The invention relates to a method for preparing a test sample by FIB and a test sample, the method comprises: providing a pretreatment sample with a target layer, the target layer having a relative first surface and a second surface; fixing the pretreatment sample on a sample table; and using an ion beam to one side of the pretreatment sample in a direction toward the first surface of the target layer A first thinning is carried out until the first surface of the target layer is exposed; a support is fixed on the sample table, and the support contacts with the first surface of the target layer; a second thinning is carried out on the other side of the pretreated sample with an ion beam in the direction toward the second surface of the target layer, and the second surface of the target layer is exposed, and the goal is continued The standard layer is thinned to a preset thickness, and the support supports the target layer in the second thinning process, so as to avoid warping of the target layer. The above method can avoid the deformation of target layer in the process of thinning.
【技术实现步骤摘要】
采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品
本专利技术涉及半导体
,尤其涉及一种采用FIB制备测试样品的方法。
技术介绍
利用聚焦离子束(FIB)因其样品制备精度高、速度快已经成为特殊样品制备、精细结构加工的重要方法,被广泛用于制备TEM(投射电子显微镜)、SEM(扫描电子显微镜)以及EBSD(电子背散射衍射电子显微镜)测试样品。芯片工艺在调整过程中,常常会需要研究各膜层的生长条件、微观结构、膜间结合力等性能,为结构样的制备提供数据参考和支持。通过FIB制备样品时,有些待测试膜层由于沉积工艺、材料特性等会在被减薄后由于内应力而发生形变,无法准确进行准确的测量。例如,需要对目标材料层进行EBSD测试时,通过FIB制备的目标材料层的样品,会产生形变,严重影响晶面的布拉格衍射以及菊池花样的产生,进而影响测试结果的准确性。因此,如何在采用FIB制备样品时,如何避免样品发生形变,是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是,提供一种采用FIB制备测试样品的测试方法及测试样品,可以避免目标层在减薄过程中发生形变。本专利技术提供一种采用FIB制备测试样品的方法,包括:提供具有一目标层的预处理样品,所述目标层具有相对的第一表面和第二表面;将所述预处理样品固定于样品台;沿朝向所述目标层第一表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的一侧进行第一减薄,直至暴露出所述目标层的第一表面;固定一支撑件于所述样品台,所述支撑件与所述目标层的第一表面接触;沿朝向所 ...
【技术保护点】
1.一种采用FIB制备测试样品的方法,其特征在于,包括:/n提供具有一目标层的预处理样品,所述目标层具有相对的第一表面和第二表面;/n将所述预处理样品固定于样品台;/n沿朝向所述目标层第一表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的一侧进行第一减薄,直至暴露出所述目标层的第一表面;/n固定一支撑件于所述样品台,所述支撑件与所述目标层的第一表面接触;/n沿朝向所述目标层第二表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的另一侧进行第二减薄,暴露出所述目标层的第二表面,并继续将所述目标层减薄至预设厚度,所述支撑件在所述第二减薄过程中,对所述目标层进行支撑,避免所述目标层发生形变。/n
【技术特征摘要】
1.一种采用FIB制备测试样品的方法,其特征在于,包括:
提供具有一目标层的预处理样品,所述目标层具有相对的第一表面和第二表面;
将所述预处理样品固定于样品台;
沿朝向所述目标层第一表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的一侧进行第一减薄,直至暴露出所述目标层的第一表面;
固定一支撑件于所述样品台,所述支撑件与所述目标层的第一表面接触;
沿朝向所述目标层第二表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的另一侧进行第二减薄,暴露出所述目标层的第二表面,并继续将所述目标层减薄至预设厚度,所述支撑件在所述第二减薄过程中,对所述目标层进行支撑,避免所述目标层发生形变。
2.根据权利要求1所述的采用FIB制备测试样品的方法,其特征在于,将所述预处理样品固定于样品台的方法包括:将所述目标层边缘至少两个位置处与所述样品台之间固定。
3.根据权利要求1所述的采用FIB制备测试样品的方法,其特征在于,所述支撑件与所述目标层接触的表面完全覆盖所述目标层的第一表面。
4.根据权利要求1所述的采用FIB制备测试样品的方法,其特征在于,所述固定一支撑件于所述样品台的方法包括:将所述支撑件边缘至少两个位置固定于所述样品台。
5.根据权利要求1所述的采用FIB制备测试样品的方法,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘婧,周阳,江佩,
申请(专利权)人:长江存储科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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