应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法技术

本发明专利技术涉及应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法，涉及半导体生产设备，通过设计一安装件，安装件的上环部的内侧壁上包括多个定位部件，安装时将定位部分与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔一一对应，并与分气盘固定盘上的螺丝孔一一对应，而将分气盘上的螺丝孔精确对准分气盘固定盘上的螺丝孔，并在安装分气盘之前先放好安装件，然后根据定位部件直接放入分气盘可快速安装，预计时间可以节省50分钟；并安装分气盘时，分气盘与外围UGR之间的间隙已经被安装件填满，因此分气盘不会上下左右移动，确保螺丝孔对齐，成功率可高达100％，并能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。

Installation parts and installation method of gas distributor for etching machine

The invention relates to a mounting piece and a mounting method for the installation of a gas distributor of an etching machine, and relates to a semiconductor production equipment. By designing an mounting piece, the inner wall of the upper ring part of the mounting piece includes a plurality of positioning parts. During the installation, the positioning part is one-to-one corresponding to the screw holes close to the periphery of the gas distributor, and one-to-one matching with the screw holes on the fixed plate of the gas distributor Therefore, the screw hole on the air distributor shall be accurately aligned with the screw hole on the fixed plate of the air distributor, and the installation parts shall be placed before the installation of the air distributor, and then the air distributor can be put directly into the air distributor according to the positioning parts for quick installation, with the estimated time saving of 50 minutes; when the air distributor is installed, the gap between the air distributor and the peripheral UGR has been filled by the installation parts, so the air distributor will not be up, down, left or left Move right to ensure the alignment of screw holes, the success rate can be as high as 100%, and it can save maintenance time, improve maintenance efficiency, reduce wafer defects, extend cavity maintenance cycle, and increase Fab capacity.

【技术实现步骤摘要】
应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法
本专利技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件及分气盘的安装方法。
技术介绍
刻蚀机台如氧化膜刻蚀机台是晶圆加工的重要工艺机台。中微DRIE系列是中微公司推出的用于氧化膜刻蚀的主力机台，是晶圆加工的重要工艺机台。请参阅图1，图1为中微DRIE系列氧化膜刻蚀机台的DRIE腔体结构示意图，如图1所示，DRIE腔体结构设计精密复杂，在12寸及以上晶圆加工技术中，随着晶圆面积增大，为了更好的控制刻蚀均匀度，上腔体使用到了分气盘。上腔体结构由气体挡板(gasbaffle)101、隔离环(isolationring)102、分气盘103、UGR104、盖环(coverring)105、聚焦环(focusring)106、上接地环(topgroundring)107、FEIS环108、中间接地环(middlegroundring)109和绝缘环(insulatorring)110等组成中，工艺气体通过分气盘均匀地作用于晶圆。一般，分气盘103上有16个螺丝孔，可参阅图2，图2为分气盘的示意图。上腔体通过螺丝孔用铝质螺丝将分气盘103与上腔体中的分气盘固定盘200(图中未示出，其实际位于隔离环102内)固定连接，可参阅图3a和图3b，图3a为分气盘固定盘的背面示意图，图3b为分气盘固定盘的正面示意图，如图3a和3b所示，分气盘固定盘200上包括与分气盘103上的螺丝孔对应的螺丝孔。在安装过程中，请参阅图4a-4b，图4a-4b为分气盘的安装过程示意图，如图4a所示，先使用螺丝穿过分气盘固定盘200上的螺丝孔；然后，如图4b所示，将分气盘103上的螺丝孔大概位置对准分气盘固定盘200上的对应的螺丝孔，慢慢推入；然后，用手扶住分气盘103，详细调整以将分气盘103上的所有螺丝孔与分气盘固定盘200上所有的螺丝孔对应；然后，拧紧所有的螺丝，以固定分气盘103。另请参阅图5，图5为分气盘安装完成后标准示意图，如图5所示，分气盘103与UGR104之间包括间隙300，安装分气盘103时，因为是垂直安装，受重力影响，因此分气盘103始终是与UGR边缘接触，并且需要用手托住，费时费力。安装时，分气盘103上的螺丝孔1031与分气盘固定盘200螺丝孔位不能准确对齐，需要花最少2个小时时间，且如果螺丝孔未对齐，安装时螺丝会滑牙导致分气盘报废，延长保养时间，损失巨大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，可使分气盘快速安装，并提高成功率，因此能节约保养时间，提高保养效率，并可减少晶圆的缺陷，延长腔体维护周期，增加FAB产能。本专利技术提供的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上，其中安装件包括：上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，该中空部用于容纳分气盘，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。更进一步的，安装件的上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm。更进一步的，安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm。更进一步的，安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。更进一步的，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。更进一步的，安装件的定位部件为定位标识。更进一步的，安装件为特氟龙材质。本专利技术还提供一种刻蚀机台的分气盘的安装方法，包括：S1：提供一氧化膜刻蚀机台，该氧化膜刻蚀机台中包括一分气盘固定盘，其中分气盘固定盘上包括多个螺丝孔，且部分螺丝孔靠近分气盘固定盘的外围；S2：提供一UGR，将UGR安装与分气盘固定盘上，其中UGR为环形；S3：提供一安装件，该安装件包括上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数，将安装件组装于分气盘固定盘上，并使安装件上的每一定位部件的位置与靠近分气盘固定盘的外围的其中一螺丝孔的位置对准，并使安装件位于环形UGR的内侧；S4：将螺丝穿过分气盘固定盘上的螺丝孔；S5：提供一分气盘，分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，且分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置对应，将安装件上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的一螺丝孔的位置对准，再慢慢推入分气盘，以使多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔，且使分气盘位于安装件的中空部内；S6：拧紧所有的螺丝，以将分气盘固定到分气盘固定盘上；以及S7：取下安装件，完成分气盘的安装。更进一步的，上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm；安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm；安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。更进一步的，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。更进一步的，安装件的定位部件为定位标识。更进一步的，安装件为特氟龙材质。更进一步的，安装件的中空部为环状中空部。更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，并安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应。更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数等于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并等于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的位置一一对应，并与分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的位置一一对应。更进一步的，安装件的上环部的内侧壁上的定位部件的个数小于分气盘固定盘上靠近分气盘固定盘外围的螺丝孔的个数，并小于分气盘上靠近分气盘外围的螺丝孔的个数，且安装件的上环部的内侧壁上的每一定位部件的位置与分气盘上靠近分气盘的外围的一螺丝孔的位置对应，并与分气盘固定盘上的一靠近分气盘固定盘外围的一螺丝孔的位置对应。本专利技术提供的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件和刻蚀机台的分气盘的安装方法，通过设计一安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上，其特征在于，安装件包括：上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，该中空部用于容纳分气盘，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，氧化膜刻蚀机台的分气盘包括多个螺丝孔，其中部分螺丝孔靠近分气盘的外围，在分气盘固定盘上对应分气盘上的靠近分气盘外围的螺丝孔的位置亦包括多个螺丝孔，多个螺丝穿过分气盘上的螺丝孔和分气盘固定盘上的螺丝孔以将分气盘固定至分气盘固定盘上，其特征在于，安装件包括：上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，该中空部用于容纳分气盘，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数。


2.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的上环部的外径d1为333.4±0.5mm,上环部的侧壁厚度为2±0.2mm,高度为10±0.5mm。


3.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的下环部的外径d2为330±0.1mm,下环部的侧壁厚度为0.23±0.2mm,高度为5±0.5mm。


4.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的中间连接部的内径为330±0.1mm,外径为333.4±0.5mm,中间连接层厚度为0.5±0.2mm。


5.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的定位部件为位于上环部的内侧壁的凹陷缺口。


6.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件的定位部件为定位标识。


7.根据权利要求1的应用于刻蚀机台分气盘安装的安装件，其特征在于，安装件为特氟龙材质。


8.一种刻蚀机台的分气盘的安装方法，其特征在于，包括：
S1：提供一氧化膜刻蚀机台，该氧化膜刻蚀机台中包括一分气盘固定盘，其中分气盘固定盘上包括多个螺丝孔，且部分螺丝孔靠近分气盘固定盘的外围；
S2：提供一UGR，将UGR安装与分气盘固定盘上，其中UGR为环形；
S3：提供一安装件，该安装件包括上环部、下环部和连接上环部与下环部的中间连接部，其中上环部、下环部和中间连接部均具有内侧壁和外侧壁而构成一中空结构，该中空结构包括中空部，且上环部的内侧壁上包括多个定位部件，其中定位部件的个数不大于分气盘上靠近分气盘的外围的螺丝孔的个数，将安装件组装于分气盘固定盘上，并使安装件上的每一定位部件的位置与靠近分气盘固定盘的外围的其中一螺丝孔的位置对准，并使安装件位于环形UGR的内侧；
S4：将螺丝穿过分气盘固定盘上的螺丝孔；
S5：提供一分气盘，分气盘包...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓必文，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31