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本实用新型提供一种用于石英晶片生产的浸蚀装置,包括浸蚀槽和晶片盛放架,所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液,所述浸蚀槽的底部设有电机,所述浸蚀槽内设有搅拌轴,所述搅拌轴与所述电机相连,所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶;所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆...该专利属于菲特晶(南京)电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过菲特晶(南京)电子有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于石英晶片生产的浸蚀装置,包括浸蚀槽和晶片盛放架,所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液,所述浸蚀槽的底部设有电机,所述浸蚀槽内设有搅拌轴,所述搅拌轴与所述电机相连,所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶;所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆...