【技术实现步骤摘要】
一种ICP尾气处理装置
本技术涉及半导体制程清洗设备
,具体涉及一种ICP尾气处理装置。
技术介绍
ICP的尾气主要就是载气Ar,但是离子化了后,等离子体中还有酸碱性气体分子等等,ICP尾气对环境造成一定的影响,传统的ICP尾气处理系统为达到处理效果都是在运行中持续不断的往里面通入纯水,这种处理会造成水的大量浪费,而新兴的处理方案是循环通入三氯化硼气体溶于水的方式中和酸碱尾气,解决了浪费水的问题,另外为了避免三氯化硼气体溶于水会产生结晶现象,也需设计出有效便捷的温控方案。
技术实现思路
本技术目的是:针对
技术介绍
提及的传统处理ICP尾气的问题和不足,提供一种ICP尾气处理装置,既能有效将半导体制程中ICP设备排出有毒、有害气体尾气充分处理后,也可有效减少排放管路内的结晶问题,并达标排放。为解决上述问题采取的技术方案是:一种ICP尾气处理装置,包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室,所述机架一侧设有电控箱,包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵,所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接,所述进气管与排气管设置在所述机架上端,所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室,所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室,所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管,每个腔室内均设置有喷淋管,所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头,每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉 ...
【技术保护点】
1.一种ICP尾气处理装置,包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室,其特征在于:/n所述机架一侧设有电控箱,包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵,所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接,/n所述进气管与排气管设置在所述机架上端,所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室,所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室,所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管,每个腔室内均设置有喷淋管,所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头,每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料,/n所述二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室,通过循环处理液将尾气导流到最终喷淋腔室,并设置有与所述循环水箱管路连接的溢流口。/n
【技术特征摘要】
1.一种ICP尾气处理装置,包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室,其特征在于:
所述机架一侧设有电控箱,包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵,所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接,
所述进气管与排气管设置在所述机架上端,所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室,所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室,所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管,每个腔室内均设置有喷淋管,所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头,每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料,
所述二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室,通过循环处理液将尾气导流...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨仕品,
申请(专利权)人:昆山市智程自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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