一种显影装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种显影装置，包括显影管路和冲洗管路，显影管路和冲洗管路均连接喷洒管道，喷洒管道的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置，超声波装置包括超声波振动子，喷洒管道包括内壁和外壁，内壁和外壁之间设置有电热丝，喷洒管道上设置有朝下的电控喷头，电控喷头的下方设置有承片台，喷洒管道上还设置有与电控喷头相对应的温度传感器，超声波装置、电热丝、电控喷头、温度传感器均连接控制器，控制器连接有电源。喷出的去离子水中具有声波能量，能够更有效的清洁晶圆表面杂质，保证了显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。

A developing device

【技术实现步骤摘要】
一种显影装置
本技术涉及站岗装置
，具体来说，涉及一种显影装置。
技术介绍
在晶圆上制作集成电路的过程中，显影是光刻工艺中将曝光后的光刻胶图案化去除的步骤，其动作顺序为喷淋显影液、去离子水冲洗以及甩干三个过程。由于显影液的反应过程是酸碱中和反应，因此当在晶圆上用去离子水清洗时，晶圆中心点的强碱性骤降，酸碱中和反应发生逆反应，从而导致不溶物质析出回粘到晶圆上的问题产生。特别是在晶圆上连接孔的制程工艺中，当不溶物质析出后使连接孔被残留物遮挡住，会导致晶圆后续蚀刻制程失效，蚀刻后的连接孔图形丢失或不完整，使得晶圆产品的良率降低。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种显影装置，喷出的去离子水中具有声波能量，能够更有效的清洁晶圆表面杂质。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种显影装置，包括显影管路和冲洗管路，所述显影管路和冲洗管路均连接喷洒管道，所述喷洒管道的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置，所述超声波装置包括超声波本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显影装置，其特征在于，包括显影管路（1）和冲洗管路（2），所述显影管路（1）和冲洗管路（2）均连接喷洒管道（3），所述喷洒管道（3）的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置（4），所述超声波装置（4）包括超声波振动子，所述喷洒管道（3）包括内壁（5）和外壁（6），所述内壁（5）和所述外壁（6）之间设置有电热丝（7），所述喷洒管道（3）上设置有朝下的电控喷头（8），所述电控喷头（8）的下方设置有承片台（9），所述喷洒管道（3）上还设置有与所述电控喷头（8）相对应的温度传感器（10），所述超声波装置（4）、所述电热丝（7）、所述电控喷头（8）、所述温度传感器（10）均连接控制器，所述控制器...

【技术特征摘要】
20181218 CN 20182212417451.一种显影装置，其特征在于，包括显影管路（1）和冲洗管路（2），所述显影管路（1）和冲洗管路（2）均连接喷洒管道（3），所述喷洒管道（3）的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置（4），所述超声波装置（4）包括超声波振动子，所述喷洒管道（3）包括内壁（5）和外壁（6），所述内壁（5）和所述外壁（6）之间设置有电热丝（7），所述喷洒管道（3）上设置有朝下的电控喷头（8），所述电控喷头（8）的下方设置有承片台（9），所述喷洒管道（3）上还设置有与所述电控喷头（8）相对应的温度传感器（10），...

【专利技术属性】
技术研发人员：王子民，苏川辉，方楷，
申请(专利权)人：江西齐拓芯片科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36