专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
长江存储科技有限责任公司
>
采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品技术
>技术资料下载
下载采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品的技术资料
文档序号:22720840
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种采用FIB制备测试样品的方法及一种测试样品,所述方法包括:提供具有一目标层的预处理样品,所述目标层具有相对的第一表面和第二表面;将所述预处理样品固定于样品台;沿朝向所述目标层第一表面的方向,采用离子束对所述预处理样品的一侧进行...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。