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提供了一种用于衬底支撑件的第一边缘环。所述第一边缘环包括环形主体和一个或多个升降销接收元件。所述环形主体的尺寸和形状设计成围绕所述衬底支撑件的上部。所述环形主体限定：上表面、下表面、径向内表面和径向外表面。所述一个或多个升降销接收元件，沿着...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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