本实用新型提供了一种甩干机排放系统，包括水气分离盒、用于排气的气压缸自动开关阀、排水管以及用于将水气排放至所述水气分离盒的二分管，所述水气分离盒内设有分隔板，所述分隔板上开设有小孔，所述分隔板使所述水气分离盒分为上层和下层，所述上层与所...

本申请提供了一种金刚脚座，包括金刚脚座内圈和金刚脚座外圈，所述金刚脚座内圈包括内圈底、内圈圈壁和内圈止付螺丝，内圈止付螺丝螺纹连接于内圈圈壁，所述金刚脚座外圈包括外圈底、外圈圈壁和外圈止付螺丝，外圈止付螺丝螺纹连接于外圈圈壁，所述金刚脚...

本实用新型公开了一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座，所述安装底座的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆，且安装杆的内壁通过螺栓连接有滑动杆，所述滑动杆的外壁套接有滑动块，且滑动块的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体，所述清洗箱体的顶部通过铰链...

本实用新型公开了一种CDS供液柜防腐处理装置，包括底部四角固定安装有支腿的底座以及固定安装于底座顶部两端的侧板，所述侧板的顶端分别固定安装有顶板一以及顶板二，所述底座的顶部外壁安装有旋转载物机构，所述顶板一以及顶板二安装有移动喷漆机构，...

本实用新型公开了一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，进气管与排气管设置在机架上端，进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，每个腔室...

本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上，...

本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机，包括底座，所述底座的顶部通过螺栓连接有清洗箱和储液箱，且清洗箱的底部设有喇叭状结构的溢流罩，所述底座的顶部通过螺栓连接有输送泵，且输送泵的进口端通过法兰与储液箱连通，输送泵的出口通过法兰与溢流罩连...

本实用新型公开了一种CVD尾气处理装置，包括机架、燃烧室、二次燃烧管、过滤吸收箱、喷淋室以及进气管和排气管，燃烧室连接进气管，将引进的CVD混合物灌入燃烧室内，保持足够温度情况下维持燃烧状态，并在二次燃烧管中接续燃烧，二次燃烧管外周固连...

本实用新型公开了一种环形轴向风刀装置，包括空气环以及环形喷嘴，空气环外周侧壁均匀设置有螺纹密闭孔，螺纹密闭孔内贯通有进气孔，进气孔连通内部设置的腔室，腔室内侧上端面设置有限位凸块，与环形喷嘴下端面设置有的定位块配合限位，使得空气环中心孔...

本实用新型公开了一种干泵过滤装置，包括支架、冷凝外壳及冷凝内壳、过滤网、法兰盘以及进气管和出气管，支架支撑固定住冷凝外壳，冷凝外壳与冷凝内壳之间设有冷凝腔室，两端均与法兰盘密闭固连，法兰盘外侧均固连进气管和出气管，冷凝内壳中心管体内，在...

本实用新型公开了一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，两夹持臂将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴...

本发明公开了一种硅晶片甩干机，包括离心甩干组件、密封盖和机架，离心甩干组件包括甩干桶、离心篮、甩干盒、固定架以及离心动力组件，甩干桶设有圆柱型筒壁，外周设置有举升机构的调节孔，筒壁内侧相切设置有脱水管和泄压管，离心篮外周侧壁设置有斜U形...

本实用新型公开了一种半导体生产硫化剂废气处理器，包括：除尘机、风机和脱硫塔，其特征在于：所述除尘机右侧连接有废气进气管，所述废气进气管为输送的是半导体封胶产生的废气；固定支架上方固定连接有石灰水进料管，固定支架中部下方固定连接有雾化器，...

本实用新型公开了一种半导体生产的集成化密集废气处理器，包括：除尘室、冷凝槽、过滤部和光解催化室，第二进气管另一端连接有水吸收室，所述水吸收室右端固定连接有第三进气管，第三进气管右侧固定连接有光解催化室，所述光解催化室内设置有若干催化设备...

本实用新型公开了一种用于半导体清洗机的快速装夹卡扣，包括：外接动力机构、装夹主体板、零件固定板和装夹连接部，所述装夹主体板右侧设置有装夹连接部，装夹主体板内测中部上方通过螺栓组固定安装有零件固定板，所述零件固定板为零件装夹的位置；所述装...

本实用新型公开了ICP尾气处理系统除结晶装置，外壳的上端连接有电磁阀底座，电磁阀底座上安装有电磁阀，电磁阀的右端连接有脉冲管道，脉冲管道通过弯头与主体的左侧相连接，主体设于外壳内，主体的右侧通过弯头连接有进气管道，本实用新型的优点是IC...