The present invention relates to a measuring valve gas rate, in particular to a vacuum valve, including linear stepping motor, valve cover, valve body, a telescopic screw rod, valve seat, valve cover and proximity sensor, wherein the valve body and the upper and the lower ends are respectively arranged on the valve cover and the valve cover and the valve seat located in the valve body; the linear stepping motor is arranged on the valve cover, the output end of a telescopic screw rod and the valve seat is connected via below the seat arranged in the valve cover, the valve opening degree sensor measurement approach, the linear step motor driving seat moves up and down to realize the closed-loop control of the valve opening. The invention adopts linear stepper motor drives the valve seat on opening and closing, and through the opening of the proximity sensor seat, the measurement and control precision, the airflow pulsation under the impact of stable opening does not change, then the flow has stabilized at a certain value.
【技术实现步骤摘要】
一种真空阀门
本专利技术涉及抽气速率测量阀门,具体地说是一种真空阀门。
技术介绍
抽气速率是真空获得设备的重要指标。一直以来,权威机构的测量一直以手动阀门操作为基本操作方式,十分耗时而且需要经验。有些阀门在测试过程中难于始终保证开度的稳定性,不同的测试者其测试结果可能也不尽相同。特别的,在小流量测试中,由于存在“大数吃小数”效应,对读数精确度要求很高,所以有必要提供一种自动测试抽速的解决方案;这种解决方案不能仅仅停留在实验室阶段,需要面向工程,适应各种规格的泵种。另外,一般在抽速测试时大多采用空气进行测试,为更好地模拟现场工况,应可进行混合多种工艺气体的工况下的抽速测试,这是传统抽速测试装置难于做到的。进一步地,这种解决方案可以推广到实际的IC装备中,实现真空系统抽气速率的精确调节。
技术实现思路
为了克服现有抽速测试工作时间长、依赖操作者经验等难题,本专利技术的目的在于提供一种可精密控制的真空阀门。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括直线步进电机、上阀盖、阀体、伸缩丝杆、阀座、下阀盖及趋近式传感器,其中阀体的上下两端分别安装有上阀盖及下阀盖,所述阀座位于该阀体内;所述直线步进电机安装在上阀盖上,输出端通过伸缩丝杆与所述阀座相连,所述阀座的下方设有安装在下阀盖上、测量阀门开度的趋近式传感器,所述直线步进电机驱动阀座上下移动,进而实现阀门开度的闭环控制。其中:所述趋近式传感器垂直布置于阀座的正下方,并与所述下阀盖密封连接;所述趋近式传感器为电涡流传感器,通过传感器密封胶圈与下阀盖密封连接;所述直线步进电机与上阀盖之间、上阀盖与阀体之间、阀座 ...
【技术保护点】
一种真空阀门,其特征在于:包括直线步进电机(1)、上阀盖(13)、阀体(4)、伸缩丝杆(5)、阀座(7)、下阀盖(10)及趋近式传感器,其中阀体(4)的上下两端分别安装有上阀盖(13)及下阀盖(10),所述阀座(7)位于该阀体(4)内;所述直线步进电机(1)安装在上阀盖(13)上,输出端通过伸缩丝杆(5)与所述阀座(7)相连,所述阀座(7)的下方设有安装在下阀盖(10)上、测量阀门开度的趋近式传感器,所述直线步进电机(1)驱动阀座(7)上下移动,进而实现阀门开度的闭环控制。
【技术特征摘要】
1.一种真空阀门,其特征在于:包括直线步进电机(1)、上阀盖(13)、阀体(4)、伸缩丝杆(5)、阀座(7)、下阀盖(10)及趋近式传感器,其中阀体(4)的上下两端分别安装有上阀盖(13)及下阀盖(10),所述阀座(7)位于该阀体(4)内;所述直线步进电机(1)安装在上阀盖(13)上,输出端通过伸缩丝杆(5)与所述阀座(7)相连,所述阀座(7)的下方设有安装在下阀盖(10)上、测量阀门开度的趋近式传感器,所述直线步进电机(1)驱动阀座(7)上下移动,进而实现阀门开度的闭环...
【专利技术属性】
技术研发人员:王光玉,孔祥玲,毕德龙,李昌龙,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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