截面积，所述卡槽内放置晶片。
2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽的外壁设有夹套，所述夹套内通入加热介质，所述夹套的下端设有夹套进口，所述夹套的上端设有夹套出口。
3.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽底部设...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏良军，
申请(专利权)人：菲特晶南京电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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