下载拾取结构、拾取机构及拾取模块的技术资料

文档序号:22803975

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种拾取结构、拾取机构及拾取模块,将支撑件装入安装孔中,并通过第一限位件与第一安装座限位配合,使得支撑件稳定支撑在安装孔中;接着,在支撑件与第一安装座之间设置弹性件,使得支撑件能够在安装孔中弹性移动。如此,当吸嘴与晶圆抵触时...
该专利属于广东阿达智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东阿达智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。