一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘，所述法兰盘的外表面设置有梯形滑槽，所述梯形滑槽的内侧安装有滑块，所述滑块的上端安装有支撑保护壳，所述支撑保护壳的外表面安装有第一螺栓柱，所述第一螺栓柱的一端安装有第二螺栓柱，所述法兰盘的一端设置有第一螺纹孔，所述法兰盘另一端设置有密封槽，所述密封槽的外表面设置有第二螺纹孔。本实用新型专利技术通过安装法兰盘与纵向水平仪的配合，使得该装置通过纵向水平仪可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接，通过安装第二螺栓柱与法兰盘的配合，使得该装置利用第二螺栓柱进行锁紧固定，通过安装密封槽与密封垫的配合，使得该装置密封性强。

A high precision conversion flange for ion sputtering coater

【技术实现步骤摘要】
一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰
本技术涉及转换法兰
，具体为一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰。
技术介绍
随着社会经济的快速发展，法兰又叫法兰凸缘盘或突缘，法兰是管子与管子之间相互连接的零件，用于管端之间的连接;也有用在设备进出口上的法兰，用于两个设备之间的连接，如减速机法兰，法兰连接或法兰接头，是指由法兰、垫片及螺栓三者相互连接作为一组组合密封结构的可拆连接，管道法兰系指管道装置中配管用的法兰，用在设备上系指设备的进出口法兰，法兰上有孔眼，螺栓使两法兰紧连，法兰间用衬垫密封，法兰分螺纹连接法兰、焊接法兰和卡夹法兰，法兰都是成对使用的,低压管道可以使用丝接法兰，四公斤以上压力的使用焊接法兰。两片法兰盘之间加上密封垫，然后用螺栓紧固。但是，现有的转换法兰不方便安装，密封性不强，转换法兰在安装时精度不高；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，以解决上述
技术介绍
中提出的转换法兰不方便安装，密封性不强，转换法兰在安装时精度不高等问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘，所述法兰盘的外表面设置有梯形滑槽，所述梯形滑槽的内侧安装有滑块，所述滑块的上端安装有支撑保护壳，所述支撑保护壳的外表面安装有第一螺栓柱，所述第一螺栓柱的一端安装有第二螺栓柱，所述法兰盘的一端设置有第一螺纹孔，所述法兰盘另一端设置有密封槽，所述密封槽的外表面设置有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔的上端安装有横向水平仪，所述横向水平仪与法兰盘通过横向卡槽连接，所述横向水平仪的一侧设置有纵向卡槽，所述纵向卡槽的内侧安装有纵向水平仪，所述密封槽的一端设置有连接孔。优选的，所述支撑保护壳的下端与滑块的上端完全贴合，所述支撑保护壳与滑块通过焊接固定。优选的，所述支撑保护壳的外表面与第一螺栓柱的下端完全贴合，所述支撑保护壳与第一螺栓柱通过螺纹连接。优选的，所述法兰盘的一端与纵向水平仪的一端完全贴合，所述法兰盘与纵向水平仪通过纵向卡槽连接。优选的，所述第二螺栓柱的下端与法兰盘的上端完全贴合，所述第二螺栓柱与法兰盘通过螺纹固定。优选的，所述密封槽的外表面安装有密封垫，所述密封槽与密封垫通过胶粘剂连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术通过安装支撑保护壳与梯形滑槽的配合，使得该装置通过滑动支撑保护壳进行与另一个连接器连接，使得该装置方便安装且密封性好，通过安装支撑保护壳与第一螺栓柱的配合，通过第一螺栓柱进行固定，使得该装置使用牢靠；2、本技术通过安装法兰盘与纵向水平仪的配合，使得该装置通过纵向水平仪可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接，通过安装第二螺栓柱与法兰盘的配合，使得该装置利用第二螺栓柱进行锁紧固定，通过安装密封槽与密封垫的配合，使得该装置密封性强。附图说明图1为本技术整体的结构示意图；图2为本技术整体的侧视图；图3为本技术整体的俯视图。图中：1、支撑保护壳；2、第一螺纹孔；3、第一螺栓柱；4、法兰盘；5、纵向水平仪；6、横向水平仪；7、连接孔；8、第二螺栓柱；9、第二螺纹孔；10、梯形滑槽；11、滑块；12、纵向卡槽；13、横向卡槽；14、密封槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1至图3，本技术提供的一种实施例：一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘4，法兰盘4的外表面设置有梯形滑槽10，通过滑动支撑保护壳1进行与另一个连接器连接，使得该装置方便安装且密封性好，梯形滑槽10的内侧安装有滑块11，滑块11的上端安装有支撑保护壳1，支撑保护壳1的外表面安装有第一螺栓柱3，通过安装支撑保护壳1与第一螺栓柱3的配合，通过第一螺栓柱3进行固定，使得该装置使用牢靠，第一螺栓柱3的一端安装有第二螺栓柱8，法兰盘4的一端设置有第一螺纹孔2，法兰盘4另一端设置有密封槽14，密封槽14的外表面设置有第二螺纹孔9，第二螺纹孔9的上端安装有横向水平仪6，横向水平仪6与法兰盘4通过横向卡槽13连接，横向水平仪6的一侧设置有纵向卡槽12，纵向卡槽12的内侧安装有纵向水平仪5，通过安装法兰盘4与纵向水平仪5的配合，使得该装置通过纵向水平仪5可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接，密封槽14的一端设置有连接孔7。进一步，支撑保护壳1的下端与滑块11的上端完全贴合，支撑保护壳1与滑块11通过焊接固定，该装置通过安装支撑保护壳1与滑块11的配合，使得该装置通过滑动支撑保护壳1进行与另一个连接器连接，使得该装置方便安装且密封性好。进一步，支撑保护壳1的外表面与第一螺栓柱3的下端完全贴合，支撑保护壳1与第一螺栓柱3通过螺纹连接，该装置通过安装支撑保护壳1与第一螺栓柱3的配合，通过第一螺栓柱3进行固定，使得该装置使用牢靠。进一步，法兰盘4的一端与纵向水平仪5的一端完全贴合，法兰盘4与纵向水平仪5通过纵向卡槽12连接，该装置通过安装法兰盘4与纵向水平仪5的配合，使得该装置通过纵向水平仪5可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接。进一步，第二螺栓柱8的下端与法兰盘4的上端完全贴合，第二螺栓柱8与法兰盘4通过螺纹固定，该装置通过安装第二螺栓柱8与法兰盘4的配合，使得该装置利用第二螺栓柱8进行锁紧固定。进一步，密封槽14的外表面安装有密封垫，密封槽14与密封垫通过胶粘剂连接，该装置通过安装密封槽14与密封垫的配合，使得该装置密封性强。工作原理：使用时，检查各个机构的使用情况，将该装置移动到工作区域，将法兰盘4与另一个连接器大致对准，通过滑动支撑保护壳1进行与另一个连接器连接，使得该装置方便安装且密封性好，利用支撑保护壳1外表面安装的第二螺栓柱8与第一螺栓柱3进行固定，通过安装支撑保护壳1与第一螺栓柱3的配合，通过第一螺栓柱3进行固定，使得该装置使用牢靠，通过法兰盘4一端设置的第一螺纹孔2与第二螺纹孔9，利用螺栓进行固定，在固定时可以通过纵向水平仪5与横向水平仪6观察压紧力是否相等，使得该装置通过纵向水平仪5可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接，过安装密封槽14内侧安装的密封垫，使得该装置密封性强。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘（4），其特征在于：所述法兰盘（4）的外表面设置有梯形滑槽（10），所述梯形滑槽（10）的内侧安装有滑块（11），所述滑块（11）的上端安装有支撑保护壳（1），所述支撑保护壳（1）的外表面安装有第一螺栓柱（3），所述第一螺栓柱（3）的一端安装有第二螺栓柱（8），所述法兰盘（4）的一端设置有第一螺纹孔（2），所述法兰盘（4）另一端设置有密封槽（14），所述密封槽（14）的外表面设置有第二螺纹孔（9），所述第二螺纹孔（9）的上端安装有横向水平仪（6），所述横向水平仪（6）与法兰盘（4）通过横向卡槽（13）连接，所述横向水平仪（6）的一侧设置有纵向卡槽（12），所述纵向卡槽（12）的内侧安装有纵向水平仪（5），所述密封槽（14）的一端设置有连接孔（7）。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘（4），其特征在于：所述法兰盘（4）的外表面设置有梯形滑槽（10），所述梯形滑槽（10）的内侧安装有滑块（11），所述滑块（11）的上端安装有支撑保护壳（1），所述支撑保护壳（1）的外表面安装有第一螺栓柱（3），所述第一螺栓柱（3）的一端安装有第二螺栓柱（8），所述法兰盘（4）的一端设置有第一螺纹孔（2），所述法兰盘（4）另一端设置有密封槽（14），所述密封槽（14）的外表面设置有第二螺纹孔（9），所述第二螺纹孔（9）的上端安装有横向水平仪（6），所述横向水平仪（6）与法兰盘（4）通过横向卡槽（13）连接，所述横向水平仪（6）的一侧设置有纵向卡槽（12），所述纵向卡槽（12）的内侧安装有纵向水平仪（5），所述密封槽（14）的一端设置有连接孔（7）。


2.根据权利要求1所述的一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，其特征在于：所述支撑保护壳（1）的下端与滑块（11）的上端完全...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凤辉，邱艳，梁裕，
申请(专利权)人：安徽天匠精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34