本发明专利技术提供了一种限位装置及限位系统，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触；限位装置系统，包括多个限位装置。在本发明专利技术提供的限位装置及限位系统中，能有效减小运动台边界的极限偏移量；且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力，造成结构损坏或电机烧毁。
Limit device and limit system
【技术实现步骤摘要】
限位装置及限位系统
本专利技术涉及限位结构
，尤其涉及一种限位装置及限位系统。
技术介绍
在工件生产过程中，运动台的限位结构需要既能保证运动台正常工作下的水平向X、Y及Rz三自由度的运动行程，又能防止运动台在异常情况下超出正常行程的偏移距离过多。现有技术的限位结构主要由两部分组成，与运动台动子连接的限位柱和与运动台定子连接的限位框。限位柱随着运动台动子在水平方向运动，其X向行程为±X1，Y向行程±Y1,Rz向行程±θ，将Rz行程转换到X、Y方向后分别为±X2，±Y2，即运动台水平向耦合后行程为±X、±Y，也即是限位框与限位柱之间的间隙。正常情况下，运动台在其工作行程内限位框与限位柱不发生接触或碰撞。当发生异常工况，运动台超出正常行程后，限位框与限位柱发生碰撞，此时需要对运动台动子进行减速。如图1至图4，现有技术中，一般在运动台的直线方向上布置两个限位结构。但是这种限位结构存在着多种缺陷：1、运动台非正常工作状态下，例如Rz运动到限位框的极限，此时Rz已超出正常工作行程，但此时运动台仍可以在Y向运动。假设运动台再运动到Y正向的限位框的极限，此时双点化线所示的区域为运动台在异常工况下的边界极限位置。该极限位置相对于初始位置的偏移量为ΔY，不难证明，ΔY>Y，且ΔY-Y满足如下关系：其中，其中，L为运动台的长度，W为运动台的宽度，为运动台运动台运动的偏转角度，ω为运动前的运动台中心到运动台的右上角和运动台中心到限位柱之间的夹角，γ为偏移前限位柱与运动台中心在水平方向上的距离，现有技术的两点限位的方案导致的运动台极限偏移量ΔY较大，使得运动台会超出其空间限制的范围要求；2、现有技术在运动台运动到极限位置时无法探测到限位框是否与限位柱发生碰撞，无法及时切断电机发力，若电机仍在持续发力，可能造成严重后果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种限位装置及限位系统，可以更好地限制运动台非正常工况下的行程或极限位置，并且及时探测到运动台运动到极限位置。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种限位装置，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触。可选的，在所述的限位装置中，所述限位装置还包括套设在所述限位柱中心杆外侧的限位柱缓冲杆。可选的，在所述的限位装置中，还包括固定在所述限位柱缓冲杆上的缓冲套，所述缓冲套通过连接件和所述运动台的定子或动子连接。可选的，在所述的限位装置中，所述传感器、所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及缓冲套依次由内向外同轴设置。可选的，在所述的限位装置中，所述限位柱中心杆、限位柱缓冲杆及缓冲套为一体式结构，所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及所述缓冲套彼此之间留有间隙。可选的，在所述的限位装置中，所述缓冲件为球铰，所述限位柱中心杆的端部插入所述球铰中。可选的，在所述的限位装置中，所述缓冲件为聚氨酯，所述聚氨酯包裹在所述限位柱中心杆的端部。可选的，在所述的限位装置中，所述限位框与所述限位柱中心杆在水平方向上的距离不大于所述运动台的动子相对运动台的定子在水平方向运动时的行程。本专利技术还提供了一种限位系统，包括多个限位装置。可选的，在所述的限位系统，所述限位装置为3个，3个所述限位装置的连线呈等腰三角形分布在运动台上。可选的，在所述的限位系统，所述限位装置为4个，4个所述限位装置的连线呈方形分布在运动台上。在本专利技术提供的限位装置及限位装置系统中，使用多个限位装置，能有效减小运动台边界的极限偏移量，运动台能适应更小的空间范围约束；增加了极限位置的探测功能，及时切断电机发力，避免运动台在极限位置时电机仍在发力，造成结构损坏或电机烧毁。附图说明图1是本专利技术实施例的限位装置的限位框和限位柱中心杆结构示意图；图2是现有技术的限位装置在运动台上的分布图；图3至图4是现有技术的运动台运动到极限位置时限位装置的示意图；图5为本专利技术实施例的限位装置的剖面示意图；图6是本专利技术实施例的限位装置在运动台上的分布图的一实施例；图7是本专利技术实施例和现有技术的运动台运动到极限时限位装置混合的结构示意图；图8是本专利技术实施例的运动台运动前后限位装置移动路程的示意图；图9是本现有技术的运动台运动前后限位装置移动路程的示意图；图10是本专利技术实施例和现有技术的运动台运动到极限位置时限位装置移动路程混合的示意图；图11是本专利技术实施例的限位装置在运动台上的分布图的另一实施例图12是本专利技术实施例的限位柱中心杆与聚氨酯连接的结构示意图；图中：110-运动台、121-限位框、122-限位柱中心杆、123-传感器、124-限位柱缓冲杆、125-缓冲套、126-连接件、127-球铰、128-聚氨酯、129-底座。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。参照图5至图11，本专利技术提供了一种限位装置，包括：与运动台110的动子或定子固定连接的限位框121，与运动台110的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆122，所述限位柱中心杆122位于所述限位框121内的端部上套设有缓冲件，所述缓冲件与限位框121之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆122内的传感器123，所述传感器123与所述限位柱中心杆122的内壁为非接触连接。当运动台110运动到极限位置时，所述限位柱中心杆122通过缓冲件与所述限位框121发生碰撞，使与缓冲件连接的限位柱中心杆122发生变形，当变形后的限位柱中心杆122与所述传感器123接触后，运动台110的电机停止运动。本实施例中，所述限位框121与所述运动台110的定子连接，所述限位柱中心杆122与所述运动台110的动子相连接，并跟随所述运动台110的动子运动。在本实施例中，限位框121与运动台110的定子相连，限位柱中心杆122与动子相连，限位框121静止，限位柱中心杆122运动，当运动台110运动时，带动限位柱中心杆122移动，当限位柱中心杆122与限位框121碰撞时，表明此时，运动台100运动到极限，应该限制运动台110继续运动。在本专利技术的其他实施例中，限位框121也可以和运动台110的动子相连，限位柱中心杆122与定子相连，限位柱中心杆122静止，限位框121运动，当运动台110运动时，带动限位框121移动，当运动台110运动到极限时，限位框121与限位柱中心杆122碰撞，表明此时，运动台110运动到极限，应该限制运动台110继续运动。进一步的，所述限位装置还包括套设在所述限位柱中心杆122外侧的限本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种限位装置，其特征在于，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种限位装置，其特征在于，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触。
2.如权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述限位装置还包括套设在所述限位柱中心杆外侧的限位柱缓冲杆。
3.如权利要求2所述的限位装置，其特征在于，还包括固定在所述限位柱缓冲杆上的缓冲套，所述缓冲套通过连接件和所述运动台的定子或动子连接。
4.如权利要求3所述的限位装置，其特征在于，所述传感器、所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及缓冲套依次由内向外同轴设置。
5.如权利要求3所述的限位装置，其特征在于，所述限位柱中心杆、限位柱缓冲杆及缓冲套为一体式结构，所述限位柱...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄亚庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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