【技术实现步骤摘要】
方形探针卡专用卡盘结构
本技术涉及卡盘定位辅助设备
，尤其是一种方形探针卡专用卡盘结构。
技术介绍
探针卡(probecard)是晶圆测试(wafertest)中被测芯片(chip)和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫(pad)或凸块(bump)直接接触，导出芯片讯号。再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要。探针卡因为每根针脚高度会有些差异,对其安装要求和安装精度较高，现有技术中，通常利用专用设备对其进行装夹固定，但是其设备配备的工装只能用于装夹圆形的探针卡，其使用具有一定的局限性，设备的利用率极低。
技术实现思路
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的方形探针卡专用卡盘结构，从而可以在同一设备上即可装夹方形探针卡，又可装夹圆形探针卡，大大提高设备的利用率，使用灵活可靠。本技术...
【技术保护点】
1.一种方形探针卡专用卡盘结构，其特征在于：包括卡盘(1)，所述卡盘(1)的圆周方向均匀间隔开有多个沉孔(2)，所述卡盘(1)的中心位置开有一长圆孔(3)，所述长圆孔(3)的前后两端面为直面，左右两端面为圆弧面，两个直面的内侧中间部分分别向内延伸有长条形结构的定位挡板(12)，两个定位挡板(12)上方同时放置一方形探针卡(9)；位于长圆孔(3)两端外部的卡盘(1)上对称安装有夹手(7)，所述夹手(7)将方形探针卡(9)夹住，所述夹手(7)的左右两端还安装有定位块(4)，所述定位块(4)的上部通过定位销(6)与夹手(7)锁定。/n
【技术特征摘要】
1.一种方形探针卡专用卡盘结构，其特征在于：包括卡盘(1)，所述卡盘(1)的圆周方向均匀间隔开有多个沉孔(2)，所述卡盘(1)的中心位置开有一长圆孔(3)，所述长圆孔(3)的前后两端面为直面，左右两端面为圆弧面，两个直面的内侧中间部分分别向内延伸有长条形结构的定位挡板(12)，两个定位挡板(12)上方同时放置一方形探针卡(9)；位于长圆孔(3)两端外部的卡盘(1)上对称安装有夹手(7)，所述夹手(7)将方形探针卡(9)夹住，所述夹手(7)的左右两端还安装有定位块(4)，所述定位块(4)的上部通过定位销(6)与夹手(7)锁定。
2.如权利要求1所述的方形探针卡专用卡盘结构，其特征在于：所述卡盘(1)成薄型圆盘式结构。
3.如权利要求1所述的方形探针卡专用卡盘结构，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李学涛，
申请(专利权)人：无锡市华宇光微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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