推片装置制造方法及图纸

该实用新型专利技术涉及一种推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。

【技术实现步骤摘要】
推片装置
本技术涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种推片装置。
技术介绍
在晶圆生产过程中，由于设备生产、工艺流程以及运输保存等的需要，经常需要将晶圆片从一个晶圆盒转入到另一个晶圆盒。在转入过程中，通常使用真空吸笔将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒，但是这种作业为纯手工作业，存在掉片和刮伤晶圆的风险，且效率极低，因此，现有技术中，还有一种推杆的方法，将一个晶圆盒内的晶圆推入至另一晶圆盒，从而实现高效的晶圆片的盒间转移。然而，采用的推杆的方法时，需要将两个晶圆盒对接，而在对接过程出现谬误，就会导致一个晶圆盒内放置的所有晶圆都被推出、发生毁损，严重影响晶圆加工的良率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种推片装置，能够增大晶圆加工的良率。为解决上述技术问题，本技术提供了一种推片装置，包括：晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。可选的，所述凸块的数目为两个，所述限位件的数目也为两个，且一个凸块对应连接至一个限位件。可选的，两个凸块的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。可选的，两个限位件的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。可选的，还包括驱动件，连接至所述推片单元，用于驱动所述推片单元。可选的，还包括推杆手柄，连接至所述推片单元，用于供用户手动驱动所述推片单元。可选的，所述限位件和所述凸块一体化连接，且所述限位件和凸块所组成的一体化结构能够绕一旋转轴旋转，所述旋转轴过所述一体化结构，使所述限位件外露于所述晶圆盒放置板的体积发生变化。可选的，还包括：限位导轨，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面，与晶圆盒的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圆盒放置板上表面的晶圆盒，使晶圆盒被放置至预设位置。上述推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。附图说明图1为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的剖面示意图。图2为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大动态示意图。图3为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的立体示意图。图4为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的侧视示意图。图5为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种推片装置进一步详细说明。请参阅图1至图5，其中图1为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的剖面示意图，图2为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大动态示意图，图3为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的立体示意图，图4为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的侧视示意图，图5为本技术的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大示意图。在该具体实施方式中，所述推片装置包括：晶圆盒放置板100，用于放置待进行推片的晶圆盒101；推片单元102，安装于所述晶圆盒放置板100，能够相对于晶圆盒101发生水平方向的运动，包括推杆1021，所述推杆1021垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板100上方，能够伸入晶圆盒101，以推动晶圆盒101内放置的晶圆104，还包括锁块301，位于所述晶圆盒放置板100下方；锁定单元105，设置于所述晶圆盒放置板100，包括：凸块201，突出设置于所述晶圆盒放置板100上表面，用于作为晶圆盒101的放置位置标记；限位件302，连接至所述凸块201，穿过所述晶圆盒放置板100，并突出于所述晶圆盒放置板100的下表面，与所述锁块301相接触，对所述锁块301进行限位，从而限位所述推片单元102的水平位置；所述凸块201上方放置有晶圆盒时，所述限位件302相对于所述晶圆盒放置板100提起，所述锁块脱离限位。在该具体实施方式中，所述推片装置具有锁定单元105，对推片单元102起到锁定作用。在晶圆盒101未放置到凸块201上方时，推片单元102被锁定单元105的限位件302锁定，无法移动以推动晶圆盒101内放置的晶圆104，不会造成碎片。进一步的，锁定单元105设置有两个凸块201，只有当两个晶圆盒101都放置到对应的位置，设置在两个凸块201上方时，推片单元102才可以完全脱离锁定单元105对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒101内放置的晶圆104推出至另一个晶圆盒101，从而防止在将晶圆104从一个晶圆盒101转移到另一个晶圆盒101内时发生晶圆104的破损，提高晶圆104加工的良率。在一种具体实施方式中，所述晶圆盒放置板100的长度应当足够放置两个晶圆盒101，以使得在需要通过所述推片装置将一个晶圆盒101内的晶圆104推入到另一个晶圆盒101内时，两个晶圆盒101都可以放置到所述晶圆盒放置板100上，以具有同样的水平高度。请参阅图1，两个晶圆盒101都放置在所述晶圆盒放置板100的上表面，且完全对齐。在一种具体实施方式中，所述推杆1021在竖直方向的长度足够，与晶圆盒的高度相匹配，能够在一次推动的过程中能够将晶圆盒101内放置的所有晶圆104都推出。在一种具体实施方式中，所述锁块301和推杆1021通过连接杆相连接，且所述锁块301与推杆1021具有同样的运动状态，即推杆1021水平运动时，锁块301也水平运动，推杆1021静止时，锁块301也静止。通过对锁块301进行限位，就能够实现对所述推杆1021的限位。在一种具体实施方式中，所述推片装置还包括驱动件，所述驱动件并未在图中示出。所述驱动件的驱动轴连接至所述推片单元102，用于驱动所述推片单元102，使所述推片单元102发生水平方向的运动。在一种具体实施方式中，所述推片装置处于工作状态下时，所述驱动件持续推动所述推片单元102。在所述锁块301被限位时，即使有驱动件的驱动作用，推片单元102也无法相对于所述晶圆盒放置板100发生水平方向的位移。只有锁块301被解除限位时，所述推片单元102才可以在驱动件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种推片装置，其特征在于，包括：/n晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；/n推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；/n锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：/n凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；/n限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；/n所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。/n

【技术特征摘要】
1.一种推片装置，其特征在于，包括：
晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；
推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；
锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：
凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；
限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；
所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。


2.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，所述凸块的数目为两个，所述限位件的数目也为两个，且一个凸块对应连接至一个限位件。


3.根据权利要求2所述的推片装置，其特征在于，两个凸块的连线平...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈明，曹佳慧，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31