【技术实现步骤摘要】
限位装置及限位系统
本专利技术涉及限位结构
，尤其涉及一种限位装置及限位系统。
技术介绍
在工件生产过程中，运动台的限位结构需要既能保证运动台正常工作下的水平向X、Y及Rz三自由度的运动行程，又能防止运动台在异常情况下超出正常行程的偏移距离过多。现有技术的限位结构主要由两部分组成，与运动台动子连接的限位柱和与运动台定子连接的限位框。限位柱随着运动台动子在水平方向运动，其X向行程为±X1，Y向行程±Y1,Rz向行程±θ，将Rz行程转换到X、Y方向后分别为±X2，±Y2，即运动台水平向耦合后行程为±X、±Y，也即是限位框与限位柱之间的间隙。正常情况下，运动台在其工作行程内限位框与限位柱不发生接触或碰撞。当发生异常工况，运动台超出正常行程后，限位框与限位柱发生碰撞，此时需要对运动台动子进行减速。如图1至图4，现有技术中，一般在运动台的直线方向上布置两个限位结构。但是这种限位结构存在着多种缺陷：1、运动台非正常工作状态下，例如Rz运动到限位框的极限，此时Rz已超出正常工作行程，但此时运动台仍可以在Y向运动。假设运动台再运动到Y...
【技术保护点】
1.一种限位装置，其特征在于，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种限位装置，其特征在于，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触。
2.如权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述限位装置还包括套设在所述限位柱中心杆外侧的限位柱缓冲杆。
3.如权利要求2所述的限位装置，其特征在于，还包括固定在所述限位柱缓冲杆上的缓冲套，所述缓冲套通过连接件和所述运动台的定子或动子连接。
4.如权利要求3所述的限位装置，其特征在于，所述传感器、所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及缓冲套依次由内向外同轴设置。
5.如权利要求3所述的限位装置，其特征在于，所述限位柱中心杆、限位柱缓冲杆及缓冲套为一体式结构，所述限位柱...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄亚庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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