一种用于芯片制造中抽检装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于芯片制造中抽检装置，属于芯片生产技术领域，所述用于芯片制造中抽检装置包括封箱，所述封箱右侧壁开设有进料口，且封箱左侧壁开设有出料口，所述进料口与出料口内部衔接有传送带，所述传送带底部传动连接有传动辊，所述传动辊上转动连接有传动轴，所述传动轴动力输入端与电机动力输出端相连接，所述封箱顶端内侧壁衔接有步进电机。本实用新型专利技术通过增加有芯片装槽，可以在对芯片传输过程中起到导向作用，设备可自行对芯片进行检测，无需人工操作，节省了人力，通过增加封箱，避免了外界温度灰尘等因素影响到检测过程，进而保证检测结果不会产生错误偏差，适合被广泛推广和使用。

A sampling device for chip manufacturing

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片制造中抽检装置
本技术涉及芯片生产
，尤其涉及一种用于芯片制造中抽检装置。
技术介绍
芯片在电子学中是一种把主要包括半导体设备、也包括被动组件等的电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。芯片在生产制造过程中需要进行抽检，从而对一期芯片产品的合格率进行统计。目前，用于芯片制造中的抽检技术上存在一定的缺陷：1、芯片在具体投入检测时不好导向的问题；2、设备自动化程度低导致需要人工手持检测探针进行检测，耗费人力的问题；3、检测过程中容易受到外界温度灰尘等因素从而影响检测结果可靠度，以及封箱内部不易散热的问题。
技术实现思路
本技术提供一种用于芯片制造中抽检装置，通过增加有芯片装槽，可以在对芯片传输过程中起到导向作用，设备可自行对芯片进行检测，无需人工操作，节省了人力，通过增加封箱，避免了外界温度灰尘等因素影响到检测过程，进而保证检测结果不会产生错误偏差，可以有效解决
技术介绍
中的问题。本技术提供的具体技术方案如下：本技术提供的一种用于芯片制造中抽检装置，包括封箱，所述封箱右侧壁开设有进料口，且封箱左侧壁开设有出料口，所述进料口与出料口内部衔接有传送带，所述传送带底部传动连接有传动辊，所述传动辊上转动连接有传动轴，所述传动轴动力输入端与电机动力输出端相连接，所述封箱顶端内侧壁衔接有步进电机，所述步进电机动力输出端与转轴动力输入端相连接，所述转轴末端转动连接有齿轮，所述齿轮右侧啮合连接有齿条，所述齿条下端插接有检测探针，所述检测探针信号输出端与数据连接线信号输入端相连接，所述数据连接线信号输出端与参数显示屏信号输入端相连接，所述封箱底部内侧壁固定连接散热板，所述散热板内部安装有散热扇。可选的，所述封箱外表面镶嵌连接有观察镜面，且封箱底部固定连接有支脚。可选的，所述参数显示屏信号输入端与开关A信号输入端相连接，且参数显示屏外侧壁衔接有故障显示灯。可选的，所述步进电机信号输入端与开关B信号输出端相连接，所述电机信号输入端与开关C信号输出端相连接。可选的，所述散热扇信号输入端与开关D信号输出端相连接，所述散热板上表面开设有通风孔。本技术的有益效果如下：1、本技术实用，操作方便且使用效果好，工作人员将生产完毕的芯片装入芯片装槽内，芯片装槽的大小是根据芯片大小来进行设定的，可以对放入其中的芯片进行良好固定，通过增加有芯片装槽，从而使得芯片在后续传输过程中保证其位置不会产生偏移，可以起到很好的导向作用，从而解决了芯片在具体投入检测时不好导向的问题。2、本技术中，装好芯片后，由工作人员开启电机，电机为传动轴输出动力从而带动传动辊旋转，传动辊再带动传送带对芯片装槽内部的芯片进行装送，从进料口进入到封箱内部，继续由工作人员开启步进电机，步进电机为转轴输出动力，进而带动齿轮旋转，通过齿轮齿条啮合，可将齿轮的旋转运动转化成齿条的垂直直线运动，且步进电机具有正反转功能。进而带动齿条下方的检测探针对传送带上所固定的芯片进行抽检，检测探针检测后会将相应信号通过数据连接线传递给参数显示屏，参数显示屏会相应显示检测后的参数并判断芯片是否合格，如果不合格故障显示灯会亮起红光，如果合格故障显示灯则会亮起绿灯，整个过程无需人工作业，提高了装置的自动化程度，从而解决了设备自动化程度低导致需要人工手持检测探针进行检测，耗费人力的问题。3、本技术通过增加有封箱，使得整个检测过程处于密闭状态下进行，避免了外界温度灰尘等因素影响到检测过程，进而保证检测结果不会产生错误偏差，抽检完毕确认没有问题的芯片从出料口传出，显示不合格的芯片则会在传出时被工作人员取出，这一过程工作人员可以通过观察镜面对封箱内部的抽检过程进行实时观测，通过增加有散热板，当芯片在传输检测过程中仪器会产生热量，对检测产生一定影响，工作人员开启散热扇，风流透过通风孔，可以有效对封箱内部装置进行散热，从而解决了检测过程中容易受到外界温度灰尘等因素从而影响检测结果可靠度，以及封箱内部不易散热的问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置的立体结构示意图；图2为本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置的整体结构示意图；图3为本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置的传动装置结构示意图；图4为本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置的散热板结构示意图；图5为本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置的电路示意图；图中：1、封箱；2、进料口；3、出料口；4、传送带；5、参数显示屏；6、故障显示灯；7、观察镜面；8、支脚；9、数据连接线；10、齿条；11、检测探针；12、步进电机；13、转轴；14、齿轮；15、传动辊；16、传动轴；17、电机；18、散热板；19、散热扇；20、通风孔；21、开关A；22、开关B；23、开关C；24、开关D；25、芯片装槽。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面将结合图1～图5，对本技术实施例的一种用于芯片制造中抽检装置进行详细的说明。如图1-5所示，一种用于芯片制造中抽检装置，包括封箱1，所述封箱1右侧壁开设有进料口2，且封箱1左侧壁开设有出料口3，所述进料口2与出料口3内部衔接有传送带4，所述传送带4底部传动连接有传动辊15，所述传动辊15上转动连接有传动轴16，所述传动轴16动力输入端与电机17动力输出端相连接，所述封箱1顶端内侧壁衔接有步进电机12，所述步进电机12动力输出端与转轴13动力输入端相连接，所述转轴13末端转动连接有齿轮14，所述齿轮14右侧啮合连接有齿条10，所述齿条10下端插接有检测探针11，所述检测探针11信号输出端与数据连接线9信号输入端相连接，所述数据连接线9信号输出端与参数显示屏5信号输入端相连接，所述封箱1底部内侧壁固定连接散热板18，所述散热板18内部安装有散热扇19。本实施例中如图1-5所示，工作人员将生产完毕的芯片装入芯片装槽25内，芯片装槽25的大小是根据芯片大小来进行设定的，可以对放入其中的芯片进行良好固定，通过增加有芯片装槽25，从而使得芯片在后续传输过程中保证其位置不会产生偏移，可以起到很好的导向作用，通过增加有封箱1，使得整个检测过程处于密闭状态下进行，避免了外界温度灰尘等因素影响到检测过程，进而保证检测结果不会产生错误偏差，抽检完毕确认没有问题的芯片从出料口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片制造中抽检装置，包括封箱(1)，其特征在于，所述封箱(1)右侧壁开设有进料口(2)，且封箱(1)左侧壁开设有出料口(3)，所述进料口(2)与出料口(3)内部衔接有传送带(4)，所述传送带(4)底部传动连接有传动辊(15)，所述传动辊(15)上转动连接有传动轴(16)，所述传动轴(16)动力输入端与电机(17)动力输出端相连接，所述封箱(1)顶端内侧壁衔接有步进电机(12)，所述步进电机(12)动力输出端与转轴(13)动力输入端相连接，所述转轴(13)末端转动连接有齿轮(14)，所述齿轮(14)右侧啮合连接有齿条(10)，所述齿条(10)下端插接有检测探针(11)，所述检测探针(11)信号输出端与数据连接线(9)信号输入端相连接，所述数据连接线(9)信号输出端与参数显示屏(5)信号输入端相连接，所述封箱(1)底部内侧壁固定连接散热板(18)，所述散热板(18)内部安装有散热扇(19)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片制造中抽检装置，包括封箱(1)，其特征在于，所述封箱(1)右侧壁开设有进料口(2)，且封箱(1)左侧壁开设有出料口(3)，所述进料口(2)与出料口(3)内部衔接有传送带(4)，所述传送带(4)底部传动连接有传动辊(15)，所述传动辊(15)上转动连接有传动轴(16)，所述传动轴(16)动力输入端与电机(17)动力输出端相连接，所述封箱(1)顶端内侧壁衔接有步进电机(12)，所述步进电机(12)动力输出端与转轴(13)动力输入端相连接，所述转轴(13)末端转动连接有齿轮(14)，所述齿轮(14)右侧啮合连接有齿条(10)，所述齿条(10)下端插接有检测探针(11)，所述检测探针(11)信号输出端与数据连接线(9)信号输入端相连接，所述数据连接线(9)信号输出端与参数显示屏(5)信号输入端相连接，所述封箱(1)底部内侧壁固定连接散热板(18)，所述散热板(18)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡晓丽，
申请(专利权)人：江西齐拓芯片科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36