提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸，且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并且限定内部空间。凸缘包括：入口开口，其构造成插入和移除构造成在衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；向内部空间提供气体的气体入口。组件构造并且布置成具有气体排放开口以从内部空间以及衬里与低压管之间的空间移除气体。
Components for lining and flange of shaft furnace and lining and shaft furnace
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉
本专利技术涉及低压竖式炉，且更具体地涉及用于低压竖式炉的衬里和凸缘的组件，以及其中使用的竖式炉。衬里构造成在竖式炉的低压处理管的内部中延伸，并且凸缘构造成部分地封闭管的内部。
技术介绍
用于处理例如半导体晶片的衬底的竖式处理炉可包括围绕钟形罐状处理管放置的加热装置，以及同轴地设置在处理管内的基本上圆柱形的衬里。处理管的上端可例如由圆顶形结构封闭，而处理管的下端表面可为敞开的。衬里可在其上端和下端处敞开。下端可由凸缘部分地封闭。衬里和凸缘界定的内部空间形成处理室，其中可处理待处理的晶片。在衬里与处理管之间是周向空间。凸缘可设有用于将承载晶片的晶舟插入到内部空间中的入口开口。晶舟可以放置在门上，所述门以可竖直移动方式布置且构造成封闭凸缘中的入口开口。凸缘还可包括至少一个气体入口，至少一个气体入口与由衬里界定的内部空间流体连接。另外，可提供气体排气装置，其与衬里和处理管之间的周向空间流体连接。该气体排气装置可连接到真空泵以用于从周向空间泵送气体。这种构造可导致气体从衬里下端的空气入口穿过衬里的内部空间向上流动穿过衬里的开口端进入周向空间并通向气体排气装置。流中的气体可为用于在晶片上进行沉积反应的反应(处理)气体。此反应气体还可沉积于除竖式炉内的晶片外的其它表面上。用于处理衬底的竖式处理炉的问题可能是处理管的内部空间中的污染。
技术实现思路
因此，可能需要一种衬里和凸缘的改进的组件，其可能引起较少污染。因此，提供了一种根据第一实施例的衬里和凸缘的组件，衬里构造成在竖式炉的低压处理管的内部中延伸。组件的衬里可包括由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定的基本上圆柱形壁。衬里可在用于气体的衬里开口上方基本上封闭，并限定内部空间。凸缘可包括入口开口，入口开口构造成插入和移除构造成将衬底承载在衬里的内部空间中的舟皿。凸缘可构造成至少部分地封闭管的开口。凸缘可具有气体入口管道以将反应气体提供至内部空间。组件可构造和布置成具有气体排放开口，以从内部空间以及衬里与低压处理管之间的空间移除气体。可通过针对反应气体封闭衬里开口上方的衬里，并通过凸缘处的排气管从内部空间以及衬里与处理管之间的空间移除气体，使得反应气体无法到达衬里与管之间的空间而避免了污染。因此，处理管的内部和衬里的外部可保持清洁，因为基本上没有反应气体在此处流动。根据一个实施例，提供了一种竖式炉，其包括：限定内部的低压处理管；构造成加热所述管的内部的加热器；根据第一实施例所述的组件，其中凸缘部分地封闭处理管的开口端，使得中心入口开口敞开，并且其中衬里在处理管的内部中延伸；可竖直移动地布置的门，其构造成封闭所述凸缘中的中心入口开口，并且构造成支承构造成保持衬底的晶舟。竖式炉具有上文参考衬里和凸缘的组件描述的优点。优点可为通过将衬里提供为内部空间与管之间的屏障来防止污染。根据另一个实施例，可提供衬里，其构造成在竖式炉的低压处理管的内部中延伸，衬里包括：基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并限定内部空间，其中衬里包括碳化硅。本专利技术的各种实施例可以彼此分开地应用或可以进行组合。本专利技术的实施例将在具体实施方式中参考图中示出的一些实例进一步阐明。附图说明应了解，图中的元件仅为了简单和清晰而示出的，且不一定按比例绘制。例如，图中的一些元件的尺寸可能相对于其它元件被放大，以有助于改进对本公开所说明实施例的理解。图1示出了根据实施例的包括衬里和凸缘的组件的竖式处理炉的管的横截面视图；图2是图1的组件的示意性俯视图；图3是图2的线III-III上的组件的横截面透视侧视图，其中示出了竖式炉的处理管；图4是图2中的线IV-IV上的横截面；图5是如图4所示的类似横截面，但为凸缘设有支承垫的实施例；图6示出了根据另一个实施例的包括衬里和凸缘的组件的竖式炉的横截面视图；图7示出了根据又一个实施例的包括衬里和凸缘的组件的竖式炉的横截面视图；图8描绘了位于根据图1、6或7的衬里内的根据实施例的喷射器的仰视透视图；以及，图9描绘了用于图1、6、7或8的喷射器。具体实施方式在本申请中，类似或对应特征由类似或对应的参考符号表示。各种实施例的描述不限于图中示出的实例，且具体实施方式和权利要求书中所使用的附图标号并不意图将所描述的内容限制为图中示出的实例。图1示出了根据实施例的包括衬里和凸缘的组件的竖式炉的横截面视图。竖式炉包括限定内部的低压处理管12和配置成加热内部的加热器H。衬里2在内部中延伸，衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的圆顶形顶部封闭件2d界定。衬里对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并限定了内部空间I。可提供凸缘3以至少部分地封闭低压处理管12的开口。可竖直移动地布置的门14可构造成封闭凸缘3中的中心入口开口O，并且可构造成支承晶舟B，所述晶舟B构造成固持衬底W。凸缘3可部分地封闭处理管12的开口端。门14可设有底座R。可以旋转底座R以使晶舟B在内部空间中旋转。在舟皿B中的最低衬底下方，可提供流动空间以防止在舟皿中的衬底W之间的反应气体的流动。在图1所示的实例中，组件1包括衬里2，其包括具有基本上圆柱形外表面2a和基本上圆柱形内表面2b的基本上圆柱形衬里壁。凸缘3构造成至少部分地封闭管开口和由衬里2的下端表面2c更精确地限定的衬里开口。凸缘3包括：入口开口O，所述入口开口O构造成插入并移除舟皿B，舟皿B构造成在衬里2的内部空间I中承载衬底W；气体入口16，其用以提供气体F，例如反应气体到内部空间I；以及，排气管7，其用以从内部空间移除气体。气体入口16可设有喷射器17，该喷射器构造和布置在组件内，以沿衬里2的基本上圆柱形壁朝较高端垂直地延伸到内部空间I中，并且包括喷射器开口18，用以将气体喷射到内部空间I中。连接到排气管7的用于从内部空间移除气体的气体排放开口8可构造和布置在喷射器开口18下方。以此方式，通过对于气体封闭衬里开口以上的衬里2，利用喷射器17通过喷射器开口18在内部空间I的上端处向内部空间提供气体并通过排放开口8在内部空间的下端处从内部空间中移除气体，可以在衬里2的内部空间中形成下行流F。此下行流F可将反应副产物的污染向下转移到远离经处理衬底W的排放开口8，所述反应副产物即来自衬底W、舟皿B、衬里2和/或支承凸缘3的颗粒。用于从内部空间I中移除气体的气体排放开口8可设置在衬里2的开口端下面。这可为有益的，因为处理室的污染源可能由衬里2与凸缘3之间的接触而形成。具体地说，污染源可存在于衬里在开口端处的下端表面与凸缘接触的位置处。在衬底的处理期间，且具体地在处理之后的舟皿的卸载期间，衬里和凸缘可受热，这会增加衬里和凸缘两者的温度。由于温度升高，衬里和凸缘可能经历热膨胀，这引起本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种衬里和凸缘的组件，所述衬里构造成在竖式炉的低压管的内部中延伸，所述衬里包括：/n基本上圆柱形壁，所述基本上圆柱形壁由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于所述衬里开口上方的气体基本上封闭并且限定内部空间，所述凸缘构造成至少部分地封闭所述管的开口，并且包括：/n入口开口，所述入口开口构造成插入并且移除构造成在所述衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；和/n气体入口，所述气体入口向所述内部空间提供气体，其中所述组件构造并且布置成具有气体排放开口，以从所述内部空间以及所述衬里与所述低压管之间的空间移除气体。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170726 US 15/660,8051.一种衬里和凸缘的组件，所述衬里构造成在竖式炉的低压管的内部中延伸，所述衬里包括：
基本上圆柱形壁，所述基本上圆柱形壁由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于所述衬里开口上方的气体基本上封闭并且限定内部空间，所述凸缘构造成至少部分地封闭所述管的开口，并且包括：
入口开口，所述入口开口构造成插入并且移除构造成在所述衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；和
气体入口，所述气体入口向所述内部空间提供气体，其中所述组件构造并且布置成具有气体排放开口，以从所述内部空间以及所述衬里与所述低压管之间的空间移除气体。
2.根据权利要求1所述的组件，其中所述气体入口包括喷射器，所述喷射器构造并且布置在所述组件内，以沿所述衬里的基本上圆柱形壁朝所述较高端延伸到所述内部空间中，并且包括至少一个开口以在所述内部空间中喷射气体。
3.根据权利要求2所述的组件，其中在竖直方向上延伸的开口图案沿着所述喷射器设置。
4.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器内部的气体传导通道的水平内部横截面面积在100和1500mm2之间。
5.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器内部的气体传导通道的水平内部横截面具有一个形状，所述形状在与基本上圆柱形衬里的圆周相切的方向上的尺寸大于在径向方向上的尺寸。
6.根据权利要求2所述的组件，其中所述至少一个开口的面积能够在1到200mm2之间。
7.根据权利要求3所述的组件，其中所述开口之间的垂直距离在从所述喷射器的下端到顶端时减小。
8.根据权利要求3所述的组件，其中所述开口构造成使得在至少两个不同方向上喷射气体。
9.根据权利要求2所述的组件，其中所述至少一个开口从内到外具有凹形形状。
10.根据权利要求2所述的组件，其中所述开口定位在所述喷射器的两个垂直延伸的、间隔开的分支上。
11.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器包括靠近所述衬里的顶端的一个开口。
12.根据权利要求1所述的组件，其中界定所述内部空间的所述衬里具有沿径向向外延伸的凸起。
13.根据权利要求1所述的组件，其中用于从所述内部空间移除气体的所述气体排放开口设置在所述衬里的开口端下方。
14.根据权利要求1所述的组件，其中所述组件设有安装在所述凸缘上的吹扫气体入口，以用于向所述衬里与所述管之间的空间提供吹扫气体。
【专利技术属性】
技术研发人员：L杰迪拉，C德里德尔，T奥斯特拉肯，KP伯昂斯特拉，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL
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