温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸，且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并且...
该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。