探针卡装置及探针座制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种探针卡装置及探针座，所述探针座包含第一导板、第二导板及穿设于第一导板与第二导板的多个矩形探针。每个矩形探针具有位于第一导板与第二导板之间的形变段及分别自形变段相反两端延伸的第一定位段与第二定位段。多个第一定位段分别位于第一导板的多个第一矩形孔壁内，多个第二定位段分别位于第二导板的多个第二矩形孔壁内。每个第一矩形孔壁与相对应的第二矩形孔壁具有长度偏移及宽度偏移，以压迫于相对应第一定位段与第二定位段，而使形变段受力而呈弯曲且形变状，长度偏移除以宽度偏移的比值介于1～10。

【技术实现步骤摘要】
探针卡装置及探针座
本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及探针座。
技术介绍
半导体芯片进行测试时，测试设备是通过一探针卡装置而与待测物电性连接，并通过信号传输及信号分析，以获得待测物的测试结果。现有的探针卡装置设有对应待测物的电性接点而排列的多个探针，以通过上述多个探针同时点接触待测物的相对应电性接点。更详细地说，现有探针卡装置的探针包含有以微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)技术所制造矩形探针，其外型可依据设计者需求而成形。然而，当所述矩形探针的部分区段在长度方向与宽度方向承受力量而弯曲或形变时，上述矩形探针的受力曲段易产生应力集中而断裂。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种探针卡装置及探针座，其能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。本专利技术实施例公开一种探针卡装置，包括一探针座及一转接板。探针座定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包含有一第一导板、一第二导板及多个矩形探针，第一导板形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；第二导板与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁；其中，多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；多个矩形探针各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间；多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内，多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧，而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；一转接板，抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。优选地，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。优选地，所述长度差值介于5微米～35微米，并且所述宽度差值介于5微米～35微米。优选地，在每个所述矩形探针及其对应的所述第一矩形孔壁中，所述第一定位段顶抵于所述第一外孔缘与所述第一内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上。优选地，每个所述第二矩形孔壁在所述第二导板的外板面形成有一第二外孔缘并在所述第二导板的内板面形成有一第二内孔缘；在每个所述第二定位段及相对应所述第二外孔缘的一第二横剖面之中，所述第二定位段呈矩形并包含有一第二长度与一第二宽度，并且所述第二长度等于所述第一长度，所述第二宽度等于所述第一宽度；在每个所述矩形探针及其对应的所述第二矩形孔壁中，所述第二定位段顶抵于所述第二外孔缘与所述第二内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上；在每个所述矩形探针中，所述第一定位段所顶抵的所述第一内孔缘的所述角落部位邻近于所述第二定位段所顶抵的所述第二内孔缘的所述角落部位。优选地，探针卡装置进一步包括有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，并且所述间隔板形成有一容置孔，多个所述形变段彼此间隔地设置于所述间隔板的所述容置孔内。优选地，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段包含有一限位部，所述限位部邻近于所述第一定位段，并且所述限位部抵顶于所述第一导板的外板面。优选地，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值进一步限定为介于1～3。本专利技术实施例也公开一种探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包括一第一导板、一第二导板及多个矩形探针。第一导板形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；第二导板与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁，并且多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；多个矩形探针各具有一形变段及分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间，多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10。优选地，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。综上所述，本专利技术实施例所公开的探针卡装置及探针座，通过调整上述长度偏移与宽度偏移，以使矩形探针的形变段能够处于较合适的形变范围内而不易断裂，进而提升探针座(或探针卡装置)的信赖度与使用寿命。进一步地说，当所述探针座(或探针卡装置)的多个第二接触段以一压力抵接于待测物时，本实施例矩形探针的形变段能够通过调整长度偏移与宽度偏移，借以使得承受上述压力的形变段不易产生断裂的情况。为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本专利技术探针座的俯视示意图。图2为图1沿剖线II-II的剖视示意图。图3为本专利技术探针卡装置的剖视示意图。图4为本专利技术矩形探针与第一导板的的立体剖视示意图(一)。图5为本专利技术矩形探针与第一导板的的立体剖视示意图(二)。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包含有：一第一导板，形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；一第二导板，与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁；其中，多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；及多个矩形探针，各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间；多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内，多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧，而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；以及一转接板，抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包含有：一第一导板，形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；一第二导板，与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁；其中，多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；及多个矩形探针，各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间；多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内，多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧，而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；以及一转接板，抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述长度差值介于5微米～35微米，并且所述宽度差值介于5微米～35微米。4.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，在每个所述矩形探针及其对应的所述第一矩形孔壁中，所述第一定位段顶抵于所述第一外孔缘与所述第一内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上。5.依据权利要求4所述的探针卡装置，其特征在于，每个所述第二矩形孔壁在所述第二导板的外板面形成有一第二外孔缘并在所述第二导板的内板面形成有一第二内孔缘；在每个所述第二定位段及相对应所述第二外孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢智鹏，苏伟志，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71