加工设备制造技术

提供加工设备，在规定的作业区域中配置有多个加工装置的情况下确保加工装置的维护检查用的空间。该加工设备包含加工装置，该加工装置具有：保持构件，其保持被加工物；加工构件，其对保持构件保持的被加工物实施加工；以及壳体，其收纳保持构件和加工构件，其中，该加工设备具有：引导部，其设置于地面以使加工装置在加工位置与维护检查位置之间滑动而移动，加工位置是在通过加工构件对被加工物进行加工时供加工装置定位的位置，维护检查位置远离加工位置，是在对加工装置进行维护检查时供加工装置定位的位置；移动机构，其设置于加工装置，在加工装置滑动而移动的情况下，其一部分与引导部接触；以及固定机构，其用于将加工装置相对于地面固定。

【技术实现步骤摘要】
加工设备
本专利技术涉及设置有加工装置的加工设备。
技术介绍
作为加工装置的一例，已知有利用环状的切削刀具对半导体晶片、陶瓷基板、树脂封装基板等板状的被加工物进行切削加工的切削装置。一边使高速旋转的切削刀具切入至被加工物，一边使切削刀具和被加工物相对地移动，从而沿着该移动的路径对被加工物进行切削。通常使用一个加工装置对一个被加工物进行加工，但为了提高作业效率，有时使用多个加工装置在时间上并列地对多个被加工物进行加工。在该情况下，在工厂等的洁净室内的规定的作业区域中，例如多个加工装置并排设置成一列。为了能够将更多的加工装置设置于规定的作业区域，正在进行使加工装置的设置面积(占用空间)缩小的开发。但是，由于需要定期地维护加工装置(例如专利文献1)，因此即使缩小加工装置的设置面积，在加工装置的周围也需要用于供作业者对加工装置进行维护检查的空间。专利文献1：日本特开2015-98063号公报为了在洁净室内的规定的作业区域中设置多个加工装置的情况下确保维护检查用的空间，需要使加工装置彼此分开而设置。例如在两台加工装置之间设置700mm左右的间隔作为作业员进行作业所需的空间。但是，洁净室的维持成本非常高，因此在两台加工装置之间设置约700mm的间隔时，例如与设置搬入搬出装置时所需的200mm左右的间隔的情况相比，设置于洁净室内的加工装置的数量变少。其结果是，每一台加工装置的洁净室的维持成本增高。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于，当在规定的作业区域中配置有多个加工装置的情况下，确保加工装置的维护检查用的空间。根据本专利技术的一个方式，提供加工设备，其包含加工装置，该加工装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；加工构件，其对该保持构件所保持的该被加工物实施加工；以及壳体，其对该保持构件和该加工构件进行收纳，其中，该加工设备具有：引导部，其设置于地面以使得该加工装置在加工位置与维护检查位置之间滑动而移动，其中，该加工位置是在通过该加工构件对该被加工物进行加工时供该加工装置定位的位置，该维护检查位置远离该加工位置，是在对该加工装置进行维护检查时供该加工装置定位的位置；移动机构，其设置于该加工装置，在该加工装置滑动而移动的情况下，该移动机构的一部分与该引导部接触；以及固定机构，其用于将该加工装置相对于该地面固定。优选该引导部沿着从该加工位置朝向该维护检查位置的方向从该地面的表面设置到比该地面的该表面靠下方的规定的深度位置，该移动机构具有车轮。另外，优选该加工装置在该壳体的正面还具有对该加工装置进行操作的操作面板，该引导部沿着从该加工装置的与该正面相反的一侧的背面朝向该正面的方向而配置。本专利技术的加工设备具有引导部和移动机构，因此能够使加工装置从加工位置滑动而移动至维护检查位置。在所移动的加工装置的侧面和背面能够形成用于供作业者进行维护检查的空间。因此，即使在洁净室内设置多个加工装置，也能够使加工装置彼此的间隔缩小到加工装置彼此不接触的程度，并且能够确保加工装置的维护检查用的空间。附图说明图1是第1实施方式的加工设备的立体图。图2是示出加工装置的门部的内部的立体图。图3是图1的区域C的放大图。图4是第1实施方式的洁净室的俯视图。图5是第2实施方式的洁净室的俯视图。图6是比较例的洁净室的俯视图。标号说明2：加工设备；4a、4b：加工装置；6：地面；8：引导部；10a、10b：下部壳体；12a、12b：上部壳体；12：壳体；14a、14b：操作面板；16a、16b：门部；18a、18b：移动机构；20：车轮；22a、22b：固定机构；24a、24b：正面；26a、26b：背面；28a、28b：侧面；30：工作台罩；31：被加工物；32：波纹状罩；33：划片带(粘接带)；34：卡盘工作台(保持构件)；34a：保持面；34b：框体；35：框架；36：夹具；37：被加工物单元；38：开口；40：加工构件；42：主轴壳体；44：切削刀具；46：切削水提供喷嘴；48a、48b：警告灯；50：支承框架；56x、56y、56z：脚部；52：橡胶垫脚；54：罩部；60：洁净室；62：侧面；64：前表面；66：后表面。具体实施方式参照附图，对本专利技术的一个方式的实施方式进行说明。图1是第1实施方式的加工设备2的立体图。图1所示的加工设备2包含配置在洁净室内的规定的作业区域的地面6上的加工装置4a(4a1和4a2)以及加工装置4b(4b1)。图2是示出加工装置4a的门部16a的内部的立体图。图3是图1的区域C的放大图。图1所示的加工设备2具有一对引导部8，该一对引导部8设置于洁净室内的规定的作业区域的地面6上。一对引导部8在规定的方向(图1的引导宽度方向D)上隔开间隔而设置，在该引导部8上以能够滑动的方式设置有加工装置4b。本实施方式的引导部8具有从地面6的表面设置到比该表面靠下方的规定的深度位置的槽部。另外，引导部8还具有与槽部的引导宽度方向D的两侧面以及槽部的底部接触的金属的板状的轨道。设置于槽部的两侧面的板状的轨道也设置于比地面6的表面靠下方的位置。这样，按照不比地面6突出的方式设置引导部8，从而能够防止作业者在洁净室内被引导部8绊倒。另外，即使在引导部8上暂放物体，也不会使物体和引导部8损伤。在加工装置4b配设于与一对引导部8的长度方向(图1的引导长度方向E)的一端相当的位置的情况下，在与该长度方向垂直的规定的方向上，在加工装置4b的两边设置有加工装置4a。另外，在加工装置4a的下方未设置引导部8，加工装置4a相对于地面6固定。在图1中，用点划线表示位于引导长度方向E的一端的加工装置4b。在本实施方式中，当通过多个加工装置4a和4b在时间上并列地对多个被加工物31进行加工时，将加工装置4b定位于引导长度方向E的一端而将多个加工装置4a和4b沿着引导宽度方向D排列配置成一列。在本实施方式中，当将加工装置4b定位于引导长度方向E的一端而将加工装置4b和加工装置4a沿着引导宽度方向D配置成一列时，称作该加工装置4b定位于加工位置PA。与此相对，当对加工装置4a和4b进行维护检查时，使加工装置4b滑动至与引导长度方向E的一端相反的一侧的另一端。在图1中，用实线表示设置于维护检查位置PB的加工装置4b。在本实施方式中，当加工装置4b配置在引导长度方向E的另一端时，称作加工装置4b定位于维护检查位置PB。加工设备2包含配置在洁净室内的规定的作业区域的地面6上的多个加工装置4a和4b。在图1中，示出了两台加工装置4a(4a1和4a2)以及一台加工装置4b(4b1)，但第1实施方式的加工设备2包含共计九台的加工装置4a(4a1、4a2、4a3、4a4、4a5)和4b(4b1、4b2、4b3、4b4)(参照图4)。另外，加工设备2所具有的加工装置4a和4b的合计台数不限于九台。加工设备2可以包含合计两台至八台的加工装置4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工设备，其包含加工装置，该加工装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；加工构件，其对该保持构件所保持的该被加工物实施加工；以及壳体，其对该保持构件和该加工构件进行收纳，/n该加工设备的特征在于，具有：/n引导部，其设置于地面以使得该加工装置在加工位置与维护检查位置之间滑动而移动，其中，该加工位置是在通过该加工构件对该被加工物进行加工时供该加工装置定位的位置，该维护检查位置远离该加工位置，是在对该加工装置进行维护检查时供该加工装置定位的位置；/n移动机构，其设置于该加工装置，在该加工装置滑动而移动的情况下，该移动机构的一部分与该引导部接触；以及/n固定机构，其用于将该加工装置相对于该地面固定。/n

【技术特征摘要】
20180620 JP 2018-1171341.一种加工设备，其包含加工装置，该加工装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；加工构件，其对该保持构件所保持的该被加工物实施加工；以及壳体，其对该保持构件和该加工构件进行收纳，
该加工设备的特征在于，具有：
引导部，其设置于地面以使得该加工装置在加工位置与维护检查位置之间滑动而移动，其中，该加工位置是在通过该加工构件对该被加工物进行加工时供该加工装置定位的位置，该维护检查位置远离该加工位置，是在对该加工装置进行维护检查时供该加工装置定位的位置；
移动机构，其设...

【专利技术属性】
技术研发人员：茅聪，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP