ICP尾气处理系统除结晶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了ICP尾气处理系统除结晶装置，外壳的上端连接有电磁阀底座，电磁阀底座上安装有电磁阀，电磁阀的右端连接有脉冲管道，脉冲管道通过弯头与主体的左侧相连接，主体设于外壳内，主体的右侧通过弯头连接有进气管道，本实用新型专利技术的优点是ICP尾气处理系统除结晶装置结构简单，电磁阀粉碎结晶彻底，工作效率高，节约人力，保证了ICP尾气处理的流畅性，提高了尾气处理的时效性。

Removing crystallization device of ICP tail gas treatment system

The utility model discloses a crystallization device for the ICP tail gas treatment system. The upper end of the shell is connected with an electromagnetic valve base, an electromagnetic valve is installed on the base of the solenoid valve, and a pulse pipe is connected to the right end of the electromagnetic valve. The pulse pipe is connected to the left side of the main body through the elbow, the main body is in the outer shell, and the right side of the main body is connected through the elbow on the right side. With the advantages of the intake pipe, the advantage of the utility model is that the structure of the ICP tail gas treatment system is simple, the solenoid valve pulverized and crystallized thoroughly, the working efficiency is high, the manpower is high, the fluency of the ICP tail gas treatment is ensured, and the time efficiency of the tail gas treatment is improved.

【技术实现步骤摘要】
ICP尾气处理系统除结晶装置
本技术涉及测量
，尤其涉及ICP尾气处理系统除结晶装置。
技术介绍
ICP尾气对环境造成一定的影响，传统的ICP尾气处理系统为达到处理效果都是在运行中持续不断的往里面通入纯水，这种处理会造成水的大量浪费，当前，通过通入三氯化硼气体，利用三氯化硼溶于水会使pH值降低的特性，来控制通入纯水的量，解决了浪费水的问题，但此种方法存在一个困扰，三氯化硼在温度低于40度就会产生结晶并堵塞管道，而且人工清理费时费力，影响尾气处理。
技术实现思路
专利技术目的：本技术所要解决的ICP尾气处理系统三氯化硼产生结晶堵塞排气管道的技术问题，本技术提供ICP尾气处理系统除结晶装置。工艺方案：ICP尾气处理系统除结晶装置，包括：外壳，电磁阀底座、电磁阀、脉冲管道、弯头、主体、进气管道，所述外壳的上端连接有电磁阀底座，所述电磁阀底座上安装有电磁阀，所述电磁阀的右端连接有脉冲管道，所述脉冲管道通过弯头与主体的左侧相连接，所述主体设于外壳内，所述主体的右侧通过弯头连接有进气管道。本技术的优点是ICP尾气处理系统除结晶装置结构简单，电磁阀粉碎结晶彻底，工作效率高，节约人力，保证了ICP尾气处理的流畅性，提高了尾气处理的时效性。附图说明图1为本技术ICP尾气处理系统除结晶装置的结构示意图图。图中：1、外壳，2、电磁阀底座，3、电磁阀，4、脉冲管道，5、弯头，6、主体，7、进气管道。具体实施方式以下结合附图并通过具体实施例对本技术做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。如图1，所示，ICP尾气处理系统除结晶装置，包括：所述外壳1的上端连接有电磁阀底座2，所述电磁阀底座2上安装有电磁阀3，所述电磁阀3的右端连接有脉冲管道4，所述脉冲管道4通过弯头5与主体6的左侧相连接，所述主体6设于外壳1内，所述主体6的右侧通过弯头5连接有进气管道7。本技术提供的ICP尾气处理系统除结晶装置在使用时，电磁阀3释放压缩空气通过脉冲管道4对主体6内的结晶进行粉碎，同时，冲击脉冲可以通过HMI设定，方便高效。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.ICP尾气处理系统除结晶装置，其特征在于，包括：外壳（1），电磁阀底座（2）、电磁阀（3）、脉冲管道（4）、弯头（5）、主体（6）、进气管道（7），所述外壳（1）的上端连接有电磁阀底座（2），所述电磁阀底座（2）上安装有电磁阀（3），所述电磁阀（3）的右端连接有脉冲管道（4），所述脉冲管道（4）通过弯头（5）与主体（6）的左侧相连接，所述主体（6）设于外壳（1）内，所述主体（6）的右侧通过弯头（5）连接有进气管道（7）。

【技术特征摘要】
1.ICP尾气处理系统除结晶装置，其特征在于，包括：外壳（1），电磁阀底座（2）、电磁阀（3）、脉冲管道（4）、弯头（5）、主体（6）、进气管道（7），所述外壳（1）的上端连接有电磁阀底座（2），所述电磁阀底座（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨仕品，
申请(专利权)人：昆山市智程自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32