用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法技术方案

本发明专利技术实施例涉及用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法。本发明专利技术实施例涉及一种用于半导体制造设施的传输系统，其包含：轨道，用于载运车辆；传感器，其安装于所述轨道上；控制器；及配电盘。所述传感器经布置以确定区，并响应于所述区中的车辆数量而发送数量信息。所述控制器经布置以根据所述数量信息来发送输出信号。所述配电盘经布置以根据所述输出信号来调整电流，其中将所述电流输出到沿所述轨道延伸的电缆。

Transmission systems and associated removable containers and methods for semiconductor manufacturing facilities

【技术实现步骤摘要】
用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法
本专利技术实施例是有关用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法。
技术介绍
自动化材料处理系统(AMHS)已广泛用于半导体制造设施(“FABS”)中，以在用于芯片制造中的各种处理机器(“工具”)之间自动处理及传输成群或大量晶片。典型FAB可包含具有多个工艺区的一或多个层面，所述工艺区包含由AMHS互连的处理工具及晶片分级设备。各工艺区可包含晶片存放台，其包含用于在工艺期间暂时保存及分级多个晶片载体的多个储格。晶片载体可包含可保存多个200mm(8英寸)晶片的标准机械接口(SMIF)盒或可保存更大300mm(12英寸)晶片的前开式晶片盒(FOUP)。存放台一般包含单立柱型机器人升降机或起重机，其具有足以从储格一次一个地提升、插入及检索单一晶片载体的承重能力。存放台保存多个SMIF盒或FOUP以准备将SMIF或FOUP传输到处理工具的装载端口。半导体FAB可包含众多类型的自动及手动车辆用于在工艺期间在整个FAB中移动及传输晶片载体。此些可包含(例如)自动导航车(AGV)、人为引导车(PGV)、轨道引导车(RGV)、空中穿梭车(OHS)及起重运输车(OHT)。OHT系统自动移动OHT“车辆”，其将晶片载体(例如保存多个晶片的SMIF盒或FOUP)从处理或工作工具或存放台载运及传输到FAB中的另一工具或其它设备的装载端口。OHT系统可用于在各工艺区内(工艺区内)或工艺区之间(工艺区间)传输车辆。OHT系统也将空车(即，无晶片载体的车辆)移动到工具装载端口或其它设备，以接收及去除可含有晶片的空载或满载SMIF盒或FOUP以在其它工具中进行进一步传输及/或处理。
技术实现思路
根据本专利技术的一实施例，一种用于半导体制造设施的传输系统包括：轨道，其用于载运车辆；传感器，其安装于所述轨道上，其中所述传感器确定区且响应于所述区中的车辆数量而发送数量信息；控制器，其经布置以根据所述数量信息来发送输出信号；及配电盘，其经布置以根据所述输出信号来调整电流，其中将所述电流输出到沿所述轨道延伸的电缆。根据本专利技术的一实施例，一种用于半导体制造设施的可移动容器包括：驱动机构，其经布置以向所述可移动容器提供动量以在轨道上产生位移；及备用电源机构，其经布置以至少向所述驱动机构提供备用电源。根据本专利技术的一实施例，一种用于半导体制造设施的传输方法包括：确定轨道上的区；响应于所述区中的车辆数量而发送数量信息；根据所述数量信息来发送输出信号；及根据所述输出信号来调整电流；将所述输出电流输出到沿所述轨道延伸的电缆。附图说明从结合附图阅读的以下详细描述最佳地理解本公开的方面。应注意，根据惯例，各种构件未按比例绘制。事实上，为使讨论清楚，可任意增大或减小各种构件的尺寸。图1为绘示根据本公开的一实施例的传输系统的图式。图2A到2B为绘示根据本公开的一实施例的传输系统的轨道、配电盘及沿轨道延伸的电缆的图式。图3A到3C为绘示根据本公开的另一实施例的传输系统的图式。图4为绘示根据本公开的一实施例的可移动容器的图式。图5A及5B为绘示根据本公开的一实施例的将磁场转换成电力的拾波线圈的图式。图6为绘示根据本公开的一实施例的传输方法的流程图。具体实施方式以下公开提供用于实施本公开的不同特征的众多不同实施例或实例。下文将描述组件及布置的特定实例以简化本公开。当然，此些仅为实例且不意在限制。例如，在以下描述中，使第一构件形成于第二构件上方或第二构件上可包含其中形成直接接触的所述第一构件及所述第二构件的实施例，且还可包含其中额外构件可形成于所述第一构件与所述第二构件之间，使得所述第一构件及所述第二构件可不直接接触的实施例。另外，本公开可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复是为了简单及清楚，且其本身不指示所讨论的各种实施例及/或配置之间的关系。此外，为便于描述，空间相对术语(例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”及其类似者)在本文中可用于描述元件或构件与另一(些)元件或构件的关系，如图中所绘示。空间相对术语除涵盖图中所描绘的定向之外，还打算涵盖装置在使用或操作中的不同定向。可依其它方式定向设备(旋转90度或依其它定向)且也可因此解释本文中所使用的空间相对描述词。尽管阐述本公开的广泛范围的数值范围及参数是近似值，但应尽可能精确地报告具体实例中所阐述的数值。然而，任何数值固有地含有由各自试验测量中所见的标准差必然所致的特定误差。此外，如本文中所使用，术语“约”一般意指在给定值或范围的10％、5％、1％或0.5％内。替代地，如一般技术者所考量，术语“约”意指在平均值的可接受标准差内。除在操作/工作实例中之外，或除非另有明确说明，否则本文中所公开的所有数值范围、数量、值及百分比(例如材料数量、持续时间、温度、操作条件、数量比及其类似者的数值范围、数量、值及百分比)应被理解为在所有例项中由术语“约”修饰。因此，除非有相反指示，否则本公开及附随权利要求书中所阐述的数值参数是可根据期望变动的近似值。至少，各数值参数至少应根据所报告的有效数字的位数且通过应用普通舍入技术来解释。范围在本文中可表示为从一端点到另一端点或介于两个端点之间。除非另有说明，否则本文中所公开的所有范围包含端点。自动化材料处理系统(AMHS)通常包含起重运输车(OHT)系统、存放台系统及其它相关设施及设备。OHT系统包含非接触电源供应装置，其包含轨道、沿轨道延伸的感应电缆及配电盘。配电盘将商用电源供应转化成较高频率，且将电力输出到感应电缆。OHT系统占用AMHS的总电力消耗的约50％。即使AMHS闲置，OHT系统仍不断消耗电力。图1为绘示根据本公开的一实施例的半导体制造设施的传输系统100的图式。在此实施例中，传输系统100为应用于半导体制造设施中的AMHS的系统。例如，传输系统100可为OHT系统。应注意，传输系统100可为应用于半导体制造设施中的众多层面的一个的AMHS的一部分。传输系统100包含由两个侧110_1及110_2组成的轨道110、传感器120、控制器130及配电盘140。轨道110载运车辆，且车辆用于传输产品(例如半导体晶片)。如上文所提及，传输系统100为AMHS的一部分。因此，图1中所展示的轨道110可被看作AMHS的轨道的区段。应注意，在另一实施例中，轨道110为单轨，且轨道110的类型不应受本公开限制。传感器120安装于轨道110上，且传感器120确定轨道110的区。例如，区由传感器120的感测范围确定，且大体上等于轨道110的长度。就此些配置来说，传感器120可安装于轨道110的中间以促进感测。然而，此并非本公开的限制。将在以下段落中描述替代设计。传感器120感测区中(即，轨道110上)的车辆数量，且响应于区中的车辆数量而将数量信息QI发送到控制器130。在此实施例中，传感器120由红外传感器、触控传感器、光导或摄影机等等实施，且传感器120的实施方案不应受本公开限制。...

【技术保护点】
1.一种用于半导体制造设施的传输系统，其包括：/n轨道，用于载运车辆；/n传感器，其安装于所述轨道上，其中所述传感器确定区，且响应于所述区中的车辆数量而发送数量信息；/n控制器，其经布置以根据所述数量信息来发送输出信号；及/n配电盘，其经布置以根据所述输出信号来调整电流，其中将所述电流输出到沿所述轨道延伸的电缆。/n

【技术特征摘要】
20180627 US 62/690,631;20190422 US 16/390,4501.一种用于半导体制造设施的传输系统，其包括：
轨道，用于载运车辆；...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎辅宪，董启峰，沈香吟，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71