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本实用新型公开一种显影装置，包括显影管路和冲洗管路，显影管路和冲洗管路均连接喷洒管道，喷洒管道的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置，超声波装置包括超声波振动子，喷洒管道包括内壁和外壁，内壁和外壁之间设置有电热丝，喷洒管道上设置有朝下的电...
该专利属于江西齐拓芯片科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西齐拓芯片科技有限公司授权不得商用。

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