将电路和系统集成到微型装置基板上制造方法及图纸

本申请涉及将电路和系统集成到微型装置基板上。集成光学显示系统包含具有适当电子器件的背板和微型装置阵列。触控传感结构可以集成到所述系统中。在一个实施例中，集成电路和系统集成在转移到基板的微型装置的顶部上。可以提供一或多个平坦化层中的开口以将所述微型装置与电极和其它电路连接。可以使用光反射器来重新引导光，并且可以在所述微型装置之前或在与微型装置的表面相对的基板表面上集成颜色转换层或滤色器。

Integrate circuits and systems into the micro device substrate

【技术实现步骤摘要】
将电路和系统集成到微型装置基板上相关申请的交叉引用本申请是2018年2月9日提交的美国申请序列号15/892,523(代理人案号15USPT)的部分继续申请，并要求其优先权，其要求2017年2月9日提交的美国临时专利申请序列号62/456,739(代理人案号15USPL01)和2017年4月7日提交的美国临时专利申请序列号62/482,939(代理人案号15USPL02)的优先权和权益，所述申请各自通过引用整体并入本文。本申请还要求2018年10月16日提交的美国临时专利申请序列号62/746,300(代理人案号32PL01)、2019年2月21日提交的申请序列号62/808,578(代理人案号32PL02)和2018年11月16日提交的申请序列号62/768,812(代理人案号35PL01)的优先权，其全部都通过引用整体并入本文。
本公开涉及将电路和系统集成到微型装置基板中。本公开的几个实施例还涉及将一或多个颜色转换层集成到微型装置基板中。本公开的一些实施例还涉及扩展微型装置的区域或微型装置的粘接区。
技术介绍
<br>一种提高系统性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种将一或多个微型装置集成到系统基板的方法，所述方法包括：/n将所述一或多个微型装置转移到所述系统基板；/n形成保护层以覆盖所述一或多个微型装置，其延伸超出所述一或多个微型装置的边缘；/n图案化所述保护层以接收导电电极；和/n通过所述导电电极将背板元件连接到所述一或多个微型装置，其中所述导电电极包含每个微型装置的单独电极。/n

【技术特征摘要】
20181016 US 62/746,300;20181116 US 62/768,812;20191.一种将一或多个微型装置集成到系统基板的方法，所述方法包括：
将所述一或多个微型装置转移到所述系统基板；
形成保护层以覆盖所述一或多个微型装置，其延伸超出所述一或多个微型装置的边缘；
图案化所述保护层以接收导电电极；和
通过所述导电电极将背板元件连接到所述一或多个微型装置，其中所述导电电极包含每个微型装置的单独电极。


2.根据权利要求1所述的方法，其中所述保护层包括平坦化层，其中所述平坦化层是以下中的一种：连续平坦化层或图案化平坦化层。


3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
在覆盖每个微型装置的所述保护层上形成多个另外的平坦化层，其中所述多个另外的平坦化层包括以下中的一种：所述保护层的延伸、钝化层、电介质层、另一保护层、颜色转换层、反射层和分隔层。


4.根据权利要求1所述的方法，其中图案化所述保护层包括：在形成将所述一或多个微型装置连接到所述背板元件的所述导电电极之前，在所述保护层中形成多个通孔。


5.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个通孔被提供在所述微型装置的不同位置处以提供与所述背板元件的连接。


6.根据权利要求1所述的方法，其中将金属化层或公用电极直接沉积到所述一或多个微型装置。


7.根据权利要求1所述的方法，其中在形成将所述一或多个微型装置连接到所述背板元件的所述导电电极之前，去除所述保护层。


8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
在所述一或多个微型装置和所述系统基板之间形成缓冲层。


9.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
在所述背板元件的顶部上形成多个其它层，其中所述多个其它层包括以下中的一种：钝化层、颜色转换层、光学增强层、触控电极或公用电极。


10.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括
在与所述系统基板分隔的所述多个其它层的表面上执行后处理步骤，其中所述后处理步骤包含以下中的至少一个：打开所述多个其它层中的一或多个，去除所述多个其它层中的一或多个，形成不同的电极，形成光学层，形成颜色转换/滤色器层，或形成钝化层。


11.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括：
将第二系统基板集成到所述多个其它层；和
在集成所述第二系统基板之后，去除所述系统基板。


12.根据权利要求8所述的方法，其中所述缓冲层包括另一保护层以在分隔过程中保护所述微型装置。


13.根据权利要求8所述的方法，其中在所述缓冲层中形成多个另外的通孔到与微型装置的第一侧相对的一侧，以向所述微型装置提供耦联选项。


14.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括
提供一或多个颜色转换层，其设置在与所述微型装置的表面相对的基板表面或缓冲层表面上。


15.根据权利要求13所述的方法，其进一步包括
在所述微型装置下面的所述颜色转换层上提供一或多个另外的层，其中所述另外的层包括以下中的一种：滤色器、黑矩阵、筑堤层、阻挡层、反射层、钝化层和平坦化层。


16.根据权利要求15所述的方法，其中所述平坦化层是支撑层，其包括以下中的一种：连续平坦化层或图案化平坦化层，并且其中在所述微型装置和背板上提供另一图案化平坦化层。


17.一种显示系统，其包括：
基板；
缓冲层，其沉积在所述基板上；
粘接焊盘，其形成在所述缓冲层的顶表面上；
至少一个微型装置，其转移在所述粘接焊盘的顶部上；和
一或多个颜色转换层，其设置在与所述微型装置的表面相对的基板表面或缓冲层表面上。


18.根据权利要求17所述的显示系统，其进一步包括
第一反射层，其在所述粘接焊盘之前形成在所述缓冲层上；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：格拉姆雷扎·查济，埃桑诺拉·法蒂，巴哈雷·萨德吉马基，侯赛因·扎马尼·西博尼，
申请(专利权)人：维耶尔公司，
类型：发明
国别省市：加拿大;CA