一种薄膜晶片分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种薄膜晶片分离装置，包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件，吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件，吸板的一端为连接端，一端为自由端，连接端与固定座转动连接，吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；顶升组件位于自由端的下方，顶升组件带动吸板向上运动，使得薄膜与晶片部分分离；锁紧组件设置于固定座上，用于将吸板锁紧固定，旋转驱动件与固定座连接，以驱动固定座带动吸板转动。本实用新型专利技术设置顶升组件来辅助分离，破解薄膜与晶片之间的液体张力，可以有效提高分离的成功率，减少分离失败引起的时间浪费，提高产能。

A thin film wafer separation device

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜晶片分离装置
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种薄膜晶片分离装置。
技术介绍
现有技术的薄膜晶片分离机构通过电机带动转轴上的真空吸盘旋转，从而使真空晶片叉吸附的晶片和真空吸盘上吸附的薄膜分离。因为薄膜和晶片的表面有残余的液体，当液体进入真空管路后，吸板对薄膜和晶片的实际吸力比理论值要小，同时薄膜和晶片之间有液体张力，如果液体张力大于分离时吸板对薄膜的翻转力，那么就会造成不能分开薄膜和晶片，也即分离失败。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题薄膜和晶片之间存在液体张力，现有的薄膜晶片分离装置对薄膜的翻转力不足以克服液体张力时，会导致分离失败的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种薄膜晶片分离装置，包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件，所述吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件，所述吸板的一端为连接端，一端为自由端，所述连接端与所述固定座转动连接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述顶升组件位于所述自由端的下方，所述顶升组件带动所述吸板向上运动，使得所述薄膜与所述晶片部分分离；所述锁紧组件设置于所述固定座上，用于将所述吸板锁紧固定，所述旋转驱动件与所述固定座连接，以驱动所述固定座带动所述吸板转动。其中，所述锁紧组件包括锁紧板和第一驱动件，所述锁紧板设置于所述吸板的外侧，平行于所述吸板的所述自由端至所述连接端连线方向，所述锁紧板具有锁紧所述吸板的锁紧状态和解锁所述吸板的解锁状态，所述第一驱动件固定在所述固定座上，且与所述锁紧板连接，以驱动所述锁紧板锁紧所述吸板或解锁所述吸板。其中，所述锁紧板上设有锁紧槽，所述吸板上设有与所述锁紧槽相配合的凸起，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进或后退，使所述凸起嵌入或退出所述锁紧槽。其中，所述锁紧槽为L型槽，包括横段槽与竖段槽，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进时，所述凸起进入所述横段槽中使所述锁紧板锁紧所述吸板，所述第一驱动件驱动所述锁紧板后退时，所述凸起退出所述横段槽进入所述竖段槽使所述吸板解锁，所述顶升组件顶起所述吸板时，所述凸起可沿所述竖段槽移动。其中，所述固定座上设有翻转座和/或第一驱动件安装板，所述第一驱动件固定于所述翻转座和/或所述第一驱动件安装板上。其中，所述锁紧组件还包括安装板，所述第一驱动件通过所述安装板与所述锁紧板连接，所述安装板上设有导向杆，所述固定座上设有滑套，所述导向杆沿轴向穿过所述滑套，并可沿所述滑套移动。其中，所述锁紧板与所述吸板之间设有固定板，所述固定板固定于所述固定座上，所述固定板上设有与所述凸起位置配合的凹槽，所述凸起可沿所述凹槽中移动。其中，所述旋转驱动件包括第二驱动件和转轴，所述第二驱动件与所述转轴连接并驱动所述转轴转动，所述固定座与所述转轴通过翻转座连接。其中，所述转轴的端部设有检测所述转轴旋转角度的角度传感器。其中，所述第一驱动件为气缸，所述第二驱动件为电机，所述电机通过联轴器与所述转轴连接。其中，还包括晶片叉，所述晶片叉设置于所述吸板的下方，以承托所述晶片。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术薄膜晶片分离装置设置顶升组件，吸板吸附晶片上的薄膜，顶升组件将吸板的自由端向上顶起一定高度后，吸板和薄膜一同升起一个角度，吸板的连接端与固定座连接，在吸板的自由端翘起一定角度时，连接端可在固定座上转动，以此使吸板上吸附的薄膜离开晶片，从而使薄膜与晶片之间的液体张力破除，再通过锁紧组件将吸板的翘起位置固定，通过旋转驱动件驱动固定座转动，从而带动吸板转动将薄膜从晶片上完全分离，设置顶升组件来辅助分离，破解薄膜与晶片之间的液体张力，可以有效提高分离的成功率，减少分离失败引起的浪费，提高产能。除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。附图说明图1是本技术实施例薄膜晶片分离装置的结构示意图；图2是本技术实施例薄膜晶片分离装置的锁紧组件和吸附旋转组件的结构示意图；图3是本技术实施例薄膜晶片分离装置的锁紧组件和吸板的结构示意图；图4是本技术实施例薄膜晶片分离装置在使用过程中的S1的结构示意图；图5是本技术实施例薄膜晶片分离装置在使用过程中的S2的结构示意图；图6是本技术实施例薄膜晶片分离装置在使用过程中的S3的结构示意图；图7是本技术实施例薄膜晶片分离装置在使用过程中的S4的结构示意图；图8是本技术实施例薄膜晶片分离装置在使用过程中的S5的结构示意图。图中：1：顶升组件；2：锁紧组件；3：吸附旋转组件；4：薄膜；5：晶片；6：翻转座；7：角度传感器；8：固定板；9：晶片叉；10：机架；21：锁紧板；22：第一驱动件；23：安装板；31：吸板；32：固定座；33：旋转驱动件；31a：自由端；31b：连接端；81：凹槽；211：锁紧槽；231：导向杆；311：凸起；321：第一驱动件安装板；322：滑套；331：第二驱动件；332：转轴。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。如图1、图2、图3和图4所示，本技术实施例提供的薄膜晶片分离装置，包括吸附旋转组件3、顶升组件1和锁紧组件2，吸附旋转组件3包括吸板31、固定座32和旋转驱动件33，吸板31的一端为连接端31b，一端为自由端31a，连接端31b与固定座32转动连接，吸板31的下表面用于吸附晶片5上的薄膜4；顶升组件1位于自由端31a的下方，顶升组件1带动吸板31向上运动，使得薄膜4与晶片5部分分离，锁紧组件2设置于固定座32上，用于将吸板31锁紧固定，旋转驱动件33与固定座32连接，以驱动固定座32带动吸板31转动。本技术薄膜晶片分离装置设置顶升组件，吸板吸附晶片上的薄膜，顶升组件将吸板的自由端向上顶起一定高度后，吸板和薄膜一同升起一个角度，吸板的连接端与固定座连接，在吸板的自由端翘起一定角度时，连接端可在固定座上转动，以此使吸板上吸附的薄膜离开晶片，从而使薄膜与晶片之间的液体张力破除，再通过锁紧组件将吸板的翘起位置固定，通过旋转驱动件驱动固定座转动，从而带动吸板转动将薄膜从晶片上完全分离，设置顶升组件来辅助分离，破解本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜晶片分离装置，其特征在于：包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件，所述吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件，所述吸板的一端为连接端，一端为自由端，所述连接端与所述固定座转动连接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述顶升组件位于所述自由端的下方，所述顶升组件带动所述吸板向上运动，使得所述薄膜与所述晶片部分分离；所述锁紧组件设置于所述固定座上，用于将所述吸板锁紧固定，所述旋转驱动件与所述固定座连接，以驱动所述固定座带动所述吸板转动。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶片分离装置，其特征在于：包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件，所述吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件，所述吸板的一端为连接端，一端为自由端，所述连接端与所述固定座转动连接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述顶升组件位于所述自由端的下方，所述顶升组件带动所述吸板向上运动，使得所述薄膜与所述晶片部分分离；所述锁紧组件设置于所述固定座上，用于将所述吸板锁紧固定，所述旋转驱动件与所述固定座连接，以驱动所述固定座带动所述吸板转动。2.根据权利要求1所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧组件包括锁紧板和第一驱动件，所述锁紧板设置于所述吸板的外侧，平行于所述吸板的所述自由端至所述连接端连线方向，所述锁紧板具有锁紧所述吸板的锁紧状态和解锁所述吸板的解锁状态，所述第一驱动件固定在所述固定座上，且与所述锁紧板连接，以驱动所述锁紧板锁紧所述吸板或解锁所述吸板。3.根据权利要求2所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧板上设有锁紧槽，所述吸板上设有与所述锁紧槽相配合的凸起，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进或后退，使所述凸起嵌入或退出所述锁紧槽。4.根据权利要求3所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧槽为L型槽，包括横段槽与竖段槽，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进时，所述凸起进入所述横段槽中使所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：申兵兵，邹金成，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11