【技术实现步骤摘要】
一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法
本专利技术属于电子科学与
，主要用于静电泄放(ElectroStaticDischarge，简称为ESD)防护技术、测试技术。涉及一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置和方法。
技术介绍
静电泄放ESD器件/电路的设计在集成电路(IC)设计中是非常重要的一环，而ESD防护器件则是防止芯片被外界ESD脉冲/浪涌损坏的重要保护器件。ESD器件/电路工作在瞬态，通常伴随有一次/多次回扫snapback现象。为了保证ESD器件/电路不变成闩锁电路，ESD器件的各项设计指标必须满足被保护电路的设计窗口。对于电源到地的保护(powerclamp)或I/O口的保护，ESD器件的维持电压(Vh)通常被要求大于电源电压VDD。然而，为了实现更强的ESD性能，很多的I/O口ESD防护不需要高的Vh。取而代之的是一种利用双回扫(double-snapbackdevice)从而产生高维持电流Ih的器件，该器件不仅能够在更小的器件面积下实现更好的ESD性能，而且能够防止闩锁效应LU发生。现有技术中在测试ESD器件脉冲特性的时候，都是用的传...
【技术保护点】
1.一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，包括脉冲发生器、衰减器、第一传输线、示波器衰减器、示波器和测试模块，其特征在于，所述脉冲发生器用于在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；所述脉冲发生器产生的电压阶梯波经过所述衰减器和第一传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；所述示波器衰减器用于抓取所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流并传输到所述示波器，由所述示波器显示出所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；所述测试模块在每次测试时选取所述示波器显示的波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值；所述测试模块根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段...
【技术特征摘要】
1.一种测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，包括脉冲发生器、衰减器、第一传输线、示波器衰减器、示波器和测试模块，其特征在于，所述脉冲发生器用于在每次测试时产生不同幅值的电压阶梯波；所述脉冲发生器产生的电压阶梯波经过所述衰减器和第一传输线后灌入被测静电泄放防护器件的阳极；所述示波器衰减器用于抓取所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流并传输到所述示波器，由所述示波器显示出所述被测静电泄放防护器件阳极的节电压和电流波形；所述测试模块在每次测试时选取所述示波器显示的波形中的至少两个阶梯段，并计算每个阶梯段的平均电流电压值；所述测试模块根据每次测试得到的平均电流电压值最高的阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲开启曲线，并根据剩余阶梯段得到所述静电泄放防护器件的脉冲关断曲线。2.根据权利要求1所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述脉冲发生器包括第三传输线、第四传输线、第一电阻、第一高压电源、第二单刀双掷开关、第一电感、第二电感、第二电阻、第三电阻和第一电容，其中第三传输线和第四传输线长度相等；第三传输线一端空载，另一端通过第一电感后连接第二单刀双掷开关的开关连接端；第四传输线一端空载，另一端连接第二电感的一端；第一电阻的一端连接第一高压电源，另一端连接第二单刀双掷开关的第一接触端；第二电阻一端接地，另一端连接第二电感的另一端、第三电阻的一端和第二单刀双掷开关的第二接触端；第一电容的一端接地，另一端连接第三电阻的另一端并作为所述脉冲发生器的输出端。3.根据权利要求1所述的测试静电泄放防护器件脉冲曲线的装置，其特征在于，所述脉冲发生器包括第五传输线、第六传输线、第二高压电源、第三高压电源、第四电阻、第五电阻、第一双刀双掷开关、第二电容、输出二极管、续流二极管、回流二极管和第三电感，其中第五传输线和第六传输线长度相等；第五传输线和第六传输线的一端空载，另一端分别连接第一双刀双掷开关的输入两端；第四电阻和第五电阻的一端分别连接第二高压电源和第三高压电源，另一端分别连接第一双刀双掷开关第一输出的两端；第一双刀双掷开关第二输出的两端中，一端连接第二电容的一端，另一端连接续流二极管的阳极；输出二极管的阳极连接第二电容的另一端、续流二极管的阴极和回流二极管的阴极，其阴极...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔明，齐钊，梁龙飞，张发备，童成伟，张波，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51
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