【技术实现步骤摘要】
游星轮以及抛光机
本技术涉及机械加工
，具体地，涉及一种游星轮以及抛光机。
技术介绍
双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。游星轮作为双面抛光机的夹具，常用的材质有金属和非金属两种，金属材质的强度高、非金属材质的强度低。在对厚度较薄产品(如较薄的硅衬底)进行抛光时，如果选用非金属材质的游星轮，游星轮强度可能难以满足抛光工艺，如果选用金属游星轮，在加工过程中，游星轮会被抛光介质(抛光液)腐蚀而产生金属离子或游星轮与抛光垫摩擦而产生金属杂质，金属离子或金属杂质容易吸附在产品表面，难以清洗，对产品造成金属污染，从而产生大量的次品。
技术实现思路
本技术至少部分解决现有的金属材质的游星轮对抛光产品有所伤害，从而造成抛光产品的良品率低的问题，提供了一种能避免对被抛光产品造成金属污染，从而提高了被抛光产品的良品率的游星轮以及抛光机。解决本技术技术问题所采用的技术方案是一种游星轮，包括：游星轮本体01、保护结构，所述游星轮本体0...
【技术保护点】
1.一种游星轮，其特征在于，包括：游星轮本体(01)、保护结构，所述游星轮本体(01)上设有多个通孔(13)，所述保护结构覆盖在所述游星轮本体(01)的端面和所述通孔(13)的侧壁上，且所述保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体(01)的表面形状相同，其中，所述游星轮本体(01)为金属材质，所述保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体(01)对所述抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。/n
【技术特征摘要】
1.一种游星轮，其特征在于，包括：游星轮本体(01)、保护结构，所述游星轮本体(01)上设有多个通孔(13)，所述保护结构覆盖在所述游星轮本体(01)的端面和所述通孔(13)的侧壁上，且所述保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体(01)的表面形状相同，其中，所述游星轮本体(01)为金属材质，所述保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体(01)对所述抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。
2.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于，所述保护结构包括第一保护部(21)、第二保护部(22)；
所述第一保护部(21)包括第一保护层(211)以及设置在所述第一保护层(211)上的多个第一保护套筒(212)；
所述第二保护部(22)包括第二保护层(221)以及设置在所述第二保护层(221)上的与所述通孔(13)一一对应的多个第二保护套筒(222)；
每个所述第一保护套筒(212)卡接在一所述通孔(13)内，且所述第一保护层(211)覆盖在所述游星轮本体(01)的第一端面上,所述第一保护套筒(212)覆盖在所述通孔(13)的侧壁上；
每个所述第二保护套筒(222)卡接在一所述通孔(13)内，且所述第二保护层(221)覆盖在所述游星轮本体(01)的第二端面上，所述第二保护套筒(222)覆盖在所述通孔(13)的侧壁上。
3.根据权利要求2所述的游星轮，其特征在于，所述第一保护套筒(212)与所述通孔(13)一一对应；所述第二保护套筒(222)与所述通孔(...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜宏，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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