一种传送机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括驱动机构；第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；滑轨，设于所述第四固定板顶部；第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。本实用新型专利技术提供了一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。

A transmission mechanism

【技术实现步骤摘要】
一种传送机构
本技术涉及半导体生产设备
，尤其涉及一种半导体自动化设备中用于物料传递的传送机构。
技术介绍
半导体自动化设备中，传送机构主要起着传递半导体半成品的等作用。原有传送机构由气缸以及送料爪等组成，半导体半成品置于送料爪上，并由气缸推动实现传递。然而，由于气缸与送料爪直接连接且整体悬空设置，在气缸启动或者停止的瞬间以及传送过程中，传动机构容易发生晃动，半导体半成品容易从传送机构上跌落，造成其损坏。
技术实现思路
本技术为克服现有技术存在的问题，提供一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。本技术采用的技术方案是：一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括驱动机构，设于工作台上；第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，其特征在于：/n驱动机构，设于工作台上；/n第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；/n螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；/n第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；/n第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；/n滑轨，设于所述第四固定板顶部；/n第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；/n连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及/n送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；/n其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，其特征在于：
驱动机构，设于工作台上；
第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；
螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；
第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；
第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；
滑轨，设于所述第四固定板顶部；
第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；
连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及
送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；
其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。


2.根据权利要求1所述的一种传送机构，其特征在于：所述驱动机构包括
第一固定板，与所述第二固定板平行，垂直设于工作台上；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明华，邹学彬，
申请(专利权)人：成都尚明工业有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51