一种立式旋转冲洗甩干机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座，所述安装底座的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆，且安装杆的内壁通过螺栓连接有滑动杆，所述滑动杆的外壁套接有滑动块，且滑动块的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体，所述清洗箱体的顶部通过铰链连接有密封盖。本实用新型专利技术中，通过设置有电动机、转动轴、甩干桶、旋转底座，将物件放置在甩干桶中，控制器控制进水管处电磁阀门开启，进水管向清洗箱体内部注水，同时电动机通过皮带带动转动轴旋转，同时可对物件进行冲洗，同时在甩干桶的底部安装有旋转底座，增大了甩干桶的底部接触面积，提高了甩干时的稳定性，避免了甩干桶晃动幅度过大，提高了装置的使用寿命。

A vertical rotary washing and drying machine

【技术实现步骤摘要】
一种立式旋转冲洗甩干机
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种立式旋转冲洗甩干机。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。半导体制造用旋转冲洗甩干机由于缺少相应的减震结构，导致旋转冲洗甩干机在工作时会产生震动，剧烈的震动会对旋转冲洗甩干机内部的结构以及旋转冲洗甩干机内存放的半导体元件产生损伤，影响旋转冲洗甩干机的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种立式旋转冲洗甩干机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座，所述安装底座的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆，且安装杆的内壁通过螺栓连接有滑动杆，所述滑动杆的外壁套接有滑动块，且滑动块的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体，所述清洗箱体的顶部通过铰链连接有密封盖，且密封盖的内壁通过螺栓连接有喷水管架，所述喷水管架的顶部焊接有进水管，且进水管与外部水源通过卡套连接，所述清洗箱体的外壁通过螺栓连接有电动机，所述密封盖的顶部一侧通过螺栓连接有控制器，所述密封盖的底部通过螺丝连接有密封橡胶圈。优选的，所述清洗箱体的外壁通过螺栓连接有搭扣锁，且密封盖与清洗箱体通过搭扣锁固定连接。优选的，所述清洗箱体的底部一侧焊接有出水管，且进水管与出水管的外壁均通过螺纹连接有电磁阀门。优选的，所述清洗箱体的内壁底部通过螺栓连接有旋转底座，且旋转底座的顶部通过螺栓连接有甩干桶，所述甩干桶的外壁开设有漏水孔。优选的，所述清洗箱体的内壁底部开始有第一通孔，且第一通孔内部通过轴承连接有转动轴，所述转动轴与电动机通过皮带传动连接，且转动轴的一端与甩干桶通过螺栓连接。优选的，所述控制器与电动机的外部开关通过导线电性连接，且控制器与电磁阀门通过信号线电性连接，所述控制器与外部电源通过输电线电性连接。优选的，所述滑动块的底部通过螺丝连接有减震弹簧，且减震弹簧与滑动杆套接连接，所述减震弹簧的底部通过螺栓连接有阻尼减震器，且阻尼减震器与安装底座通过螺栓连接。本技术的有益效果为：1、本技术提出的立式旋转冲洗甩干机，通过设置有电动机、转动轴、甩干桶、旋转底座，将物件放置在甩干桶中，控制器控制进水管处电磁阀门开启，进水管向清洗箱体内部注水，同时电动机通过皮带带动转动轴旋转，同时可对物件进行冲洗，同时在甩干桶的底部安装有旋转底座，增大了甩干桶的底部接触面积，提高了甩干时的稳定性，避免了甩干桶晃动幅度过大，提高了装置的使用寿命。2、本技术提出的立式旋转冲洗甩干机，通过设置有滑动块、滑动杆、安装杆、安装底座、减震弹簧、阻尼减震器，在进行清洗甩干时，清洗箱体的外部滑动块在滑动杆上滑动，同时在滑动块的底部安装有减震弹簧，减震弹簧底部安装有阻尼减震器，提高了甩干时清洗箱体的减震性能。3、本技术提出的立式旋转冲洗甩干机，通过设置有密封盖、橡胶密封圈、搭扣锁、喷水管架，在密封盖的底部安装有密封橡胶圈，增大了密封盖的防水性能，同时控制器定时控制电磁阀门的开启，可对清洗箱体内部水量进行调节，非常简单方便。附图说明图1为本技术提出的一种立式旋转冲洗甩干机的剖视结构示意图；图2为本技术提出的一种立式旋转冲洗甩干机的密封橡胶圈结构示意图；图3为本技术提出的一种立式旋转冲洗甩干机的减震弹簧结构示意图。图中：1阻尼减震器、2安装杆、3减震弹簧、4滑动杆、5滑动块、6清洗箱体、7密封盖、8电磁阀门、9进水管、10喷水管架、11密封橡胶圈、12甩干桶、13电动机、14旋转底座、15安装底座、16转动轴、17出水管、18控制器、19搭扣锁。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。实施例1参照图1-2，一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座15，安装底座15的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆2，且安装杆2的内壁通过螺栓连接有滑动杆4，滑动杆4的外壁套接有滑动块5，且滑动块5的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体6，清洗箱体6的顶部通过铰链连接有密封盖7，且密封盖7的内壁通过螺栓连接有喷水管架10，喷水管架10的顶部焊接有进水管9，且进水管9与外部水源通过卡套连接，清洗箱体6的外壁通过螺栓连接有电动机13，密封盖7的顶部一侧通过螺栓连接有控制器18，密封盖7的底部通过螺丝连接有密封橡胶圈11。其中，清洗箱体6的外壁通过螺栓连接有搭扣锁19，且密封盖7与清洗箱体6通过搭扣锁19固定连接，清洗箱体6的底部一侧焊接有出水管17，且进水管9与出水管17的外壁均通过螺纹连接有电磁阀门8，清洗箱体6的内壁底部通过螺栓连接有旋转底座14，且旋转底座14的顶部通过螺栓连接有甩干桶12，甩干桶12的外壁开设有漏水孔，清洗箱体6的内壁底部开始有第一通孔，且第一通孔内部通过轴承连接有转动轴16，转动轴16与电动机13通过皮带传动连接，且转动轴16的一端与甩干桶12通过螺栓连接，控制器18与电动机13的外部开关通过导线电性连接，且控制器18与电磁阀门8通过信号线电性连接，控制器18与外部电源通过输电线电性连接。实施例2参照图3，一种立式旋转冲洗甩干机，还包括滑动块5底部通过螺丝连接的减震弹簧3，且减震弹簧3与滑动杆4套接连接，减震弹簧3的底部通过螺栓连接有阻尼减震器1，且阻尼减震器1与安装底座15通过螺栓连接，在进行清洗甩干时，清洗箱体6的外部滑动块5在滑动杆4上滑动，同时在滑动块5的底部安装有减震弹簧3，减震弹簧3底部安装有阻尼减震器1，提高了甩干时清洗箱体6的减震性能。工作原理：将物件放置在甩干桶12中，型号为DATA-7311的控制器18控制进水管9处电磁阀门8开启，进水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座(15)，其特征在于，所述安装底座(15)的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆(2)，且安装杆(2)的内壁通过螺栓连接有滑动杆(4)，所述滑动杆(4)的外壁套接有滑动块(5)，且滑动块(5)的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体(6)，所述清洗箱体(6)的顶部通过铰链连接有密封盖(7)，且密封盖(7)的内壁通过螺栓连接有喷水管架(10)，所述喷水管架(10)的顶部焊接有进水管(9)，且进水管(9)与外部水源通过卡套连接，所述清洗箱体(6)的外壁通过螺栓连接有电动机(13)，所述密封盖(7)的顶部一侧通过螺栓连接有控制器(18)，所述密封盖(7)的底部通过螺丝连接有密封橡胶圈(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座(15)，其特征在于，所述安装底座(15)的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆(2)，且安装杆(2)的内壁通过螺栓连接有滑动杆(4)，所述滑动杆(4)的外壁套接有滑动块(5)，且滑动块(5)的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体(6)，所述清洗箱体(6)的顶部通过铰链连接有密封盖(7)，且密封盖(7)的内壁通过螺栓连接有喷水管架(10)，所述喷水管架(10)的顶部焊接有进水管(9)，且进水管(9)与外部水源通过卡套连接，所述清洗箱体(6)的外壁通过螺栓连接有电动机(13)，所述密封盖(7)的顶部一侧通过螺栓连接有控制器(18)，所述密封盖(7)的底部通过螺丝连接有密封橡胶圈(11)。


2.根据权利要求1所述的一种立式旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述清洗箱体(6)的外壁通过螺栓连接有搭扣锁(19)，且密封盖(7)与清洗箱体(6)通过搭扣锁(19)固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种立式旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述清洗箱体(6)的底部一侧焊接有出水管(17)，且进水管(9)与出水管(17)的外壁均通过螺纹连接有电磁阀门(8)。

【专利技术属性】
技术研发人员：杨仕品，
申请(专利权)人：昆山市智程自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32