【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置
本技术涉及磁控溅射设备
，特别是涉及一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池制造工艺过程中，PVD沉积技术中的真空磁控溅射设备分为卧式和立式两种基本类型，卧式磁控溅射设备是指基片从进入到出来的整个过程中平铺放置，不需要夹取装和翻转机构而完成镀膜沉积的设备，立式磁控溅射设备是指基片通过翻转机构立起来，依靠载具机构或夹取装置进行运输的设备。卧式磁控溅射设备的传输结构简单、维护方便、但是受结构本身限制，靶材上面存在的杂质易掉落在基片上面造成膜层缺陷；立式磁控溅射设备则不存在杂质掉落的缺陷。通常，立式磁控溅射设备中运输基板不用载具的传输方式就需要夹取装置，而采用夹取装置用于传输结构复杂，一旦发生故障需要检修费时费力，故目前玻璃基板传输的过程一般采用载具载玻璃，采用载具运输玻璃基片的方法中有多种，其中最为常用的一种是：玻璃基片在进口前先通过翻转机构将玻璃翻转至基片载具上的沟槽上，基片载具直接与伺服电机或异步电机带动的不锈钢滚轮接触前进(或后退)。
【技术保护点】
1.一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，其特征在于，包括：腔体、设在腔体底部的传动机构、滚动设置在传动机构上的载具、设在载具一侧的永磁体、设在载具一侧且与永磁体不同侧的靶材；所述载具包括：载物板、设在载物板上的侧滑轨、固定在腔体顶部且与所述侧滑轨配合的若干个第一传动轮；所述传动机构包括：固定在所述腔体底部的轴承、与轴承连接的转轴、固定在转轴一端的第二传动轮和另一端的双向皮带轮、驱动连接于所述皮带轮的驱动电机；所述载物板的底部开设有与第二传动轮配合的下滑轨；所述载物板靠近所述靶材的一侧开设有用于承载基片的载物槽；所述载物槽的边缘上设有弹簧夹；所述载具与永磁体之间设有固定...
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，其特征在于，包括：腔体、设在腔体底部的传动机构、滚动设置在传动机构上的载具、设在载具一侧的永磁体、设在载具一侧且与永磁体不同侧的靶材；所述载具包括：载物板、设在载物板上的侧滑轨、固定在腔体顶部且与所述侧滑轨配合的若干个第一传动轮；所述传动机构包括：固定在所述腔体底部的轴承、与轴承连接的转轴、固定在转轴一端的第二传动轮和另一端的双向皮带轮、驱动连接于所述皮带轮的驱动电机；所述载物板的底部开设有与第二传动轮配合的下滑轨；所述载物板靠近所述靶材的一侧开设有用于承载基片的载物槽；所述载物槽的边缘上设有弹簧夹；所述载具与永磁体之间设有固定在腔体顶部的防护板。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，其特征在于：所述永磁体的外部铺设有冷却水管。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，其特征在于：所述第二传动轮为凹型滚轮。
4.根据权利要求3所述的磁控溅...
【专利技术属性】
技术研发人员：李贵成，钟莉霞，梅小艳，廖精巧，李红有，杨子龙，
申请(专利权)人：泸州金能移动能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。