【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可更换和/或可折叠的用于等离子鞘调整的并入边缘环定位和定心功能的边缘环组件相关申请的交叉引用本申请要求于2018年8月13日提交的美国临时申请No.62/718,112的权益。上述申请的全部公开内容通过引用并入本文。
本公开涉及在衬底处理系统中的可移动边缘环。
技术介绍
这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的描述的各方面中描述的范围内的当前指定的专利技术人的工作既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。衬底处理系统可用于处理诸如半导体晶片之类的衬底。可以在衬底上执行的示例性处理包括但不限于化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)、导体蚀刻和/或其他蚀刻、沉积或清洁工艺。衬底可以布置在衬底处理系统的处理室中的衬底支撑件上，衬底支撑件例如基座、静电卡盘(ESC)等。在蚀刻期间，可以将包括一种或多种前体的气体混合物引入处理室，并且可以使用等离子体来引发化学反应。衬底支撑件可包括布置成支撑晶片的陶瓷层。例如，晶片在处理期间可以被夹持到陶瓷层上。衬底支撑件可以包括围绕衬底支撑件的外部部分(例如，在周边的外部和/或与周边相邻)布置的边缘环。可以提供边缘环以将等离子体约束到衬底上方的体积，保护衬底支撑件免受等离子体引起的侵蚀、使等离子体鞘成形和定位等。
技术实现思路
提供了一种用于衬底支撑件的第一边缘环。所述第一边缘环包括环形主体和一个或多个升降销接收元件。所述环形主体的尺寸和形状设计成围绕所述衬底...
【技术保护点】
1.一种用于衬底支撑件的第一边缘环，所述第一边缘环包括：/n环形主体，其尺寸和形状设计成围绕所述衬底支撑件的上部，其中所述环形主体限定：/n上表面，/n下表面，/n径向内表面，和/n径向外表面；和/n一个或多个升降销接收元件，其沿着所述环形主体的下表面设置，并且其尺寸和形状设计成接收三个或更多个升降销的相应顶端并提供与所述三个或更多个升降销的相应顶端的运动耦合。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180813 US 62/718,1121.一种用于衬底支撑件的第一边缘环，所述第一边缘环包括：
环形主体，其尺寸和形状设计成围绕所述衬底支撑件的上部，其中所述环形主体限定：
上表面，
下表面，
径向内表面，和
径向外表面；和
一个或多个升降销接收元件，其沿着所述环形主体的下表面设置，并且其尺寸和形状设计成接收三个或更多个升降销的相应顶端并提供与所述三个或更多个升降销的相应顶端的运动耦合。
2.根据权利要求1所述的第一边缘环，其包括沿着所述环形主体的下表面设置的三个升降销接收元件。
3.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中：
所述环形主体包括内径；并且
所述内径大于所述衬底支撑件的顶部的外径。
4.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述环形主体至少部分地由非挥发性材料形成。
5.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽。
6.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个“V”形凹槽。
7.根据权利要求6所述的第一边缘环，其中，所述至少一个“V”形凹槽包括彼此相对成60°-120°的壁。
8.根据权利要求6所述的第一边缘环，其中所述至少一个“V”形凹槽包括彼此相对成45°的壁。
9.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中：
所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个具有圆形顶点部分的凹槽；和
所述圆形顶点部分具有在0.018英寸和0.035英寸之间的半径。
10.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括圆形凹槽、具有半圆锥形端部的凹槽或具有四分之一半球形端部的凹槽中的至少一种。
11.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹穴。
12.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括倒角侧壁。
13.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件中的至少一个包括倾斜部分，以将所述三个或更多个升降销中的一个引导到所述一个或多个升降销接收元件中的至少一个中。
14.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括：
具有凹槽的第一升降接收元件；和
具有凹穴的第二升降销接收元件。
15.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽，所述至少一个凹槽具有平行的侧壁和平坦或圆形的顶壁。
16.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件仅包括三个升降销接收元件。
17.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括设置在所述环形主体的底部周边处的至少一个凹口。
18.根据权利要求17所述的第一边缘环，其中所述至少一个凹口包括：
'V'形凹槽和半圆锥形端部；或者
四分之一的半球形端部。
19.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件相对于所述环形主体的中心间隔120°。
20.根据权利要求1所述的第一边缘环，其中所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽，所述至少一个凹槽成形为一次仅在两个点处接触所述三个或更多个升降销中的相应一个。
21.根据权利要求20所述的第一边缘环，其中，所述至少一个凹槽被成形为使得所述三个或更多个升降销中的所述相应一个不接触所述至少一个凹槽的最上部分或顶点部分。
22.一种系统，其包括：
根据权利要求1所述的第一边缘环；和
所述三个或更多个升降销。
23.根据权利要求22所述的系统，其中：
所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽；以及
所述至少一个凹槽的深度与所述三个或更多个升降销中的相应一个的直径的比率是1：1。
24.根据权利要求22所述的系统，其中：
所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽；以及
所述至少一个凹槽的深度与所述三个或更多个升降销中的相应一个的直径之间的比率介于10：1和1：8之间。
25.根据权利要求22所述的系统，其中：
所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽；
所述至少一个凹槽包括侧壁；以及
所述凹槽的宽度与所述三个或更多个升降销中的相应一个的直径之间的比率介于20：1和1：4之间。
26.根据权利要求22所述的系统，其中：
所述一个或多个升降销接收元件包括至少一个凹槽；以及
所述三个或更多个升降销中的相应一个设置在所述至少一个凹槽中的深度与所述至少一个凹槽的深度之间的比率介于10：1和1：8之间。
27.根据权利要求22所述的系统，其中，所述三个或更多个升降销中的每一个被成形为一次接触所述一个或多个升降销接收元件中的相应一个的表面上的两个点，而不接触所述一个或多个升降销接收元件中的所述相应一个的顶部表面或顶点部分。
28.根据权利要求22所述的系统，其中所述三个或更多个升降销至少部分地由挥发性材料形成。
29.根据权利要求22所述的系统，其还包括：
至少一个致动器，其用于移动所述三个或更多个升降销；和
控制器，其被配置为控制所述至少一个致动器的操作。
30.根据权利要求22所述的系统，其还包括：
第二边缘环；和
至少一个稳定元件，其设置在所述环形主体的至少一个凹部中并在所述第二边缘环上施加压力。
31.根据权利要求22所述的系统，其还包括：
第二边缘环；和
第三边缘环，
其中，所述第一边缘环、所述第二边缘环和所述第三边缘环堆叠布置。
32.根据权利要求31所述的系统，其中所述第二边缘环和所述第三边缘环各自至少部分地由挥发性材料形成。
33.根据权利要求22所述的系统，其还包括第二边缘环，所述第二边缘环包括第一顶部表面和第二顶部表面，其中：
所述第一顶部表面邻近所述衬底支撑件的顶部表面并且在衬底的周边下方设置，其中所述第一顶部表面设置(i)在高于所述第一边缘环的底部表面的高度的高度处，并且(ii)在所述第一边缘环的径向内侧；
所述第二顶部表面设置在所述第一边缘环的一部分下方，所述第二顶部表面设置在低于所述第一边缘环的所述底部表面的高度的高度处；和
从所述第一顶部表面到所述第二顶部表面的脚背状部。
34.根据权利要求33所述的系统，其中所述第二边缘环至少部分地由挥发性材料形成。
35.一种用于衬底支撑件的可折叠边缘环组件，所述可折叠边缘环组件包括：
以堆叠方式布置的多个边缘环，其中所述多...
【专利技术属性】
技术研发人员：亚历杭德罗·桑切斯，格雷森·福特，达雷尔·埃利希，阿拉温德·阿勒万，凯文·莱翁，安东尼·孔特雷拉斯，韩祝民，拉斐尔·卡塞斯，乔安娜·吴，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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