靶材机械抓手制造技术

一种靶材机械抓手，包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。如此易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移。

Target mechanical grab

【技术实现步骤摘要】
靶材机械抓手
本专利技术涉及纳米镀膜
，特别是一种靶材机械抓手。
技术介绍
溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。圆形的靶材安装于一靶材架上，靶材的周向边缘与靶材架之间具有一个比较小的间隙，靶材的直径在15～30mm。现有技术中，靶材的安装及拆卸是通过人的手部去操作的，一方面靶材直径较大，人的手掌难以抓住靶材；另一方面，由于靶材的周向边缘与靶材架之间的间隙较小，人的手指难以伸入到间隙中；再一方面，人的手部直接接触靶材，容易损伤及污染靶材的侧面。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移的靶材机械抓手，以解决上述问题。一种靶材机械抓手，包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。进一步地，所述套筒的中部贯穿设置有第一通孔，套筒的第一通孔的内侧壁上设置有内螺纹，螺杆的外侧壁上设置有外螺纹，螺杆穿过套筒的第一通孔，且螺杆的外螺纹与套筒的内螺纹螺纹连接。进一步地，所述螺杆的第一端连接有操作部。进一步地，所述连接板的中部开设有第二通孔，螺杆的第二端穿过连接板的第二通孔并与一螺母螺纹连接。进一步地，所述螺杆的第二端的周向外侧壁凹陷设置有第一台阶槽，第一台阶槽与连接板抵接。进一步地，所述连杆的第一端开设有第一轴孔，第一连接凸块上开设有第二轴孔，一第一转轴穿过第一轴孔及第二轴孔。进一步地，所述连杆的中部开设有第三轴孔，第二连接凸块上开设有第四轴孔，一第二转轴穿过第三轴孔及第四轴孔。进一步地，所述夹爪的末端且朝向连杆的第一端的一侧凹陷设置有第二台阶槽。与现有技术相比，本专利技术的靶材机械抓手包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。如此易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移。附图说明以下结合附图描述本专利技术的实施例，其中：图1为本专利技术提供的靶材机械抓手的立体示意图。图2为本专利技术提供的靶材机械抓手的侧面剖视图。图3为本专利技术提供的靶材机械抓手的应用示意图。具体实施方式以下基于附图对本专利技术的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本专利技术实施例的说明并不用于限定本专利技术的保护范围。请参考图1及图2，本专利技术提供的靶材机械抓手100包括套筒10、穿过套筒10且与套筒10螺纹连接的螺杆20、与套筒10的一端连接的连接帽30、滑动位于连接帽30中且与螺杆20的一端连接的连接板40、等间隔地设置于连接帽30的周向侧壁上的至少三个延伸块31、至少三个连杆50及与连杆50的末端连接的夹爪60。套筒10的中部贯穿设置有第一通孔，套筒10的第一通孔的内侧壁上设置有内螺纹，螺杆20的外侧壁上设置有外螺纹，螺杆20穿过套筒10的第一通孔，且螺杆20的外螺纹与套筒10的内螺纹螺纹连接。连接帽30的中部开设有圆形的容置腔，连接板40的中部开设有第二通孔。螺杆20的第一端连接有操作部21，供使用者握持操作部21以转动螺杆20。同时对螺杆20起到限位的作用，防止螺杆20从套筒10中脱出。螺杆20的第二端穿过连接板40的第二通孔并与一螺母22螺纹连接。螺杆20的第二端的周向外侧壁凹陷设置有第一台阶槽23，且螺杆20的第二端的外表面设置有外螺纹。第一台阶槽23与连接板40抵接。第一台阶槽23与螺母22分别从两侧对连接板40进行限位，从而使得连接板40与螺杆20固定连接。连接板40远离操作部21的侧面上突出设置有第一连接凸块41，延伸块31远离操作部21的侧面上突出设置有第二连接凸块311。连杆50的第一端与第一连接凸块41转动连接，中部与第二连接凸块311转动连接，第二端与夹爪60垂直连接。本实施方式中，连杆50的第一端开设有第一轴孔，第一连接凸块41上开设有第二轴孔，一第一转轴穿过第一轴孔及第二轴孔。连杆50的中部开设有第三轴孔，第二连接凸块311上开设有第四轴孔，一第二转轴穿过第三轴孔及第四轴孔。夹爪60的末端且朝向连杆50的第一端的一侧凹陷设置有第二台阶槽61。请参考图3，夹爪60用于伸入到靶材300的周向边缘与靶材架200之间的间隙中，且第二台阶槽61与靶材300抵接。螺杆20转动时相对套筒10沿轴向移动，如沿图3中的右侧移动，从而使得连杆50绕第二转轴转动，从而使得三个夹爪60夹紧靶材300，之后整体转动靶材机械抓手100，即可使得靶材300从靶材架200上拆卸下来或将靶材300安装至靶材架200上。与现有技术相比，本专利技术的靶材机械抓手包括套筒10、穿过套筒10且与套筒10螺纹连接的螺杆20、与套筒10的一端连接的连接帽30、滑动位于连接帽30中且与螺杆20的一端连接的连接板40、等间隔地设置于连接帽30的周向侧壁上的至少三个延伸块31、至少三个连杆50及与连杆50的末端连接的夹爪60；连接板40远离操作部21的侧面上突出设置有第一连接凸块41，延伸块31远离操作部21的侧面上突出设置有第二连接凸块311，连杆50的第一端与第一连接凸块41转动连接，中部与第二连接凸块311转动连接，第二端与夹爪60垂直连接。如此易于抓取靶材、便于靶材的安装、拆卸及转移。以上仅为本专利技术的较佳实施例，并不用于局限本专利技术的保护范围，任何在本专利技术精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本专利技术的权利要求范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材机械抓手，其特征在于：包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材机械抓手，其特征在于：包括套筒、穿过套筒且与套筒螺纹连接的螺杆、与套筒的一端连接的连接帽、滑动位于连接帽中且与螺杆的一端连接的连接板、等间隔地设置于连接帽的周向侧壁上的至少三个延伸块、至少三个连杆及与连杆的末端连接的夹爪；连接板远离操作部的侧面上突出设置有第一连接凸块，延伸块远离操作部的侧面上突出设置有第二连接凸块，连杆的第一端与第一连接凸块转动连接，中部与第二连接凸块转动连接，第二端与夹爪垂直连接。


2.如权利要求1所述的靶材机械抓手，其特征在于：所述套筒的中部贯穿设置有第一通孔，套筒的第一通孔的内侧壁上设置有内螺纹，螺杆的外侧壁上设置有外螺纹，螺杆穿过套筒的第一通孔，且螺杆的外螺纹与套筒的内螺纹螺纹连接。


3.如权利要求1所述的靶材机械抓手，其特征在于：所述螺杆的第一端连接有操作部。
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【专利技术属性】
技术研发人员：毕凯，
申请(专利权)人：嘉兴岱源真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33