一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法，所述的装置包括过渡颈管，限制粉尘扩散的套管和双重密封结构，所述限制粉尘扩散的套管包含固定位置的套管和可移动套管，可移动套管与固定套管之间通过紧密贴合的防尘圈连接；在真空阀门完全打开时，利用直线导入器驱动带有双重密封结构可移动导管，与布置在真空阀门真空侧内壁上和过渡颈管内壁上的密封圈紧密贴合，所述可移动套管与真空阀门开关和送粉器开关，按照顺序执行，形成联动。隔离粉尘颗粒进入真空阀门的密封面，有效的保护了真空阀门，极大的提高了插板阀的使用寿命和可靠性。

A device and method for anti dust pollution of sealing surface of vacuum valve

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法
本专利技术涉及真空工程
，具体为一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法。
技术介绍
近年来，采用送粉器等系统主动引入固体杂质颗粒进入真空室被广泛应用于与真空相关的领域，比如采用固体材料颗粒注入能够改善核聚变真空室内的等离子体的性能参数。注入的固体颗粒多为亚毫米到几十微米量级的粉末，比如锂粉，硼粉，硅粉。送粉器与真空室的连接或者隔断主要使用真空插板阀或者蝶阀。这些小尺寸材料颗粒在注入过程中，必须要经过真空阀门才能进入聚变装置真空室内的等离子体，这就导致粉末颗粒不可避免的粘附在真空阀门的密封面或者密封圈上，进而导致真空阀门的密封面泄漏，最终影响颗粒注入系统和和主体真空室的隔断能力。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法，本专利技术利用直线导入器驱动带有双重密封结构不锈钢导管在真空阀门敞开时隔离粉尘颗粒与真空阀门的密封面，该方法操作简单有效，能够避免真空环境下送粉器主动引入的固体粉末颗粒对用于隔断主真空室和送粉器的真空阀门密封面的污染，提高真空阀门在粉尘环境下的密封性能，有效的保护了真空阀门，极大的提高了插板阀的使用寿命和可靠性。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，包括有送粉器、引流系统及外层密封系统；所述的引流系统包括固定导管和可移动导管，所述的固定导管上端与送粉器下端口密封焊接，所述的可移动导管套在固定导管的外部并与其通过紧密贴合的防尘圈连接，所述的可移动导管上端连接有直线导入器；所述的外密封系统包括过渡颈管和真空插板阀，所述的过渡颈管两端具有标准法兰，其上端口与固定导管密封连接，下端口与真空插板阀密封连接，所述的真空插板阀包括真空阀门阀舌和真空阀门驱动器；在进行粉末注入时，将真空插板阀打开，将可移动导管穿过插板阀，使粉末限制在可移动导管内，对真空插板阀保护。进一步的，所述的可移动导管外壁密封焊接具有锥面倒角的密封台阶圈和装载有固定橡胶的密封台阶圈，所述过渡颈管内部下端口处焊接具有致密多孔不锈钢密封圈，能够与可移动套管外壁的锥面倒角的密封台阶圈形成有效贴合。进一步的，所述的过渡颈管具有标准真空法兰，能够连接主体真空室和送粉器，过渡颈管长度能够保证可移动套管收回，不干涉真空阀门的阀舌关闭和开合，所述的真空阀门真空侧内壁端口处焊接密封台面，与橡胶密封圈有效贴合，所述可移动套管受直线导入器驱动，平行于固定导管方向移动。进一步的，所述的固定导管内径70mm，外径72mm，所述的可移动导管内径80mm，外径82mm，所述的防尘圈为氟橡胶材料，安装在固定导管下外端口上。进一步的，所述的可移动导管外径底部焊接有45度锥面倒角的密封台阶圈，真空阀门真空侧内壁密封焊接有密封台面，密封台面上装有橡胶密封圈。进一步的，所述的过渡颈管下端口内壁焊接有致密多孔不锈钢密封圈，所述的致密多孔不锈钢密封圈具有45度锥面，能够与可移动套管外壁锥面倒角的密封台阶圈形成有效贴合，多孔滤芯材料能够阻挡粉尘颗粒且保证内外气压平衡；所述可移动导管受直线导入器驱动，平行于固定导管方向移动，移动距离范围与使用真空阀门厚度关联；真空阀门关闭状态情况下，直线导入器将可移动导管收回至过渡颈管内，可移动导管不影响真空阀门阀舌移动；在真空阀门完全打开情况下，上述直线导入器驱动上述可移动导管，穿过真空阀门密封面，并带动橡胶密封圈与真空阀门真空侧内壁端口处焊接密封台面配合，并同时使所述过渡颈管内部端口处致密多孔不锈钢密封圈与可移动套管外壁锥面倒角的密封台阶圈形成有效贴合。该专利技术装置与真空阀门和送粉器形成联动方案；具体顺序为：关闭送粉器，完全打开真空阀门，直线导入器推进可移动套管至密封位置，开启送粉器作业。另一方面，本专利技术还提出一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的方法，包括如下步骤：步骤1、采用真空机组将主体真空室和送粉器抽真空至所需真空度，利用真空阀门驱动器将真空阀门阀舌完全打开；步骤2、操作直线导入器，以驱动可移动导管，并驱动橡胶密封圈与密封台面紧配合，驱动锥面倒角的密封台阶圈与致密多孔不锈钢密封圈紧配合；步骤3、开启送粉器驱动粉末材料进入主体真空室；步骤4、送粉完成后，操作直线导入器驱动限制粉尘流动的可移动导管至真空阀门阀舌上部位置；步骤5、利用真空阀门启动器将真空阀门阀舌完全关闭。本专利技术的优点是：提供了一种利用可升降导管和多重密封的方法将主动引入的粉尘颗粒与真空密封面完全隔离，起到了保护真空阀门免于污染的作用，极大的延长了真空阀门的稳定性和使用寿命，同时该装置基本不影响颗粒流量并避免真空阀门内部形成的死空间。附图说明图1是真空阀门密封面抗粉尘污染的示意图。其中，附图标记如下所示：1-送粉器，2-固定导管，3-可移动导管，4-过渡颈管，5-防尘圈，6-锥面倒角的密封台阶圈，7-致密多孔不锈钢密封圈，8-真空阀门阀舌，9-真空阀门驱动器，10-主体真空室，11-密封台面，12-橡胶密封圈，13-固定橡胶的密封台阶圈，14-直线导入器，15-颗粒流动轮廓示意。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。如图1所示本专利技术实施提出了一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，包括两端具有CF100标准法兰的过渡颈管4，限制粉尘流动的固定导管2，限制粉尘流动的可移动导管3；所述的固定导管2，内径70毫米，外径72毫米，通过焊接方式连接到送粉器1的真空法兰面上；所述可移动导管3，内径80毫米，外径82毫米，受直线导入器14驱动，可沿套管轴向移动。所述可移动导管3外径尺寸与所述固定导管2内径尺寸差之间与防尘圈5能够紧密配合，保证二者之间动密封性能；防尘圈5固定在固定导管2的外壁端口上，选用氟橡胶材料；所述可移动导管3外径焊接具有45°锥面倒角的密封台阶圈6和固定橡胶密封台阶圈13；真空阀门真空侧内壁密封焊接密封台面11，为橡胶密封圈12提供密封台阶；过渡颈管4内壁焊接有孔径微米通孔，致密多孔不锈钢密封圈7，具有45°锥面，与锥面倒角的密封台阶圈6配合；致密多孔不锈钢密封圈7与锥面倒角的密封台阶圈6配合时，橡胶密封圈12与密封台面11之间能够紧密密封。具体实施步骤为：采用真空机组将主体真空室10和送粉器1抽真空至所需真空度，利用驱动真空阀门驱动器9将真空阀门阀舌8完全打开；操作直线导入器14，以驱动可移动导管3，并驱动橡胶密封圈12与密封台面11紧配合，锥面倒角的密封台阶圈6与致密多孔不锈钢密封圈7紧配合，如附图1所示状态；开启送粉器1驱动粉末材料进入主体真空室10；操作直线导入器14驱动限制粉尘流动的可移动导管3至真空阀门阀舌8上部位置；驱动真空阀门阀舌本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，其特征在于，包括有送粉器、引流系统及外层密封系统；/n所述的引流系统包括固定导管和可移动导管，所述的固定导管上端与送粉器下端口密封焊接，所述的可移动导管套在固定导管的外部并与其通过紧密贴合的防尘圈连接，所述的可移动导管上端连接有直线导入器；/n所述的外层外密封系统包括过渡颈管和真空插板阀，所述的过渡颈管两端具有标准法兰，其上端口与固定导管密封连接，下端口与真空插板阀密封连接，所述的真空插板阀包括真空阀门阀舌和真空阀门驱动器；在进行粉末注入时，将真空插板阀打开，将可移动导管穿过插板阀，使粉末限制在可移动导管内，对真空插板阀保护。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，其特征在于，包括有送粉器、引流系统及外层密封系统；
所述的引流系统包括固定导管和可移动导管，所述的固定导管上端与送粉器下端口密封焊接，所述的可移动导管套在固定导管的外部并与其通过紧密贴合的防尘圈连接，所述的可移动导管上端连接有直线导入器；
所述的外层外密封系统包括过渡颈管和真空插板阀，所述的过渡颈管两端具有标准法兰，其上端口与固定导管密封连接，下端口与真空插板阀密封连接，所述的真空插板阀包括真空阀门阀舌和真空阀门驱动器；在进行粉末注入时，将真空插板阀打开，将可移动导管穿过插板阀，使粉末限制在可移动导管内，对真空插板阀保护。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，其特征在于：所述的可移动导管外壁密封焊接具有锥面倒角的密封台阶圈和装载有固定橡胶的密封台阶圈，所述过渡颈管内部下端口处焊接具有致密多孔不锈钢密封圈，能够与可移动套管外壁的锥面倒角的密封台阶圈形成有效贴合。


3.根据权利要求1所述的一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置，其特征在于：所述的过渡颈管具有标准真空法兰，能够连接主体真空室和送粉器，过渡颈管长度能够保证可移动套管收回，不干涉真空阀门的阀舌关闭和开合，所述的真空阀门真空侧内壁端口处焊接密封台面，与橡胶密封圈有效贴合，所述可移动套管受直线导入器驱动，平行于固定导...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙震，黄明，钱玉忠，徐伟，孟献才，李成龙，韦俊，庄会东，左桂忠，胡建生，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34