拾取结构、拾取机构及拾取模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种拾取结构、拾取机构及拾取模块，将支撑件装入安装孔中，并通过第一限位件与第一安装座限位配合，使得支撑件稳定支撑在安装孔中；接着，在支撑件与第一安装座之间设置弹性件，使得支撑件能够在安装孔中弹性移动。如此，当吸嘴与晶圆抵触时，支撑件则受到挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有效避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。

Pick-up structure, pick-up mechanism and pick-up module

The utility model discloses a pick-up structure, a pick-up mechanism and a pick-up module. The support is installed in the installation hole, and the support is stably supported in the installation hole through the first limit piece and the first installation seat limit fitting; then, an elastic piece is arranged between the support piece and the first installation seat, so that the support piece can move elastically in the installation hole. In this way, when the suction nozzle conflicts with the wafer, the support is squeezed to make the elastic part deform elastically. Once the elastic part deforms elastically, the support drives the suction nozzle to move back in the installation hole. In this way, it can effectively avoid the breakage and damage of the wafer caused by the direct conflict between the suction nozzle and the wafer rigidity. At the same time, since an elastic member is arranged between the support member and the first mounting base, the suction nozzle can keep close contact with the wafer under the action of the elastic member. When the suction device is turned on, a vacuum is formed between the suction nozzle and the wafer through the suction channel, so that the suction nozzle can safely suction the wafer.

【技术实现步骤摘要】
拾取结构、拾取机构及拾取模块
本技术涉及拾取
，特别是涉及拾取结构、拾取机构及拾取模块。
技术介绍
随着工业迅速发展，越来越多的拾取模块运用在工业生产中，通过拾取模块代替传统的人工取放操作。比如在半导体制造工艺中，半导体后封装过程中，需要将晶圆转移至加热后的基板上，以使得晶圆与基板进行键合操作。然而，传统的拾取模块在拾取过程中，往往无法准确定位出晶圆的位置，导致拾取模块的吸嘴很容易撞在晶圆上，从而导致晶圆破碎而损坏。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种拾取结构、拾取机构及拾取模块，它能够安全吸取晶圆。其技术方案如下：一种拾取结构，包括：第一安装座，所述第一安装座上设有安装孔；与吸取组件，所述吸取组件包括支撑件、弹性件及均装设在所述支撑件上的第一限位件与吸嘴，所述支撑件穿入所述安装孔中，所述第一限位件与所述第一安装座限位配合，所述支撑件上设有吸取通道，所述吸嘴通过所述吸取通道用于与吸气设备连通，所述弹性件设置在所述支撑件与所述第一安装座之间。上述的拾取结构，将支撑件装入安装孔中，并通过第一限位件与第一安装座限位配合，使得支撑件稳定支撑在安装孔中；接着，在支撑件与第一安装座之间设置弹性件，使得支撑件能够在安装孔中弹性移动。如此，当吸嘴与晶圆抵触时，支撑件则受到挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有效避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。在其中一个实施例中，所述安装孔为两个以上，所述吸取组件为两个以上，所述吸取组件与所述安装孔一一对应设置，两个以上的所述安装孔间隔设置在所述第一安装座上。在其中一个实施例中，相邻两个所述安装孔相互连通设置，相邻两个所述吸取组件之间的间距可调。在其中一个实施例中，所述吸取组件还包括装设在所述支撑件上的第二限位件，所述第二限位件与所述第一限位件分别位于所述第一安装座相对两侧，所述第二限位件与所述第一安装座限位配合。在其中一个实施例中，拾取结构还包括密封件，所述吸取通道内设有抵触部，所述吸嘴装入所述吸取通道中，并与所述抵触部抵触配合，所述密封件设置在所述抵触部与所述吸嘴之间。在其中一个实施例中，所述第一安装座包括底座及间隔装设在所述底座上的第一安装件与所述第二安装件，所述安装孔贯穿所述第一安装件与所述第二安装件设置，所述第一限位件与所述第一安装件限位配合，所述弹性件设置在所述第一安装件与所述支撑件之间。在其中一个实施例中，吸取组件还包括滑套，所述支撑件通过所述滑套装设在所述安装孔的孔壁上，且所述支撑件能在所述滑套内来回移动。在其中一个实施例中，第一安装座上设有视觉组件。一种拾取机构，包括驱动件与以上所述的拾取结构，所述驱动件的输出端与所述第一安装座传动连接。上述的拾取机构，通过驱动件，驱使第一安装座移动，使得吸嘴向晶圆靠拢，并与晶圆进行接触。当吸嘴移动过量时，吸嘴会紧紧抵触在晶圆上，此时，支撑件则受到吸嘴传递的挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。在其中一个实施例中，拾取机构还包括位移传感器，所述位移传感器用于感应所述第一安装座的位移。在其中一个实施例中，拾取机构还包括第二安装座、第一防撞件及第二防撞件，所述驱动件的输出端通过所述第二安装座与所述第一安装座传动连接，所述第一防撞件与所述第二防撞件分别位于所述第二安装座的相对两端，所述第一防撞件与所述第二防撞件均与所述第二安装座抵触配合。一种拾取模块，包括移动机构与以上所述的拾取机构，所述驱动件装设在所述移动机构上。上述的拾取模块，通过移动机构，使得拾取机构移动至待加工区域；再通过驱动件，驱使第一安装座移动，使得吸嘴向晶圆靠拢，并与晶圆进行接触。当吸嘴移动过量时，吸嘴会紧紧抵触在晶圆上，此时，支撑件则受到吸嘴传递的挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。附图说明图1为本技术一实施例所述的拾取结构示意图；图2为本技术一实施例所述的吸取组件结构示意图；图3为本技术一实施例所述的吸取组件结构剖视图；图4为本技术一实施例所述的第一安装座结构示意图；图5为本技术另一实施例所述的拾取结构示意图；图6为本技术一实施例所述的拾取机构示意图；图7为本技术一实施例所述的拾取机构拆分示意图；图8为本技术一实施例所述的拾取模块结构示意图。附图标记说明：100、拾取结构，110、第一安装座，111、第一安装件，112、底座，113、第二安装件，114、安装孔，120、吸取组件，121、支撑件，1211、吸取通道，1212、凸起，1213、抵触部，122、弹性件，123、第一限位件，124、吸嘴，125、第二限位件，126、连接头，127、密封件，128、滑套，130、视觉组件，200、驱动件，300、第二安装座，310、第一防撞件，320、第二防撞件，400、位移传感器，410、固定座，420、防护罩，500、滑动件，510、导轨，600、连接座，700、移动机构。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本技术进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本技术，并不限定本技术的保护范围。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种拾取结构，其特征在于，包括：/n第一安装座，所述第一安装座上设有安装孔；与/n吸取组件，所述吸取组件包括支撑件、弹性件及均装设在所述支撑件上的第一限位件与吸嘴，所述支撑件穿入所述安装孔中，所述第一限位件与所述第一安装座限位配合，所述支撑件上设有吸取通道，所述吸嘴通过所述吸取通道用于与吸气设备连通，所述弹性件设置在所述支撑件与所述第一安装座之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种拾取结构，其特征在于，包括：
第一安装座，所述第一安装座上设有安装孔；与
吸取组件，所述吸取组件包括支撑件、弹性件及均装设在所述支撑件上的第一限位件与吸嘴，所述支撑件穿入所述安装孔中，所述第一限位件与所述第一安装座限位配合，所述支撑件上设有吸取通道，所述吸嘴通过所述吸取通道用于与吸气设备连通，所述弹性件设置在所述支撑件与所述第一安装座之间。


2.根据权利要求1所述的拾取结构，其特征在于，所述安装孔为两个以上，所述吸取组件为两个以上，所述吸取组件与所述安装孔一一对应设置，两个以上的所述安装孔间隔设置在所述第一安装座上。


3.根据权利要求2所述的拾取结构，其特征在于，相邻两个所述安装孔相互连通设置，相邻两个所述吸取组件之间的间距可调。


4.根据权利要求1所述的拾取结构，其特征在于，所述吸取组件还包括装设在所述支撑件上的第二限位件，所述第二限位件与所述第一限位件分别位于所述第一安装座相对两侧，所述第二限位件与所述第一安装座限位配合。


5.根据权利要求1所述的拾取结构，其特征在于，还包括密封件，所述吸取通道内设有抵触部，所述吸嘴装入所述吸取通道中，并与...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺云波，王波，刘青山，刘凤玲，陈桪，
申请(专利权)人：广东阿达智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44