【技术实现步骤摘要】
一种夹取晶圆盒的机械手装置
本技术涉及物料自动输送设备
,具体涉及一种夹取晶圆盒的机械手装置。
技术介绍
晶圆盒是存放半导体晶圆的设备,在实际生产中,晶圆不能用手直接触碰,这会对晶圆内部造成静电损伤,无法弥补,直接报废掉,需要有防静电设备进行物料转移,尽量避免人工手动移料。
技术实现思路
本技术目的是:针对上述
技术介绍
提及的问题,提供一种能够便捷抓取晶圆盒的机械手装置,自动化程度高,提高了晶圆盒的输送效率,降低了安全风险。为解决上述问题采取的技术方案是:一种夹取晶圆盒的机械手装置,包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件,两所述夹持臂呈板状,将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固,并由锁紧块将其与旋转杆固连,两所述旋转杆另一端与所述旋转制动组件配合实现同步反向转动,所述旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座,所述前轴承配合在所述前轴座内,后轴承配合在后轴座内,所述外壳内固定设置有顶伸气缸,其顶杆固连有倾斜块,所述倾斜块中部设置有U形孔,所述U形孔与所述旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动,所述传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件,所述Z轴滑移组件包括升降杆、伺服电机带动的丝杆副、滑块滑轨组件,所述升降杆上端设有与所述旋转制动组件外壳固连的法兰,下端固连有滑块,所述滑块与竖直固定的滑轨配合限位滑动,所述伺服电机通过变速器、联轴器配合实现对丝杆副的传动,所述滑块与所述丝杆副的活动块固连,< ...
【技术保护点】
1.一种夹取晶圆盒的机械手装置,包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件,其特征在于:/n两所述夹持臂呈板状,将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固,并由锁紧块将其与旋转杆固连,两所述旋转杆另一端与所述旋转制动组件配合实现同步反向转动,/n所述旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座,所述前轴承配合在所述前轴座内,后轴承配合在后轴座内,所述外壳内固定设置有顶伸气缸,其顶杆固连有倾斜块,所述倾斜块中部设置有U形孔,所述U形孔与所述旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动,/n所述传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件,/n所述Z轴滑移组件包括升降杆、伺服电机带动的丝杆副、滑块滑轨组件,所述升降杆上端设有与所述旋转制动组件外壳固连的法兰,下端固连有滑块,所述滑块与竖直固定的滑轨配合限位滑动,所述伺服电机通过变速器、联轴器配合实现对丝杆副的传动,所述滑块与所述丝杆副的活动块固连。/n
【技术特征摘要】
1.一种夹取晶圆盒的机械手装置,包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件,其特征在于:
两所述夹持臂呈板状,将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固,并由锁紧块将其与旋转杆固连,两所述旋转杆另一端与所述旋转制动组件配合实现同步反向转动,
所述旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座,所述前轴承配合在所述前轴座内,后轴承配合在后轴座内,所述外壳内固定设置有顶伸气缸,其顶杆固连有倾斜块,所述倾斜块中部设置有U形孔,所述U形孔与所述旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动,
所述传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件,
所述Z轴滑移组件包括升降杆、伺服电机带动的丝杆副、滑块滑轨组件,所述升降杆上端设有与所述旋转制动组件外壳固连的法兰,下端固连有滑块,所述滑块与竖直固定的滑轨配合限位滑动,所述伺服电机通...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨仕品,
申请(专利权)人:昆山市智程自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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